Свч-плазматрон на волну н,

ОП И САН И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 20ЛХ.1967 (№ 1184868/26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 04.1Х.1972. Бюллетень ¹ 26

Дата опубликования описания 11.XI I.1972

М. Кл. Н 05h 1/18

Комитет по делам изебретеиий и открытий при Совете Мииистрое

СССР

УДК 621.387.3(088,8) Авторы изобретения

Г. Г. Гонтарев, Л. М. Блинов, В. В. Володько, Г. В. Лысов, А. T. Заморенов и А. В. Трухии

Заявитель

СВЧ-ПЛАЗМАТРОН НА ВОЛНУ H„

Предмет изобретения

Изобретение относится к устройствам для получения газоразряд ной плазмы.

Недостатком известных СВЧ-плазматронов является ограничение мощности, подведенной к газу с помощью волновода, в .котором распространяется электромагнитная волна заданной длины. Это обусловлено ростом отражения микроволн от,плазменного, образования при увеличении коэффициента электропроводности плазмы. Кроме того, применяемые в них ферритовые устройства громоздки и дороги.

В предложенном СВЧ-плазматроне увеличена подводимая к газу мощность и снижен вес и стоимость аппаратуры.

На черте?ке представлено предложенное устройство.

Оно состоит из газоразрядной камеры 1, выполненной из кварца, имеющей на входе форсунку 2 подачи газа и устройство 8 для поджига разряда. Устройство представляет собой стержень, вводимый в зону разряда нажатием пальца, На выходе камеры установлено водоохла?кдаемое сопло 4. Камера пересекает два волновода б, имеющих .на входе фланцы б подключения к источникам СВЧэнергии, и согласовапныс водяные нагрузки 7 на концах. Волноводы разделены вкладышем 8.

Работает данное устройство следующим образом.

Включают систему охлаждения и подачу рабочего газа в форсунке 2. Далее .включают

СВЧ-генераторы, и на?катием пусковой кнопки устройства 8 поджигают разряд в кварце5 вой камере.

10 1. СВЧ-,плазматрон на волну Ниь содержащий цилиндрическую газоразрядную камеру, выполненную из диэлектрика, например из кварца, с форсункой подачи газа и пусковьг;ч устройством на входе и с соплом на выходе

15 камеры, вмонтированной в прямоугольный волновод так, что она пересекает широкие стенки волновода .в направлении нормали к ним, причем ось камеры пересекает ось волновода, отличающийся тем, что, с целью по20 вышения подводимой к рабочему газу мощности при заданной длине волны, распространяющейся в,волноводе,,в нем число волноводов составляет не мегнее двух, и они разделены металлическими Водоохла?к)даемыотн вклады25 шами цилиндрической формы, охватываюшими газоразряд ную камеру.

2. Плаз матрон по .п. 1, oT,ãè÷à?îùèéñÿ тем, что, с целью снижения веса и стоимости аппаратуры, в нем на конце каждого из СВЧ-трак30 тов установлены согласованные водяные нагрузки.

231037

Редактор Н. Хухрыгина

Баказ 3931/1 Изд. М 1611 Тираж 406 Подписное

ЦНИИПИ Когннтета по делагя изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, 7К-35, Раугпская наб., д. 4/5

Типография, пр, Сапунова, 2

Составитель В. Рябый

Текрсд Е. Борисова

Корректоры: И. Божко и Л. Новожилова