Изобретение относится к полупроводниковой электронике. Сущность изобретения: обкладка конденсатора, соединенная с входным электродом транзистора, разделена на изолированные участки. Площадь каждого участка выбирается из условий равномерного распределения в полосе рабочих частот транзистора максимумов коэффициентов передачи мощности согласующих LC-звеньев отдельных транзисторных ячеек или групп ячеек, соединенных с данным участком обкладки конденсатора, а также выравнивания значений этих максимумов. Изобретение позволяет повысить коэффициент усиления по мощности и КПД широкополосного ВЧ- и СВЧ-транзистора за счет снижения потерь мощности во входной согласующей цепи транзистора. 2 ил.
Изобретение относится к полупроводниковой электронике и может быть применено в конструкциях мощных ВЧ- и СВЧ- полупроводниковых приборов и оконечных каскадов ВЧ- и СВЧ- широкополосных усилителей мощности.
Известен мощный ВЧ- и СВЧ-транзистор, содержащий диэлектрическую подложку с электродами, на которой размещен полупроводниковый кристалл с транзисторными ячейками, активные области которых соединены с соответствующими одноименными активными областям электродами подложки: входным, нулевого потенциала и коллекторным [1].
Недостатком такого транзистора является уменьшение относительной ширины полосы рабочих частот

f/f
0, где

f = f
вг-f
нг - ширина полосы рабочих частот; f
0 - центральная рабочая частота; f
вг - f
нг - соответственно верхняя и нижняя граничные частоты полосы

f, по мере увеличения f
0 и выходной мощности P
1. Это связано с тем, что с увеличением Р
1 уменьшается активная составляющая входного импеданса транзистора [2] Re{Z
вх1} = R
вх1 = |h
21|
2
R
1/K
УР, где |h
21| - модуль коэффициента передачи тока; R
1 - эквивалентное сопротивление нагрузки; К
УР=Р
1/Р
вх - коэффициент усиления транзистора по мощности; Р
вх - входная мощность, а также с тем, что невозможно в данной конструкции транзистора реализовать значение первого (ближайшего к транзисторному кристаллу) LC-звена входной согласующей цепи L менее 0,9...1,1 нГн. Так как

f/f
0 = Re{Z
вх1}/2

f
0
L

1/Q[2] (Q - добротность согласующего LC-звена), при f
0
300 МГц и P
1
40Вт значения

f/f
0 в транзисторах [1] становятся неприемлемыми для разработчиков усилительной аппаратуры.
Наиболее близким по совокупности признаков является мощный ВЧ- и СВЧ-транзистор, содержащий диэлектрическую подложку с электродами, на которой размещены транзисторные ячейки и конденсатор, первая обкладка которого соединена проводниками с первыми активными областями транзисторных ячеек и входным электродом подложки, вторая обкладка конденсатора соединена со вторыми активными областями транзисторных ячеек и электродом нулевого потенциала подложки, а коллекторные области транзисторных ячеек соединены с коллекторным электродом подложки [3]. В схеме с общим эмиттером первыми активными областями транзисторных ячеек являются базовые области, а вторыми - эмиттерные, в схеме с общей базой - наоборот.
В таком транзисторе за счет размещения первого согласующего LC-звена непосредственно в корпусе прибора обеспечиваются величины L=0,1...0,5 нГн, что позволяет реализовать требуемые значения

f/f
0[2]. Взаимоиндукция рабочих токов транзистора, протекающих по проводникам, соединяющим обкладки конденсатора с активными областями транзисторных ячеек и электродами подложки, приводит к различию индуктивностей L
i согласующих LC-звеньев транзисторных ячеек в отдельности [4], увеличивает неравномерность коэффициента усиления по мощности в полосе рабочих частот K
УР(f) (f


f), потери входной мощности Р
вх в полосе

f [5] и препятствует достижению максимальной мощности Р
1 и коэффициента усиления по мощности транзистора в полосе его рабочих частот

