Способ перемешивания расплава в зоне при зонпой

ОП ИСАНИ Е

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

249350

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

Заявлено 29.1.1968 (Ле 1214603/23-26) с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет—

Опубликовано 29.Х.1970. Бюллетень № 33

Дата опубликования описания 6.IV.1971

Кл. 12g, 17/00 комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

МПК В 01j

УДК 66 063.8 065 53.

:54-143 (088.8) с

О. А. Матвеев, С. В. Прокофьев и Ю. В. Рудь

Ленинградский ордена Ленина физико-технический институт имени А. Ф. Иоффе

Авторы изобретения

Заявитель

СПОСОБ ПЕРЕМЕШИВАНИЯ РАСПЛАВА В ЗОНЕ ПРИ ЗОННОЙ

ПЕРЕКРИСТАЛЛИЗАЦИИ ХИМИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ, В СОСТАВ КОТОРЫХ ВХОДЯТ ЭЛЕМЕНТЫ С ВЫСОКОЙ

УП РУГОСТЬЮ НАСЫЩЕН НОГО ПАРА

Изобретение относится к способам перемешивания расплава в зоне при зонной перекристаллизации химических соединений, в состав которых входят элементы с высокои упругостью насыщенного пара, который может быть использован при зонной очистке полупроводниковых соединений.

Известен способ перемешивания расплава в зоне при зонной перекристаллизации химических соединений, в состав которых входят элементы с высокой упругостью насыщенного пара при температуре плавления соединения, заключающийся в том, что расплав перемешивают с помощью миниатюрной мешалки. Этот способ имеет ряд .недостатков.

Во-первых, он применим только к очень легкоплавким веществам и вызывает загрязнение исходного материала материалом мешалки, во-вторых, связан с дополнительными техническими трудностями.

Для упрощения процесса и его интенсификации по предлагаемому способу последний ведут .в присутствии добавок легколетучего элемента, входящего в состав исходного соединения. При этом для регулирования интенсивности процесса последний ведут при изменении парциального давления легколетучего элемента и поддержании его выше давления, соответствующего максимальной температуре плавления исходного соединения, а для регулирования состава кристаллизуемого соединения при последнем проходе зоны парциальное давление пара элемента изменяют в соответствии с фазовым равновесием жидкость — твердая фаза — пар.

Пример. Синтезированный CdTe (около

100 г) .помещают в кварцевую ампулу. Туда же добавляют 4 — 7 г металлического Cd. Ампулу откачивают (— 10 — о лтл рт. ст. Hg) и

10 отпаивают. Затем вставляют в установку для зонной перекристаллизации инконгруэнтно плавящихся соединений. Эта установка состоит из трех печеп: зонной, фоновой и печи для контроля и регулирования

15 температуры избыточного кадмия.

Температуру в зоне повышают до 1130 С и после расплавления CdTe поднимают давление пара кадмия до 6,4 атм. Это достигается увеличением температуры металлическото кадмия до 940 С. После установления в течение 10 иин равновесия жидкая фаза-пар начинают перемещать зонную печь со скоростью 8 слт/час.

Кристаллизация CdTe под давлением кадмия 6,4 атл происходит при температуре

1043 С. При этом расплав в сильной степени обогащается избытком кадмия, который не входит в состав твердой фазы. Этот избыток

ЗО собирается в газовые пузырьки, которые про249350

Составитель T. Кузьмина

Редактор О. Филиппова Техред Т. П. Курилко Корректор T. А. Уманец

Заказ 14/44 Тираж 480 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, 5К-35, Раушская наб., д. 4/5

Тип. Харьк. фил. пред. «Патент» булькивают через расплав, вызывая его интенсивное перемешивание.

Предмет изобретения

1. Способ перемешивания расплава в зоне при зонной перекр исталлизации химических соединений, в состав которых входят элементы с:высокой упругостью насыщенного пара при температуре плавления соединения, отличающийся тем, что, с целью упрощения процесса и его интенсификациями, последствий ведут в присутствии добавок легколетучего элемента, входящего в состав исходного соединения, 2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что, с целью регулирования интенсивности процесса, последний ведут при изменении парциального давления легколетучего элемента и поддержании его выше давления, соответствующего максимальной температуре плавления исходного соединения.

3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что, с целью регулирования состава кристаллизуемого соединения при последнем проходе зоны, парциальное давление пара элемента изменяют в соответствии с фазовым равновесием жидкость — твердая фаза — пар.