Способ изготовления вакуумплотных
Союз Советских
Социалистических
Республик
3 а виси мое от авт. свидетельст ва №
Заявлено 22.Х!.1966 (№ 1116245/29-33) с присоединением заявки № 1226932/29-33
Приоритет
Опубликовано 04.И.1969. Бюллетень ¹ 19
Дата опубликования описания 29.Х.1969
Кл. 32Ь, 29/00
МПК С 03с
УДК 666.189.45 (088.8) Комитет по делам ивобретений и открытий ври Совете Министров
СССР
Авторы изобретения
M. С. Лейзерзон и Е. Б. Фрейман -.г!
Научно-исследовательский институт электровакуумного стекла
Заявитель
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ВАКУУМПЛОТНЫХ
НЕНАПРЯЖЕННЬ!Х МЕТАЛЛОСТЕКЛЯННЫХ КОНСТРУКЦИЙ
ПЛОСКОГО КОРПУСА ДЛЯ ИНТЕГPAJIbHblX СХЕМ
Известные способы изготовления вакуумплотных ненапряженных металлостеклянных конструкций трудоемки, требуют специального технологического оборудования, усложняющего автоматизацию процесса и организацию серийного производства герметичных корпусов для интегральных схем.
Предлагаемый способ отличается от известных тем, что в форму устанавливают и фиксируют металлические детали корпуса в виде рамки и спекание заготовки осуществляют в воздушной среде при температурах, обеспечивающих максимальную, порядка 10 ггз, вязкость стекла, а также обрезают по меньшей мере два угла окаймляющей выводной рамки.
Способ основан на использовании горячего шликерного литья под давлением в форму, удаления связки, спекания сырой заготовки в засыпке и спаивания ее с металлической арматурой. Однако в отличие от известных cIIOсобов перед литьем шликера в форму в последней устанавливают и фиксируют металлические детали корпуса, выполненные в виде рамки. В результате после операции заливки шликера и его охлаждения из формы извлекают сырую заготовку, представляющую сооой единую металлостеклянную конструкцшо.
Важным является тот факт, что в предложенном способе спекание заготовки осуществляют в воздушной среде при температурах, обеспечивающих максимальную, порядка
10> пз, вязкость стекла, что позволяет избежать использования специальных кассет, которые, однако, требуют постоянной замены изза изменения конфигурации, происходящей за счет выгорания основного вещества, например графита.
Завершающим этапом в описываемом способе служит снятие остаточных напряжений, 10 возникающих в изделиях при спекании их за счет жестких связей выводов, и заключающееся в том, что по меньшей мере два угла окаймляющей выводной рамки обрезают.
15 Предмет изобретения
1. Способ изготовления вакуумплотных ненапряженных металлостеклянных конструкций плоского корпуса для интегральных схем
20 из шликера, например, на основе стекла, путем горячего литья его под давлением в форму, удаления связки, спекания сырой заготовки в засыпке и спаивания с металлической арматурой, отличагощиггся тем, что, с целью обес25 печения возможности токосъема от интегральпой схемы, помещенной внутри корпуса, и его герметизации перед операцией заливки шликера в форму, в последней устанавливают и фиксируют металлические детали корпуса в
30 виде рамки.
245301
Составитель Н. Магазаник
Техред Л. Я. Левина
Корректоры Л. Корогод н А, Абрамова
Редактор Г. С. Кузьмина
Заказ 265377 Тираж 480 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, центр, пр. Серова, д. 4
Типография, пр. Сапунова, 2
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что, с целью сохранения конфигурации изделий без ,применения специальных кассет, спекание заготовки осуществляют в воздушной среде при температурах, обеспечивающих максимальную, порядка 10т пз, вязкость стекла.
3. Способ по .пп. 1 и 2, отличающийся тем, что, с целью снятия остаточных напряжений, возникающих при спекании изделий за счет жестких связей выводов, по меньшей мере два
5 угла окаймляющей выводной рамки обпезают.