f. Согласно [5] К
УР(f)=К
Р СЦ(f)(К
Р Т(f), где К
Р Т(f) - коэффициент усиления по мощности транзисторного кристалла, определяемый его топологией, схемой включения (с ОЭ или с ОБ) и параметрами режима эксплуатации (напряжение питания, уровень входной мощности, класс усиления - А, В, С, эффективность рассеяния выделяющейся тепловой мощности и др. ); К
Р СЦ (f) - коэффициент передачи мощности входной согласующей цепью транзистора, получаемый усреднением коэффициентов передачи мощности соединенных параллельно LC-звеньев отдельных транзисторных ячеек

i= 1, . . . , N; N - количество транзисторных ячеек; R
Г - сопротивление входного эквивалентного генератора; Re{Z
li(f
0)}, Im{Z
li(f
0)} - активная и реактивная составляющие импеданса входного согласующего LC-звена i-й транзисторной ячейки. Из-за различия индуктивностей L
i максимумы К
Р СЦi (f) находятся на различных резонансных частотах f
0i. Неупорядоченное расположения максимумов увеличивает неравномерность результирующей характеристики К
Р СЦ (f), что в итоге снижает P
1 и К
УР в полосе

f. Заявляемое изобретение предназначено для повышения равномерности частотной зависимости коэффициента передачи мощности внутреннего входного согласующего LC-звена мощного ВЧ- и СВЧ-транзистора в полосе его рабочих частот

f, за счет равномерного распределения в полосе

f резонансных максимумов внутренних входных согласующих LC-звеньев отдельных N транзисторных ячеек или m<N групп транзисторных ячеек, и при его осуществлении может быть увеличен коэффициент усиления по мощности транзистора и его КПД.
Вышеуказанная задача решается тем, что в известном мощном широкополосном ВЧ- и СВЧ-транзисторе, содержащем диэлектрическую подложку с электродами, на которой размещены транзисторные ячейки и конденсатор, первая обкладка которого соединена N проводниками с первыми активными областями транзисторных ячеек и входным электродом подложки, вторая обкладка конденсатора соединена со вторыми активными областями транзисторных ячеек и электродом нулевого потенциала подложки, а коллекторные области транзисторных ячеек соединены с коллекторным электродом подложки, согласно изобретению первая обкладка конденсатора разделена на m изолированных участков, в пределах каждого из которых располагаются n

1 контактов проводников, соединяющих участок с первыми активными областями транзисторных ячеек, и соответствующее им количество контактов проводников, соединяющих участок с входным электродом подложки, а площади участков удовлетворяют условию

где d и

- соответственно толщина и относительная диэлектрическая проницаемость диэлектрика под участком;
0 
8,85

10
-12Ф/м - электрическая постоянная в СИ;

f
вг, f
нг - соответственно верхняя и нижняя границы полосы частот транзистора;

k= 1, . .., m; L
i - индуктивность соединения участка и i-й транзисторной ячейки из n, соединенных с данным участком; L'
k, R'
k - соответственно индуктивность и сопротивление между контактами проводников, соединяющих k-й участок с транзисторными ячейками, и контактами проводников, соединяющих этот участок с входным электродом; R
вхli - активное входное сопротивление i-й транзисторной ячейки из n, соединенных с данным участком, причем отношение R
вxl/L
k является монотонно возрастающей функцией аргумента k.
Получаемый при осуществлении изобретения технический результат, а именно увеличение коэффициента усиления транзистора и повышение его КПД, достигается за счет того, что при выполнении условия (2) повышается равномерность характеристики К
Р СЦ(f) и снижаются потери входной мощности P
вx в согласующей цепи транзистора. Для достижения предельно максимального значения (1) Мах{К
Р СЦi(f)}=1 необходимо, чтобы
Im{Z
li(f)} = 0; (3а)
Re{Z
li(f)} = R
Г, (3б)
где

Здесь i= 1, ..., N; R
вхli(f) - активное входное сопротивление i-й транзисторной ячейки; С - емкость конденсатора внутреннего согласующего LC-звена. Так как обкладки конденсатора - общие для LC-звеньев всех транзисторных ячеек, С не зависит от i. Ввиду различия L
i и R
вхli, обусловленного взаимоиндукцией входных контуров транзистора, условие (3б) может не выполняться для всех i=1,..., N. Обобщением условий (3а), (3б) является
Re{Z
li(f)} = max [Re{Z
li(f)}](3в)
Приравняв правую часть (4) нулю, получим

