Способ изготовления конденсаторов постоянной емкости
О П И С А Н И Е 27I654
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советоки1
Соииалистическиз
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Кл. 21g, 10/02
Заявлено 15.Х.1968 (№ 1275538/26-9) с присоединением заявки №
МПК Н Olg 13/00
УДК 621.319.4(088.8) Приоритет
Опубликовано 26Х.1970. Бюллетень № 18
Дата опубликования опи-ания 8.IX.1970 иомитет по рвлвю изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
Авторы изобретения
Г. А. Блинов и И. Н. Важенин
Заявитель )11 Д1т ОЛЕЙ Д
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КОНДЕНСАТОРОВ
ПОСТОЯННОЙ ЕМКОСТИ
Изобретение относится к области радиотехники, а именно к области технологии нзгoToBления пленочных конденсаторов постоянной . емкости для пленочных схем.
Известен способ изготовления пленочных 5 конденсаторов постоянной емкости, основанный на послойном осаждении на подложку термическим испарением в вакууме из резистивного испарителя сублимата, содержащего двуокись кремния и алюминия. 10
Однако этот способ очень критичен к температуре испарения, что затрудняет получение конденсаторов с высокими и повторяющимися электрическими параметрами.
Предмет изобретения
Способ изготовления конденсаторов постоянной емкости, основанный на последовательном напылении в вакууме диэлектрических слоев из сублимата, содержащего двуокись кремния, и металлических слоев, например слоев алюминия, отличающийся тем, что, с целью улучшения электрических параметров 1<онден15
Цель изобретения — изготовление тонкопленочных конденсаторов, ооеспечивающих высокую воспроизводимость их параметров в процессе производства и уменьшение влияния температуры испарителя на параметры изго- 20 тавливаемых конденсаторов.
Для этого используют сублимат, состоящий из 30 — 70% двуокиси кремния, 5 — 40% окиси алюминия, до 10% двуокиси титана, до 15% окиси кальция и до 15% окиси магния, кото- 25 рый превращают в порошок и непрерывно подают на ниобиевую или танталовую ленту, нагретую до 1700 — 1950 С, с последующей термообработкой полученных конденсаторов на воздухе при температуре 100 †2 С, 30
В качестве подложки используют ситалловую или стеклянную пластинку, обработа ную по 14 классу точности. Подложку очищают в перекиси водорода. Температуру ее при испарении поддерживают в пределах от 50 до
70 С и размещают на расстоянии около 200 .и.я от испарителя. Скорость осаждения составляет 5 — 10 Л/сек. После напыления диэлектрика напыляют алюминий, повторяя этот процесс до получения конденсатора требуемой емкости.
Воспроизводимость параметров конденсаторов составляет 93% при 15%-ном допуске. При испытании на термоцпклирование полученные конденсаторы легко выдерживают 50-кратные перегрузки от — 60 до +125 С, так как температурный коэффициент расширения диэлектрической пленки близок к коэффициенту расширения подложки.
271654
Составитель Мухрин
Техред Л. и. Левина
Корректоры: Л. Корогод и А. Николаева
Редактор T. Иванова
Заказ 2319/5 Тираж 480 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изооретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, )K-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 саторов и уменьшения разброса этих параметров в процессе массового производства, сублимат состоит из 30 — 70% двуокиси кремния, 5 — 40% окиси алюминия, до 10% двуокиси титана, до 15% окиси магния и до 15% окиси кальция, а испарение его производят при непрерывной подаче на нагретую до 1700—
1950 С танталовую или ниобиевую ленту с последующим термообяигом диэлектрических
5 слоев на воздухе при температуре 100 — 250 С.
