Интерферометр для контроля аберраций оптических систем
Соеа
Социалистических
Республик
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт. свидетельства ¹
Кл. 42h, 34/11
Заявлено 24.11,1969 (№ 1310341 26-25) с присоединением заявки ¹
Приоритет
МПК б 01Ь 11/08 Д1(535.411(088 8) Комитет по делам иаобретеиий и открытий при Сосете Миииотрое
СССР
Опубликовано 24,VI.1970. Бюллетень X 21
Дата опубликования описания 6 Х.1970
Автор изобретения
Д. T. Пуряев
Московское высшее техническое училище им. Н. 3, Баумана
Заявитель
ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ АБЕРРАЦИЙ
ОПТИЧЕСКИХ СИСТЕМ
Изобретение относится к области оптического приборостроения, где часто возникает необходимость в контроле аберраций оптических систем, например асферических линз, линзовых компенсаторов и т. д.
Известны интер феро метры для контроля аберраций оптических систем, содержащие источник монохроматического света, точечную диафрагму, полупрозрачное зеркало, объектив и диафрагму приемной части, рабочую и эталонную ветви.
С целью повышения точности контроля и расширения диапазона контролируемых аберраций, и рабочей ветви предложенного интерферометра установлена зеркальная линза, преломляющая поверхность которой вместе с контролируемой системой образует безаберрационное изображение для осевого пучка лучей. Центр кривизны зеркальной поверхности линзы совмещен с вершиной пучка лучей, вышедших из контролируемой системы и преломленных зеркальной поверхностью.
На фиг. 1 представлена схема предлагаемого интерферометра для контроля оптических систем в параллельном пучке лучей; на фиг. 2 — схема интерферометра для контроля систем с конечного расстояния.
Лучи света от монохроматического источника 1, пройдя точечную диафрагму 2, установленную в фокусе объектива 8, и сам объектив, идут далее параллельным пучком. Полупрозрачное зеркало 4 разделяет лучи на два пучка, один из которых направляется в эталонную ветвь интерферометра к плоскому зеркалу 5, после отражения от которого лучи повторяют свой путь в обратном направлении.
Другой пучок поступает в рабочую ветвь, в которой установлены контролируемая система б (например, асферическая линза) и зеркальная линза 7. Преломляющая сферическая
10 поверхность Р, линзы 7 обращена к контролируемой системе, другая сферическая поверхность Р> является зеркальной. Отразившись от сферической поверхности, лучи также повторяют свой путь в обратном направле15 нни. Лучи, выходящие из рабочей и эталонной ветвей, интерферируют между собой. Для регистрации интерференционной картины служат объектив 8 и диафрагма 9.
Интерферометр, схема которого изображе20 на на фиг. 2, содержит в отличие от первого разделигельный кубик 8 и эталонное сферическое зеркало 4. Ход лучей в рабочей ветви пнтерферометра аналогичен ходу лучей на фиг.
25 Параметры зеркальной линзы и ее положение в рабочей ветви рассчитаны таким образом, что контролируемая система б (см. фиг. 1) вместе с преломляющей сферической ,,оверхностью Р1 образует безаберрационное
30 изображение для осевого параллельного или расходящегося (см. фиг. 2) пучка лучей, а
274418 и
,"б 1 б
Составитель И. Крупенникова Корректоры: Е. Ласточкина и В. Петрова Редактор Б. Федотов Заказ 2633LI2 Тираж 480 Подписное ЦНИИПИ Комитета по делам изобретении it открытий при Совете Министров СССР Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 415 Типография, пр. Сапунова, 2 центр кривизны С зеркальной поверхности Ра совмещен с фокусом F системы, образованной контролируемой системой 6 и IIpeломляющей поверхностью Рь Таким образом, в отличие от известных интерферометров в рабочей ветви установлено не зеркало, а зеркальная лин3а, передняя поверхность которой является преломлявшей и поэтому влияет IIB ход лучей. Это II дает возмохкпость расширить диапазон контролируемых аберраций и повысить точность контроля. Предмет изобретен ия Интерферометр для контроля аберраций оптических систем, содер>кашпй источник монохроматического света, точечную диафрагму, полупрозрачное зеркало, объектив и диафрагму приемной части, рабочую и эталонную ветви, отла LLLIollLLLLLcя тем, что, с целью повышения точности контроля и расширения диапазона контролируемых аберраций, в рабочей ветви интерферометра установлена зеркальная линза, преломляющая поверхность которой вместе с контролируемой системой обра10 зует безаберрациоппое изобрахкение для осевого пучка лучей, причем центр кривизны зеркальной поверхности линзы совмещен с вершиной пучка лучей, вышедших из контролнруемой системы и преломленных зеркальной 15 поверхностью.