где f
i - резонансная частота согласующего LC-звена i-й транзисторной ячейки. Аналогичным будет решение уравнения, полученного приравниванием нулю производной по С правой части (5) (условие максимума функции Re{Z
li(C)}). Максимально равномерной зависимость К
Р СЦ (f) может быть лишь, когда максимумы К
Р СЦi (f)
а) равномерно распределены в полосе

f;
б) стремятся к 1, т.е. Re{Z
li(f)}-->NR
Г.
Аналитической записью условия а) является (2), где

а величины R
вxlk и L
k учитывают сопротивление и индуктивность соответствующих участков обкладки конденсатора L'
k и R'
k между контактами соединительных проводников. Для реализации (2) первая обкладка конденсатора должна быть разделена на m (по числу групп ячеек) участков. Из условия б) согласно [5] для n = 1, m = N:

а для n>1:

,
откуда

т.е. резонансные частоты f
k LC-звеньев отдельных групп ячеек должны быть тем больше, чем больше отношение R
вxlk/L
k. Поскольку по условию формулы изобретения f
k - монотонно возрастающая функция k, то и отношение R
вxlk/L
k должно быть монотонно возрастающей функцией k.
Таким образом, осуществление изобретения обеспечивает максимально равномерную частотную зависимость коэффициента передачи мощности входной согласующей цепью транзистора К
Р СЦ (f) при стремлении уровня К
Р СЦ (f) к единице в полосе рабочих частот. При известном N равномерность К
Р СЦ (f) повышается при m-->N. Поскольку зависимость К
Р СЦ (f) носит колебательный характер относительно некоторого значения К
0, и ограничена: К
Р СЦ (f)

1, уменьшение отклонения |K
РСЦ(f)-K
0| будет приближать К
0 к 1, поэтому потери мощности во входной согласующей цепи транзистора [6]

при осуществлении изобретения будут уменьшаться, а коэффициент усиления по мощности

и полный КПД транзисторного каскада

будут увеличиваться. Здесь Р
к - тепловая мощность, рассеиваемая в коллекторе.
На фиг. 1 изображен заявляемый мощный ВЧ и СВЧ- транзистор, вид сверху. Здесь представлен вариант реализации для случая n=1 (m=N).
На фиг.2 представлен вариант реализации устройства для случая m<N, n
k
l.
Мощный широкополосный ВЧ и СВЧ-транзистор состоит из диэлектрической подложки 1, на которой расположены электроды: входной 2, нулевого потенциала 3 и коллекторный 4. Транзисторные ячейки 5 непосредственно контактируют своими коллекторными областями с коллекторным электродом. Контактные площадки металлизации первых активных областей 6 и вторых активных областей 7 соединены соответственно с изолированными друг от друга участками 8 первой обкладки и общей для всех ячеек второй обкладкой 9 конденсатора посредством проводников 10. Изолированные участки разной площади первой обкладки и вторая обкладка образуют конденсаторы входных согласующих LC-звеньев отдельных транзисторных ячеек (фиг. 1) или групп транзисторных ячеек (фиг.2). Вторая обкладка конденсатора непосредственно контактирует с электродом нулевого потенциала 3, а изолированные участки первой обкладки соединены проводниками 10 с входным электродом 2. Места присоединения проводников 11, соединяющих участки первой обкладки с входным электродом и металлизацией первых активных областей 6 транзисторных ячеек, могут быть совмещены (фиг.1) или пространственно разнесены (фиг. 2), так что между ними имеется некоторое сопротивление R
1 k и индуктивность L
1 k.
При включении СВЧ-транзистора в схему каскада усилителя мощности на вход согласующей цепи поступает усиливаемый сигнал. За счет различия индуктивностей L
i согласующих LC-звеньев транзисторных ячеек и их активных входных сопротивлений, вызванного взаимоиндукцией контуров, образованных монтажно-соединительными элементами, в полосе рабочих частот транзистора

f имеют место потери входной мощности, что приводит к уменьшению коэффициента усиления по мощности К
УР и КПД транзистора. Величина

