Способ получения идеального вакуума
Авторы патента:
Использование: в вакуумной технике. Сущность изобретения: в капсулу после очистки статическим газовыделением нагнетается химически чистый газ с последующей положительной ионизацией его электровакуумным конденсатором объемного заряда статического поля электроловушки холода и тепловой электроловушкой статического магнитного поля с вакуумным выводом ионизированного газа-плазмы до значения 1010 мм рт. ст. Охлаждают стенки капсулы и выводят газ-плазму на величину вакуума 10-45 мм рт. ст. 9 ил.
Изобретение относится к вакуумной технике.
Известен способ получения вакуума при помощи низких температур [1] Известен способ получения вакуума путем заполнения емкости жидкостью и последующего ее охлаждения до образования кристаллизационного слоя на стенках, затем после удаления жидкости из емкости осуществляют дальнейшее понижение температуры стенок емкости [2] Недостатками известного способа являются отсутствие возможности контроля за получением сверхвысокого вакуума, ограниченность применения сверхвысокого вакуума в связи с хрупкостью закристаллизовавшегося слоя на стенках емкости, малое значение вакуума. Задачей изобретения является повышение сверхвысокого вакуума. Данная задача решается за счет того, что капсулу помещают в двухстенную барокамеру, наружную полость которой заполняют химически чистым аргоном до давления 2,5 атм, а внутреннюю полость химически чистым гелием до давления 1,5 атм. Затем полость капсулы, сообщающуюся с полостями камер отвода, перевода и накопления, также заполняют химически чистым гелием до давления 1,5 атм и откачивают из них гелий до вакуумного значения 10-10 мм рт. ст. при помощи высоковакуумного насоса, после чего нагревают металлические стенки камер и прилагают к ним электрический потенциал, полученный при взаимодействии электровакуумного конденсатора и электроловушек для вывода смеси гелия и газовыделения. Затем одновременно производят вакуумное выдувание остатков гелия и фонового газа из внутренней полости двухстенной барокамеры, полостей капсулы и сообщающихся с ней камер путем введения импульсами порций гелия и при постоянном отсосе высоковакуумным насосом до достижения вакуумного значения 10-10 мм рт. ст. После этого увеличивают давление гелия в них до 4,5 атм и производят ионизацию гелия воздействием электрического потенциала электронно-вакуумного конденсатора и электроловушек холода и тепла, выводят ионизованный гелий до достаточного давления 10-10 мм рт. ст. из полостей камеры отвода и капсулы в камеру перевода и накопления под действием камеры силового давления и затем металлические стенки капсулы, камер отвода, перевода и накопления охлаждают до -150оС для концентрации положительных зарядов в кристаллической решетке стенки капсулы, выталкивающих положительно заряженные ионы гелия из полости капсулы совместным воздействием силы напряженности электрического поля между стенками капсулы и электрокерамической перегородкой электронно-вакуумного конденсатора до остаточного давления ионов гелия в полости капсулы от 10-27 до 10-45 мм рт. ст. Общие признаки: предусмотрена защита от газовыделения, капсула вакуумных значений заполняется материальной средой, предусмотрено применение высоких значений холода. Сопоставительный анализ признаков прототипа и заявляемого технического решения позволил выявить отличительные признаки в заявляемом способе получения идеального вакуума, следовательно, заявляемое техническое решение удовлетворяет критерию изобретения "новизна". При проведении изучения других известных технических решений в данной области техники признаки, отличающие изобретение от прототипа, не были выявлены, следовательно, заявляемое техническое решение имеет изобретательский уровень техники. Предлагаемое техническое решение может быть использовано в оборонной промышленности для защиты от военного лазера и от крылатых ракет, для нового типа радарно-невидимого самолета, в системе шумоподавления подводных лодок, для определения истинного нуля температур между