Способ определения спектральных характеристик исследуемых объектов
Использование: изобретение относится к аналитическому приборостроению и может быть использовано при разработке контрольно-измерительной техники. Сущность изобретения: способ определения спектральных характеристик исследуемых объектов заключается в формировании модулированных сигналов синхронизации и аналитических сигналов, один из которых по крайней мере пропускают через образец, измерении сдвига фаз относительно сигнала синхронизации, по которому судят о параметрах исследуемого объекта, причем модуляцию сигналов осуществляют по гармоническому закону, обеспечивая сдвиг фаз на величину, не равную n, по крайней мере для пары аналитических сигналов, где n - произвольное целое число, и до измерения сдвига фаз осуществляют суммирование аналитических сигналов. Кроме того, сдвиг фаз может быть равен величине
, где n - целое число. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.
Изобретение относится к аналитическому приборостроению и может быть использовано при разработке контрольно-измерительной техники, предназначенной для измерения коэффициентов поглощения, рассеяния, спектральных характеристик различных сред и материалов, для дистанционного контроля размеров образцов /например, роста кристаллов/, скорости протекания химических реакций и т. д. а также при создании датчиков концентрации, анализаторов химического состава и т.д. работающих в интервале от радиоволн до оптического диапазона, которые могут найти применение в различных отраслях машиностроения, химической промышленности, в медицине и экологии.
Известны способы определения спектральных характеристик исследуемых объектов, в основе которых лежит определение отношения интенсивностей до и после прохождения образца /падающего и прошедшего/ лучей. Как правило, для определения искомого отношения используют следующую последовательность действий: формуют опорные и измерительные лучи, причем измерительный луч пропускают через образец, обеспечивают поочередный ввод излучения в измерительный канал, после чего измеряют интенсивность введенного в канал излучения. Производят преобразование в цифровую информацию величин интенсивностей с последующим вычислением их отношения с помощью ЭВМ, либо находят искомые отношения величин аналитического и опорного сигналов с помощью логарифмов /А.С. СССР N 1672315, кл. G 01 N 21/63/. Однако основным недостатком этих способов является то, что измерительный и опорный лучи пропускают через исследуемый образец и вводят в измерительный канал попеременно, что приводит к увеличению погрешности измерений и снижению быстродействия. Известен также способ определения мутности сред, в котором также формируют различные световые потоки и попеременно направляют их на исследуемый объект. Добиваются выравнивания интересующих выходных потоков через изменение величин интенсивностей входных потоков, вводя в процесс измерения дополнительную обратную связь. /А.с. СССР N 715980, кл. G 01 N 21/59/. Однако введение дополнительной обратной связи не дает возможности полностью избавиться от нестабильностей, возникающих при формировании сигналов и при их измерении, а быстродействие ограничено постоянной времени цепи обратной связи или быстродействием оператора. Известен также способ определения оптических характеристик материалов /А. с. СССР N 1538106, кл. G 01 N 21/21/, в котором излучение, испускаемое источником, разделяют на два потока, осуществляют их преобразование в циркулярно-поляризованные потоки с различным направлением вращения плоскости поляризации. Пропускают один из них через исследуемый материал, при этом происходит задержка фазы его колебаний на величину, пропорциональную оптической разности хода относительно другого потока. Далее оба потока суммируют и по углу поворота плоскости поляризации судят о величине разности хода, внесенной образцом. Известен также способ измерения коэффициента ослабления /А.С. СССР N 1226193, кл. G 01 N 21/01/, заключающийся в разделении потока излучения на опорный и измерительный с последующей ортогонализацией их поляризацией. После этого один из них измерительный пропускают через исследуемый образец и по азимуту поляризации суммарного потока судят о коэффициенте ослабления исследуемого образца. Однако в описанных способах точность измерений снижается при измерении азимута поляризации, что, кроме того, приводит к усложнению процесса измерений. Наиболее близким по технической сущности к изобретению является способ, изложенный в литературе /Горшков М.М. Эллипсометрия. М. Советское радио, 1974, с. 138 142./ По этому способу для просвечивания исследуемого объекта формируют линейно-поляризованный пучок, модулируют его по азимуту поляризации и для каждой исследуемой точки объекта измеряют разность фаз между опорным сигналом, возникающим в канале регистрации рассеянного света. Кроме того, измеряют угол поворота объекта от референтного направления до положения, при котором сигнал в канале рассеянного света минимален, и интенсивность рассеянного света в этом же канале при последующем повороте объекта на 45o. Полученные данные используют для определения параметров анизотропии объекта. Основным недостатком этого способа является то, что в общем случае применяемый закон модуляции луча носит произвольный характер, что усложняет процесс обработки и интерпритации полученных данных, кроме того, способ ориентирован только на измерение поляризационных характеристик исследуемых объектов, что существенно сужает сферу его применения. Целью изобретения является повышение точности измерений и быстродействия при упрощении процесса измерений. Цель достигается тем, что в способе определения спектральных характеристик исследуемых объектов, заключающемся в формировании модулированных сигнала синхронизации и аналитических сигналов, один из которых, по крайней мере, пропускают через образец, измерении сдвига фаз относительно сигнала синхронизации, по которому судят о параметрах исследуемого объекта, модуляцию сигналов осуществляют по гармоническому закону, обеспечивая сдвиг фаз на величину, не равную






















Формула изобретения
Способ определения спектральных характеристик исследуемых объектов, заключающийся в формировании модулированных сигналов синхронизации и аналитических сигналов, один из которых по крайней мере пропускают через образец, измерении сдвига фаз относительно сигнала синхронизации, по которому судят о параметрах исследуемого объекта, отличающийся тем, что модуляцию сигналов осуществляют по гармоническому закону, обеспечивая сдвиг фаз на величину, не равную

РИСУНКИ
Рисунок 1