P определяется неравномерностью частотной зависимости коэффициента передачи мощности внутренним входным согласующим LC-звеном транзистора К
Р СЦ (f). В заявляемом устройстве, за счет разделения первой обкладки конденсатора на изолированные участки 8 и выполнения условий (2) на площади участков, к отдельным транзисторным ячейкам или группам ячеек подключены согласующие емкости С
k, повышающие равномерность распределения резонансных частот
k LC-звеньев в полосе

f. Поскольку увеличение резонансной частоты сопровождается увеличением отношения R
вxlk/L
k, это приводит к тому, что равномерно распределенные в полосе

f резонансные максимумы К
Р СЦ (f), располагаются примерно на одном уровне, близком к единице. За счет этого повышается равномерность К
Р СЦ (f), следовательно, снижается

P, что обеспечивает увеличение К
УР и КПД транзистора. Максимальные значения К
УР и КПД реализуются в конструкции, показанной на фиг. 1, при m=N, n
k=1, когда каждой транзисторной ячейке соответствует согласующее LC-звено, для которого площадь перекрытия обкладок конденсатора С определяется условиями (2).
ЛИТЕРАТУРА
1. Колесников В.Г. и др. Кремниевые планарные транзисторы / Под ред. Я. А. Федотова. - М.: Сов. радио, 1973. - 336 с.
2. Проектирование и технология производства мощных СВЧ-транзисторов / В. И. Никишин, Б. К. Петров, В.Ф. Сыноров и др. - М.: Радио и связь, 1989. - 144с.
3. Электроника, 1973, 10, С.72-75 - прототип.
4. Петров Б. К., Булгаков О.М., Гуков П.О. Расчет эквивалентных индуктивностей входных цепей мощных СВЧ-транзисторов/ Воронеж, гос. ун-т, Воронеж. 1992. 7 с. - Деп. в ВИНИТИ 28.04.92, 1420 - В92.
5. Булгаков О.М. Потери мощности во входных цепях оконечных каскадов широкополосных мощных СВЧ-транзисторных радиопередатчиков// Радиотехника. - 2000. - 9. - С. 79-82.
Формула изобретения
Мощный широкополосный ВЧ- и СВЧ-транзистор, содержащий диэлектрическую подложку с электродами, на которой размещены транзисторные ячейки и конденсатор, первая обкладка которого соединена N проводниками с первыми активными областями транзисторных ячеек и входным электродом подложки, вторая обкладка конденсатора соединена со вторыми активными областями транзисторных ячеек и электродом нулевого потенциала подложки, а коллекторные области транзисторных ячеек соединены с коллекторным электродом подложки, отличающийся тем, что первая обкладка конденсатора разделена на m изолированных участков, в пределах каждого из которых располагаются n

1 контактов проводников, соединяющих участок с первыми активными областями транзисторных ячеек, и соответствующее им количество контактов проводников, соединяющих участок с входным электродом подложки, а площади участков удовлетворяют условию

где d и

- соответственно толщина и относительная диэлектрическая проницаемость диэлектрика под участком;
0 
8,85

10
-12Ф/м - электрическая постоянная в СИ;

f
вг, f
нг - соответственно верхняя и нижняя границы полосы частот транзистора;

k= 1, . . . , m;
L
i - индуктивность соединения участка и i-й транзисторной ячейки из n, соединенных с данным участком; L
k', R
k' - соответственно индуктивность и сопротивление между контактами проводников, соединяющих k-й участок с транзисторными ячейками, и контактами проводников, соединяющих этот участок с входным электродом, R
вхli - активное входное сопротивление i-ой транзисторной ячейки из n, соединенных с данным участком, причем отношение R
вхlk/L
k является монотонно возрастающей функцией аргумента k.
РИСУНКИ
Рисунок 1,
Рисунок 2