Пьезопреобразователь
О П И C А Н -И Е 26228 2
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВйДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистичесних
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 01.VI I I.1 968 (№ 1259249/26-9) с присоединением заявки ¹
Приоритет
Опубликовано 26Л.1970: Бюллетень ¹ 6
Дата опубликования описания 2.VI.1970
Кл. 21g, 34
МПК H 031т
УДК 621.372.543.2:
:537.228.1 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете йтинистрое
СССР
Авторы изобретения
А. Д. Гингис, А. И. Морозов и И. М. Котелянский
Институт радиотехники и электроники АН СССР
Заявитель
ПЬЕЗОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ
Изобретение относится к области радиотехники, а именно к электромеханическим преобразователям, и может быть использовано в различчых ультразвуковых устройствах, например в ультразвуковых линиях задержки.
Известные пьезопреобразователи, работающие в диапазоне частот от 50 до 1000 л гц, выполненные в виде снабженной электродами пленки из пьезоэлектрического матеоиала, нанесенной на подложку, характепизуются сравнительно большим уровнем побочных сигналов вследствие дезориентации отдельных кристаллитов и отклонения их ориентации по отношению к заданной. Кроме того, они имеют узкую полосу пропускания из-за отсутствия поглощающей акустической наrpvaки.
Цель изобретения состоит в том, чтобы снизить уровень паразитных сигналов, расширить рабочую полосу частот пленочного пьезопреобразователя и повысить стабильность его электрических параметров.
Для этого эпитаксиальный высокоомный слой пьезоматериала формируют на ориентирующей подложке из монокристаллическо-.о м атериала, обладающего высокой проводи,.остью. Подложка совмещает функции электрода, акустической нагрузки и ориентирующего материала, который определяет направление роста пьезопленки в процессе ее изготовления. При соответствующем выборе материала подложки и плечки диффузионные процессы практически отсутствуют. Резко
5 очерчечные границы высокоомного слоя не изменяются во времени, что повышает стабильность электрических характеристик преобразователя. Выбор ориентации среза подходящего материала подложки обеспечиваег
10 монокристалличность пьезопленки и правильность *ее ориентации. При этом преобразователь практически не излучает побочных сигналов.
Конструкция пьезопреобразователя изобра15 жена на чертеже.
Подложкой служит элемент 1 из монокристаллического материала, например германия, одна сторона которого выполнена в виде призмы 2 (можно и в виде поверхности вра20 щения). На плоскую часть подложки и ее боковую поверхность нанесен слой 8 пьезоматериала, например СЮ, а на слой — рабочий электрод 4. Преобразователь при помощи склейки под давлением присоединен к звуко25 проводу. Приспособление (не показано на чертеже), создающее давление на пьезопреобразователь, должно иметь форму, обратную форме призмы 2.
Преобразователь может использоваться на
ЗО проводящих, а также на плохо проводящих
262282
Предмет изобретения
Составитель H. Давыдов
Техред 3. Н. Тараненко Корректор С. А. Кузовенкова
Редактор Н. Вирко
Заказ 1300/7 Тираж 500 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва K-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 неметаллизированных звукопроводах. В первом случае электрод 4 может отсутствовать.
Пьезопреобразователь, выполненный в виде нанесенной на подложку пленки пьезоматериала, снабженной рабочим электродом, отличаюи ийся тем, что, с целью снижения уровня паразитных сигналов, расширения рабочей полосы и повышения стабильности электрических параметров пьезопреобразователя, в качестве подложки использован элемент, изготовленный из монокристаллического материала, обладающего низким омическим сопротивлением, одна сторона которого выполнена в виде поверхности вращения или призмы, а пленка и рабочий электрод нанесены на противоположную плоскую часть эле10 мента и на его боковую поверхность.
