Устройство для нанесения покрытий в вакууме
2207I4
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства ¹
Кл. 48Ь, 13/10
Заявлено 18.1.1967 (№ 1127016/22-1) с присоединением заявки ¹
Приоритет
Опубликовано 28Л Е1968. Бюллетень ¹ 20
Дата опубликования описания 18.1Х.19б8
МПК С 23с
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР ДК 621.793.14.002.54 (088.8) Авторы изобретения
Б. Г. Соколов, А. С. Ронжин и П. T. Аношин
Заявитель
УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ
Известно устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее вакуумную камеру с расположенными внутри нее испарителем и полым сферическим катодом.
Предлохкенное устройство отличается от известного тем, что полый сферический катод снабжен электрически связанными с ним направляющими штангами. Это обеспечивает равномерное покрытие на изделиях сложной конфигурации.
На чертеже изображено описываемое устройство.
Оно состоит из вакуумной камеры 1, испарителя 2, катода 8 и направляющих штанг 4.
Вакуумная камера электрически связана с плюсом высоковольтного выпрямителя и является анодом.
Обрабатываемые детали 5 закрепляют на направляющих штангах 4, и B испаритель загружают испаряемый материал б. После этого камеру закрывают и вакуумируют. Получив необходимое разрежение, приступают к нанесению покрытия. От высоковольтного выпрямителя на катод и анод подают разгоняющее напряжение до 3 кв. Через вентиль 7 в вакуумную камеру поступает балластный газ для повышения давления до появления свечения в полости катода. Одновременно с этим в цепи источника питания появляется анодный ток. Электрическое поле заставляет ионы балластного газа двигаться не только по направленшо к катоду, но и по направлению пространства, огран ченного направляющими штангами 4. После включения нспарптеля пары материала покрытия, находящиеся в зоне, прилегающей к катоду и пространству, ограниченному направляющими штангами 4, ионизпруются н бомбардируют поверхность изделия. 11оны, не попавцшс на изделия благодаря отсутствию положительного пространственного заряда, свободно пронизывают зону, сграничснную напр",âляющпми штангами, и бомбардируют изделия, размещенные с противоположной стороны.
Предмет изобретения
20 Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее вакуумную камсру, испаритсль и полый сферпческни катод, отличаютиееся тем, что, с целью получения равномерного покрытия на изделиях сложной кон25 фигурацин, полый сферический катод снабжен электрически связанныуш с ннм направляющпзш штангами.
Редактор H. С. Коган
Составитель A. Кутибашвили
Тскред Р. М. Новикова Корректор О. Б. Тгорина
Заказ 2608 19 Тираж 530 Подписное
Ц1!ИИПИ 1сомитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СCCP
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4
Типографии, пр. Сапунова, 2
