Способ электрохимической обработки поверхностей

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

26l082

Союз Соввтоииз

Социзлиотичвониз

Рвопублио

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Кл. 48а, 1/00

Заявлено 29.IV.1968 (№ 1240435/25-8) с присоединением заявки №

Приоритет

Опн бликовано 06.1.1970. Бюллетень № 4

МПК С 23b

УДК 621.9.047.06 (088.8) Комитвт ав долам изобрвтониВ и .открытий ори Соввтв Миииотров

СССР

Дата опубликования описания 6.Ч.1970

Авторы изобретения Н. В. Моталева, А. Ф. Кривенко, Л. И. Кочеткова, И. Г, Ерусалимчик

В. А. Подгорнов, А. С. Гурвич, А. В. Хохлов, И. К. Таразанов, E. А. Ефимов и А. Т. Игнатьев

Заявитель

СПОСОБ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ

ПОВЕРХНОСТЕЙ

Предложенный способ может быть использован при электрохимической обработке поверхностей токопроводящих пластин, 8 частности полупроводниковых.

Известны способы и установки для электролитического полирования полупроводниковых ,пластин с опорными дисками. Процесс обработки пластин по этим способам осуществляется в слое электролита.

Описываемый способ электрохимической обработки поверхностей отличается тем, что полупроводниковые пластины обрабатывают в свободно-.плавающем состоянии, причем величину межэлектродного зазора поддерживают путем корреляции между удельным весом электролита и объемным весом анодного диска. Такой способ позволяет обеспечить анодное растворение микронеровностей, превышающих 0,05 — 0,1 мк, посредством ведения процесса на зазоре не более 100 мк.

Сущность способа электрохимической обработки поверхностей токопроводящих пластин, в частности полупроводниковых, состоит в наклейке обрабатываемых пластин на анодный диск, в создании тонкого слоя проточного электролита на,поверхности катода, достигаемого подачей электролита струей на вращающийся катод, в установлении анодного диска в свободно-плавающем состоянии в слое электролита и в пропускании постоянного электрического тока через всю систему, Строгая корреляция удельного веса электролита и объемного веса анодного диска с наклеенными пластинами обеспечивает автоматически постоянное сохранение зазора между поверхностью обрабатываемой пластины и катодом в пределах 100 мк, причем зазор одинаков во всех точках. Пластины, обработанные предложенным способом, имеют поверхность с малыми микронеровностями и хорошим сохранением исходной плоскостности без рисок и царапин, возникавших при известных способах во время трения пластин о катод или ткань-сепаратор.

15 Предмет изобретения

Способ электрохимической обработки .поверхностей токопроводящих пластин, в частности полупроводниковых, при котором пластину наклеивают на анодный диск, помещают этот диск в слой проточного электролита и через образовавшуюся цепь анод — электролит— катод пропускают постоянный ток, отличающиися тем, что, с целью анодного растворения микронеровностей, превьппающих 0,05—

25 0,1 мк, посредством ведения процесса на зазоре не более 100 мк, полупроводниковые пластины обрабатывают в свободно-плавающем состоянии, причем величину межэлектродного зазора поддерживают путем корреляции меж30 ду удельным весом электролита и объемным весом ан одного диска,