Способ очистки вакуум-камеры от загрязнений
242I42
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советскиз
Содиалнстическиа
Ресоублнн
Зависимое от авт. свидетельства N
К ч 12 о 1/01
Заявлено 06Л.1967 (№ 1124930/23-26) с присоединением заявки ¹
Приоритет
Опубликовано 25.1Ч.1969. Бюллетень № 15
Дата опубликования описания 1.IX.1969
МПК ВОЦ
УДК 621.7.02 521 526 (088.8) Комитет оо делам изооретений и OTKpblTMll ори Совете Министров
СССР
Авторы изобретения
M И. Басалаев, Т. С. Нелипа и Л, В. Федотова ф„» ®з
Заявитель
СЙОСОБ ОЧИСТКИ ВАКУУМ-KAMEPbI ОТ ЗАГРЯЗНЕНИЙ
Изобретение относится к области химической технологии, в частности, к способам очистки, вакуум-камер от загрязнений.
Известные способы очистки вакуум-камер от загрязнений заключаются .в том, что выжигают последние в результате,непосредствен ного обогрева стенок камеры нагревательными элементами, смонтированными на внешних сторонах этих стенок, с последующей откачкой вакуум-насосом образовавшихся газообразных продуктов.
Однако при осуществлении этих способов перегреваются стенки вакуум-камеры.
Целью изобретения является предотвращение такого перегрева.
Отличие предлагаемого способа от известных состоит в гом, что загрязнения выжигают нагреваемым элементом, помещенным в камеру и не контактирующим с ее стенками.
В предлагаемом способе очистки внутренних поверхностей вакуумных камер больших размеров (порядка десятков кубических метров) продукты разложения при высокой температуре (650 С) орга нических соединений удаляют обычными способами откачки.
Практически это можно выполнить введением тела, нагретого до необходимой тем пературы, в откачиваамую область вакуумной камеры. При этом испаряющиеся с поверхности камеры органические соединения, соударяясь с .нагретым телом, разлагаются на более легкие фракции, которые легко откачиваются из камеры. Зная примерное количество загрязнений, оставшихся на поверхности
5 после обработки растворителями, и размеры нагретого тела, можно определить время, необходимое для очистки поверхности, и эффективность данного способа для каждого конкретного случая.
10 Этот способ был,применен при .получении рабочего вакуума е резонаторе и дебанчере линейного ускорителя на 70 ЧЭВ (V=47 нз,,из)
Работа мощного ускорителя возможна лишь
15 при выполнении повышенных требований к
«чистоте» вакуумной системы. Обычные способы очистки камер от органических соединений непригодны из-за сложности конструкции больших размеров камер (длина 30 и, 20 диаметр 2 и) и наличия большого числа резиновых уплотнений, что не допускает нагрева выше 50 С.
Предлагаемый технологический процесс очистки заключается в следующем:
25 — конструкцию тела, накала в виде тонкостенной трубки из .нержавеющей стали выбирают ia зависимости от конфигурации камеры, количества загрязнений и реального времени очистки;
30 — трубку помещают вдоль осп камеры;
242142
Предмет изобретения
Составитель Л. А. Мовчан
Тсхред Л. Я, Левина Корректор Т. Д. Чунаева
Редактор А. Петрова
Заказ 2128/7 Тираж 480 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4
Типография, пр. Сапунова, 2 — камеру:вместе с трубкой отка чивают до давления 1Х10 4 торр, после чего на трубку подают напряхкение от источника питания, и трубка нагре вается,проходящим через нее током до 650 С; — в процессе нагрева камеру откачивают высо ковакуу пными пассосами с жидкоазотными ловушками и .поддерживают давление
10 торр; — прогрев заканчивают при давлении
1Х10 — торр (при выключенном нагреве) и уменьшен:и газоеотделения примерно |в 4 раза, Способ очистки вакуум-камеры от загрязнений путем выжигания загрязнений .на грева5 ние м стенок камеры с последующей откаикой посредством вакуум-насоса образовавшихся газообразных продуктов, отличающийся тем, что, с целью предотвращения перегревов стенок камеры, выжигание загрязнений осущесг10 вляют помещением в камеру без контакта с ее стенками,нагреваемого элемента..
