Устройство для изготовления фотошаблонов
Союз Саветскик
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 24, I II.1969 (№ 1313049/26-9) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 05.VIII,1970. Бюллетень № 25
1 л. 21а<, 75
МП1 Н 05k 3/04
УД1 621.73.049.75:776 (088.8) Комитет по селам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
Дата опубликования описания 12.XI 1970
Авторы изобретения и и квоевевич, A. к), кононович, В. В. сосидио и Б. н. А1ичеичбосв n: и! :Q :"н
1М О о гзЬц
Заявитель
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОТОШАБЛОНОВ
ПЕЧАТНЫХ СХЕМ
Изобретение относится к чертежным устройствам — координатографам и может найти применение в микроэлектронной промышленности для нанесения рисунка (топологии микросхем) методом резания.
Отличие описываемого устройства от известных состоит в том, что микроскоп, предназначенный для визирования, выполнен в виде перископа. Его объектив расположен под стеклянной пластиной, а оптическая ось объектива совпадает с осью резца.
Это отличие ооеспечивает повышение точности визирования.
На фиг. 1 показан общий вид устройства; на фиг. 2 — схема расположения инструмента и его визирование.
Устройство включает в себя станину — крестовый стол 1, содержащий поперечные 2 и продольные 8 салазки, поворотный стол 4, на котором в кассете 5 установлена пластина оригинала б, мембранную резцовую головку
7 с резцом 8, шпиндельную бабку 9, проекционные отсчетные устройства продольных 10 и поперечных 11 перемещений, содержащих экран 12, объектив 18, стеклянную шкалу 14 и микроскоп 15.
Вычерчивание оригинала производят следующим образом.
Стеклянную пластину оригинала б, напы !енную металлом, закрепляют в установленной на столе 4 кассете 5. Опускают резец 8 на пластину оригинала б и, перемещая крестовый стол рукояткой lб или 17, на рабочем поле пластины оригинала вычерчивают необходимый рисунок. Ускоренные холостые перемещения крестового стола осуществляют вручную при выключенных с помощью рукояток 18 или 19 механизмах перемещения.
В процессе работы через пластину оригинала б с помощью расположенного снизу под ней микроскопа 15 визируют вершину резца
8, причем ось резца должна совпадать с осью объектива микроскопа и изображение вершины резца должно IåIêàòü в перекрестии сетки.
1 Отсчет координат в процессе вычерчивания производят с помощью проекционных отсчетных устройств 10 и 11. После вычерчивания рисунка выполняют контроль его размеров с гомощью микроскопа 15 и проекционных от20 счетных устройств 10 и I l.
Предложенное устройство позволяет значительно IIoHb!cHTb производительность за счет облегчения вывода резца в требуемую координату и точность вычерчивания до 0,002 лтм на
25 площади 120;к 120 aI,II, что дает возможность уменьшить габариты оригинала.
Предмет изобретения
Устройство для изготовления фотошаолонов
3О печати,ух схем, содержащее установленный
277896
Фиг. 1 на станине подвижной стол, снабженный приводными механизмами для его перемещения по двум взаимно перпендикулярным координатным осям и кассетой для закрепления стеклянной пластины, покрытой слоем металла, неподвижную рабочую головку с резцом, служащим для удаления слоя металла по заданной программе, и визирное приспособление, выполненное в виде микроскопа, отличаюшееся тем, что, с целью повышения точности визирования, микроскоп выполнен в виде
5 перископа; его объектив расположен под стеклянной пластиной, а оптическая ось объектива совпадает с осью резца.
277896 Puc.2
Составитель Л. Рубин4йк
Техред 3. Н. Тараненко Корректор Л. 11. Евдонов
Редактор Н. Н. Вирко
Типография, пр. Сапунова, 2
Заказ 3211/4 Тираж 480 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий прп Совете Министров СССР
Москва, К-35, Раушская наб., д. 4,5
