Способ юстировки тонкопленочных резисторов

Авторы патента:

H01C7 - Нерегулируемые резисторы, имеющие один или несколько слоев или покрытий; нерегулируемые резисторы из порошкообразного токопроводящего или порошкообразного полупроводникового материала с диэлектриком или без него (состоящие из свободного, т.е.незакрепленного, порошкообразного или зернистого материала H01C 8/00; резисторы с потенциальным или поверхностным барьером, например резисторы с полевым эффектом H01L 29/00; полупроводниковые приборы, чувствительные к электромагнитному или корпускулярному излучению, например фоторезисторы H01L 31/00; приборы, в которых используется сверхпроводимость H01L 39/00; приборы, в которых используется гальваномагнитный или подобные магнитные эффекты, например резисторы, управляемые магнитным полем H01L 43/00; приборы на твердом теле для выпрямления, усиления, генерирования или переключения без потенциального или

ОПИСАН ИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Реопубпик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Кл. 21с, 54/05

Заявлено 15. т .1968 (№ 1239411/26-9) с присоединением заявки ¹

МПК H Olc 7/00

УДК 621.316.849 (088.8) Приоритет

Опубликовано 19.XI.1970. Бюллетень ¹ 35

Дата опубликования описания 28.1.1971

Номитет по делам изобретений и открытий при Совете Миииотроа

СССР!

Авторы изобретения

Г. Ф. Васильев и Г. В. Корнеева

Заявитель

СПОСОБ ЮСТИРОВКИ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ РЕЗИСТОРОВ

Предмет изобретения

Известны способы юстировки тонкопленочных резисторов путем анодного окисления резистпвного слоя с одновременным контролем номинала.

С целью повышения точности юстировкп и 5 обеспечения возмохкности ее автоматпзац:Ill по предлагаемому способу на резистивный слой помещают каплю электролита, в которую вводят игольчатый зонд, соединенный с источником тока. 10

Предлагаемый способ юстировки осуществляется следующим образом.

На тело тонкопленочного сопротивления помещают каплю электролита, которой касается остро заточенный зонд. 15

Капля электролита, зонд и один конец сопротивления включаются в цепь источника рабочего тока. Само сопротивление замеряегся во все время доводки. Измерительная п питающая цепи отделяются одна от другой 20 сиобым пз известных способов (используя полупроводниковые вентили, илп производя измерение сопротивления на переменном токе и т. д.). Сама капля практически не влияет на величину сопротивления, как по причине 25 своего малого размера, так и потому, что вскоре после начала окисления шунтирующее действие капли устраняется образовавшейся непроводящей пленкой под ней. В качестве исходного резистпвного слоя могут быть использованы тонкие пленки металлов и их соедпнешш, допускающие образование достаточно прочных окисных пленок на своей поверхности.

Предлагаемый способ не требует специального оборудования (кроме точных измерптельElûх мостоB), прост в осуществлении, позволяет получить высокоточные резисторы в многослойных микросхемах.

Способ юстировкп тонкопленочных резист3р03 путем анодного окисления резпстнвного слоя с одновременным контролем номинала, отлича ощийся тем, что, с целью повышения точности юстировки резисторов и обеспечения возможности ее автом атпзации, на поверхность резпстивного слоя помещают каплю электролита, в которую вводят игольчатый зонд, соединенный с источником тока, другой конец которого присоединяют к одному из концов резистора.

Способ юстировки тонкопленочных резисторов

Похожие патенты:

Резистивная композиция // 283367

Резистивный материал // 283366

Тонкопленочная rc-структура с распределенными // 282486

Высоковольтное нелинейное сопротивление // 282485

Патент 277910 // 277910

Способ изготовления сажесодержащих композиций // 276214

Способ изготовления печатных резисторов // 275201

Патент 267725 // 267725

Устройство для окраски и сушки резисторов // 266902

Токопроводящий материал для металлопленочных резисторов // 240820

Резисторный элемент // 2105372

Изобретение относится к конструированию и изготовлению резисторных чувствительных элементов для термоанемометрических датчиков измерения скорости или расхода потока воздуха, газообразных и жидких сред

Резистивно-проводящий материал // 2117348

Изобретение относится к технологии производства радиоэлектронной аппаратуры и может использоваться для изготовления резистивных материалов для резистивных элементов на керамических, металлодиэлектрических и диэлектрических основаниях, преимущественно для изготовления резистивных элементов толстопленочных интегральных элементов

Варистор и способ его изготовления // 2118006

Изобретение относится к электротехнике и решает задачу повышения надежности варистора путем нанесения на его поверхность покрытия с пониженным значением ТКЛР

Композиция для электрического резистивного элемента, электрический резистивный элемент и способ его изготовления // 2120146

Изобретение относится к области электротехники и может быть использовано при производстве резистивных элементов

Тонкопленочный терморезистор // 2120679

Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано в производстве тонкопленочных терморезисторов - датчиков температуры

Разрядник от перенапряжения // 2121724

Прецизионный тонкопленочный чип-резистор // 2123735

Изобретение относится к электронной технике, в частности к производству постоянных прецизионных тонкопленочных чип-резисторов

Устройство для защиты от перенапряжений // 2125309

Устройство для защиты от перенапряжений // 2125747

Устройство для защиты от перенапряжений // 2125748

Изобретение относится к электротехнике и предназначено для защиты изоляции оборудования станций и подстанций и линий электропередачи переменного и постоянного тока от атмосферных и коммутационных перенапряжений