Способ сравнительной оценки надежности полупроводниковых изделий
Владельцы патента RU 2490655:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Воронежский государственный технический университет" (RU)
Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам обеспечения качества и надежности полупроводниковых изделий (ПИИ), и может быть использовано для сравнительной оценки надежности партий НИИ как на этапе производства, так и на входном контроле на предприятиях - изготовителях радиоэлектронной аппаратуры. Сущность изобретения заключается в том, что на одинаковых выборках из сравниваемых партий НИИ одного типа проводят измерения значения квадрата напряжения шумов
где
Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам обеспечения качества и надежности полупроводниковых изделий ПЛИ (диодов, транзисторов и интегральных схем), и может быть использовано для сравнительной оценки надежности партий ПЛИ как на этапе производства, так и на входном контроле на предприятиях - изготовителях радиоэлектронной аппаратуры.
Известен способ сравнительной оценки надежности партий транзисторов [1], в соответствии с которым проводят выборочные испытания партий транзисторов воздействием электростатических разрядов. На каждый транзистор выборки подают электростатические разряды потенциалом вдвое большим, чем допустимый по техническим условиям, каждый раз повышая его на 20-30 В до появления параметрического или катастрофического отказа.
Недостаток данного способа - испытание является разрушающим. Представленное изобретение направлено на устранение этого недостатка и повышение функциональных возможностей способа.
Достоинством предложенного способа является то, что сравнительная оценка партий ПЛИ основывается на измерении среднего значения квадрата напряжения низкочастотного шумов
Способ осуществляется следующим образом: от каждой партии одного типа (количество партий неограниченно) методом случайной выборки отбирают одинаковое количество изделий не менее 20 штук. У каждого из отобранных изделий проверяют значение
где
Способ был опробован на выборках по 20 шт. из двух партий ИС типа КТ209 (кремниевые маломощные, n-p-n-типа). После измерения
Если по таблице 1 нельзя сказать о тенденциях по надежности партий, то по таблице 2 четко определяется, что партия 2 является более надежной.
Источники информации
1. Горлов М.И., Ануфриев Л.И., Достанко А.И., Смирнов Д.Ю. Диагностика твердотельных полупроводниковых структур по параметрам низкочастотного шума. - Минск, Интегралполиграф, 2006. 112 с.
2. Патент РФ N2226698, G01R 31/26, опуб. 10.04.2004, бюл. №10.
3. Горлов М.И., Емельянов А.В., Плебанович В.И. Электрические заряды в электронике. - Мн.: Бел.наука, 2006. - 295 с.
Таблица 1 | |||||
Изменение значения квадрата напряжения шума |
|||||
Номер партии | Значение |
Значение ЭСР, В | |||
160 Гц | 1000 Гц | ||||
до воздействия ЭСР | после воздействия ЭСР | до воздействия ЭСР | после воздействия ЭСР | ||
1 | 85 | 87 | 49 | 53 | 500 |
97 | 98 | 55 | 57 | 1000 | |
2 | 93 | 93 | 68 | 72 | 500 |
104 | 106 | 69 | 72 | 1000 |
Таблица 2 | |||
Расчет значения коэффициента γ | |||
Номер партии | Значение γ | Значение ЭСР, В | |
до воздействия ЭСР | после воздействия ЭСР | ||
1 | 0,3 | 0,27 | 500 |
0,31 | 0,3 | 1000 | |
2 | 0,17 | 0,14 | 500 |
0,23 | 0,21 | 1000 |
Способ сравнительной оценки надежности партий полупроводниковых
изделий, в соответствии с которым на произвольных одинаковых выборках из партий проводят измерения значений квадрата напряжения шумов
где