Датчик давления

Авторы патента:

G01L9/04 - резисторных тензометров

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

Заявлено 18.111.1968 (№ 1226270/18-10) с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет

Опубликовано 05.VIII.1969. Бюллетень ¹ 25

Дата опубликования описания 22.XI I.1969

Кл. 42k, 14/04

МПК С 011

УДК 531.787.913(088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Авторы изобретения

В. И. Терехов и Л. В. Новиков

Заявитель

ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ

Предмет изобретения

Датчик давления, содержащий закреплен ную в корпусе круглую мембрану с,подложкой, на которой нанесены тензорезисторы, отличаюитийся тем, что, с целью повышения чув25 ствительности, уменьшения температурной зависимости и повышения радиационной стойкости датчика, в нем подложка выполнена из двуокиси кремния, а тензорезистор в виде пленки из кремния.

Изобретение относится к области измерительной техники и приборостроения.

В известных датчиках давления с круглой мембраной и кольцевыми пленочными тензометрами в качестве подложки используется окись алюминия, которая наносится на мембрану плазменным методом. При этом мембрана часто выходит из строя. Нанести окись алюминия на мембрану толщиной менее

0,45 мм не представляется возможным. Кроме того, окись алюминия, обладая макроструктурой, не позволяет получить гладкую поверхность при любом виде обработки.

Рабочая температура датчика не превышает

50 вЂ” 60 С.

Предлагаемый датчик отличается от известных тем, что подложка его выполнена из двуокиси кремния, а тензорезистор вЂ” в виде пленки из кремния.

Подложка из двуокиси кремния наносится на упругий элемент методом испарения и конденсации в вакууме не ниже 10-з мм.

Полученная таким способом подложка имеет высокие изоляционные и механические характеристики. Она термостойка, выдерживает многократный циклический нагрев и не требует последующей механической обработки.

Тензорезисторы изгоговляются из кремния путем испарения и конденсации в вакууме не ниже 10 с мм. Коэффициент тензочувствительности не менее 110 единиц.

На чертеже дана конструкция мембранного

5 датчика давления с кольцевыми пленочными тензоэлементами.

Датчик содержит мембрану 1, подложку 2 из двуокиси кремния, тензорезистор 8 в виде пленки из кремния, расположенные концентои10 чески, серебро 4.

Датчик работает следующим образом.

При деформации мембраны происходит изменение геометрических размеров кольцевых тензорезисторов. Вследствие изменения сопро15 тпвления возникает электрический сигнал.

Такой датчик позволяет работать без применения усилителя .как при статических, так и при динамических измерениях дав.пения.

249700

Составитель Г. Н. Невская

Редактор T. В. Иванова Техред Т. П. Курилко Корректор Г. П. Шильман

Заказ 3299/5 Тираж 480 Подписно .

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

Похожие патенты:

Датчик давления // 243919

Устройство для измерения давления жидкости // 237754

Устройство для измерения давления от потокаи волн // 212670

Тензометрический датчик // 201743

Полупроводниковый датчик для измерения механических величин // 198773

Полупроводниковый тензодатчик // 195692

Проволока для чувствительных элементов тензодатчиков // 185528

Способ определения структуры псевдоожиженногослоя // 184490

Тензометрическое усгройство // 179957

Патент 162690 // 162690

Полупроводниковый преобразователь гидростатического давления для коррозионно-активных жидких сред // 2100789

Двухмембранный тензопреобразователь давления // 2101688

Чувствительный элемент // 2106610

Изобретение относится к конструированию и технологии производства чувствительных элементов для датчиков давления, расходомеров и акселореметров

Микроэлектронный датчик перепада давления егиазаряна мдпд-е и способ его изготовления // 2107272

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к микроэлектронным измерительным преобразователям перепада давлений, и может быть использовано для измерения перепада давлений жидких и газообразных сред, например в расходомерах перепада давлений в качестве дифференциального монометра

Датчик давления // 2115101

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике, в частности к тензометрическим датчикам давления

Интегральный преобразователь деформации и температуры // 2115897

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано при разработке малогабаритных полупроводниковых высокочувствительных преобразователей деформации и температур

Тензометрический преобразователь давления // 2120116

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для регистрации давления различных сред

Тензорезисторный дифференциальный преобразователь давления // 2127875

Изобретение относится к области измерительной техники и автоматики и может быть использовано в малогабаритных полупроводниковых электромеханических преобразователях разностного давления газообразных или жидких веществ в электрический сигнал

Преобразователь давления // 2134408

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при измерении давления агрессивных жидких и газообразных сред

Полупроводниковый датчик давления // 2134869

Изобретение относится к преобразователям давления в дискретный электрический сигнал и может быть использовано автоматизированных системах управления