Патент ссср 247263
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
247263
Союз Соеетскит
Социалистическиз
Республив
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 12.VI.1967 (№ 1163709/23-26) Кл. 121, 33/12 с присоединением заявки №
Комитет по волам
Приоритет
Опубликовано 04.VII.1969. Бюллетень № 22
Дата опубликования описания 9.XII.1969
МПК C 011з
УДК 66.023.546.284 (088.8) изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
АМПУЛА ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ МОНООКИСИ КРЕМНИЯ
Предмет изобретения
Изобретение относится к изготовлению оптических тонкослойных покрытий, а именно к ампулам для получения моноокиси кремния.
Известны ампулы, предназначенные для указанных целей, выполненные в виде трубки с заглушенными концами. После загрузки смеси порошка трубка запаивается, Такие ампулы не дают большого выхода продукта из-за невозможности нагрева до,необходимой высокой температуры; кроме того, они имеют одноразовое использование, так как после получения моноокиси кремния ампулу разбивают.
Отличительной особенностью предлагаемой ампулы является то, что концы трубок снабжены притертыми крышкой и тиглем из тугоплавкого материала, а внутренняя поверхность трубки — ловушками.
На чертеже изображена ампула. Она состоит из кварцевой трубки 1 с впаянными внутрь кварцевыми ловушками 2, притертой .кварцевой крышки 8 и притертого реакционного тигля 4 из тугоплавкого инертного материала, например корундиза. Впаянные ловушки предотвращают попадание пленок и кусков моноокиси кремния обратно в реакционный тигель 4.
Тигель, в который загружается смесь тонкоразмельченных порошков оптически прозрачных кварца и кремния, подсоединяется к ампуле с закрытой крышкой 8. Ампула с тиглем помещается в рабочую камеру печи, например
ТВВ-4. При достижении вакуума порядка
5 10 л м рт. ст. включается печь, и темпер атур а посте пенно доводится до 1350 — 1400 С.
В этой температурной зоне, находится тигель
4 со смесью порошков, а в верхней части ампулы с крышкой 8 температура не превышает
1О 500 С, что обеспечивает полную конденсацию паров моноокиси кремния. При необходимости и по мере расхода реакционной смеси в тигель добавляется исходная смесь порошков.
Получаемый продукт — темного цвета, стек15 лоподобен. Выход моноокиси кремния около
83% от теоретического.
Ампула для получения моноокиси кремния, выполненная в виде трубки, с заглушенными концами, отличающаяся тем, что, с целью повышения выхода продукта и многократного ее
25 использования, концы трубки снабжены притертыми крышкой и тиглем из тугоплавкого материала, а внутренняя поверхность трубки— лову ш к ам и.
247263
Составитель В. Г. Постыляков
Редактор Д. М. Лопотко Техред T. П. Курилко Корректор С. М. Си.-ал
Заказ 3084/18 Тиран 480 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва Ж-35, Раушская наб., д. 4 5
Типография, пр Сапунова, 2