теплом и холодом, в термоядерном синтезе, в пищевой промышленности, для сохранности пищевых продуктов в космосе, в медицине для соблюдения стерильности в хирургии, в металлургической промышленности для закалки металла без теплообмена. На фиг. 1 и 2 показаны основные узлы установки для осуществления заявляемого способа; на фиг. 3 показана схема электронно-вакуумного конденсатора; на фиг. 4 конструкция электрода накопления; на фиг. 5 конструкция сеточного эмиссионного электрода; на фиг. 6 конструкция электрода накопления; на фиг. 7 конструкция электрода компенсации; на фиг. 8 электрическая перегородка; на фиг. 9 тепловая электроловушка. Капсулу 1 помещают в двухстенную барокамеру 2 и 3 с полостями 4 и 5. Капсула 1 соединена с вакуумным насосом 6, а вакуумный насос 10 и компрессор 11 соединены трубопроводом с полостью 4 барокамеры 2. Компрессор 9 соединен с балоном 12 для химически чистого аргона, а компрессор 11 соединен с балоном 13 для химически чистого гелия. Капсула 1 электрически соединена с электроловушкой 14, снабженной электронагревателем 15, вакуумный насос 8 соединен трубопроводом с полостью 5 барокамеры 3. На трубопроводах установлены высоковакуумные вентили 16, 17, 18 и 19. Электроловушка 14 при помощи трубопровода соединена с вакуумным насосом 20, генератором 21 холода с трубой 22 охлаждения, аккумулятором 23 давления, выполненным в виде сильфона, компрессором 24, снабженным баллоном 25 с химически чистым элегазом. В электроловушке 14 между электронагревателем 15 и трубой 22 охлаждения размещен зарядный металл 26, электроизолированный от них керамическими изоляторами 27 и 28. Зарядный металл 26 электроловушки 14 электрически соединен с зарядным металлом 29 электропоглотителя 30, покрытого изнутри электроизолятором из керамики. На выводах зарядного металла 26 электроловушки 14 установлены электроподогреватели 31 и 32. К электропоглотителю 30 прикреплен электронно-вакуумный конденсатор 33, электрокерамическая перегородка 34 которого контактирует с зарядным металлом 29. Полость электропоглотителя 30 соединена с вакуумным насосом 35 при помощи трубопровода с высоковакуумным вентилем 36. На корпусе электропоглотителя 30 со стороны выводов от зарядного металла 29 установлена спираль 37 накала. В камере электропоглотителя 30 над зарядным металлом 29, покрытым слоем эмиссионного металла 38, установлена с зазором анодная пластина 39, электрически соединенная с высоковольтным выпрямителем 40 и трансформатором 41. Зарядный металл 29 электрически соединен с высоковольтным выпрямителем 40 через конденсаторные блоки 42 и 43 при помощи двойных выключателей 44, 45, 46, 47. На фиг. 3 более подробно показана конструкция электронно-вакуумных конденсаторов 33, 97 и 107 с электропитанием. Под электрокерамикой 34 установлен сеточный эмиссионный электрод 48, сеточный электрод 49 компенсации и сеточный электрод 50 накопления. Внутри корпуса 51 электронно-вакуумного конденсатора 33 установлен двухстенный сильфон 52 с рабочими объемами 53 и 54, к дну 55 которого прикреплены последовательно пластиковый изолятор 56, электрод 57 накопления и электрокерамическая перегородка 58. К нижней части металлического дна 55 с нижней стороны прикреплен второй двухстенный сильфон 59, кольцевая рабочая полость 60 которого соединена с компрессором 61 с вентилем 62, а вентилем 63 с выходом в атмосферу. Кольцевая полость 53 верхнего двухстенного сильфона 52 соединена с вакуумным насосом 64 через вентиль 65, через вентиль 66 с компрессором 67 и емкостью 68 для химически чистого элегаза. Верхняя полость электронно-вакуумного конденсатора 33 в зоне электродов соединена через вентили 69 и 70 с атмосферой, а через вентиль 71 с вакуумным насосом 188 и через вентиль 72 с компрессором 73 с емкостью 74 химически чистого гелия. К эмиссионному электроду 48 подводится напряжение от трансформатора 75 через плюсовый вывод выпрямителя 76, а минусовый вывод выпрямителя подсоединен к электроду 57 накопления. К сеточному электроду 50 подводится напряжение от трансформатора 77 через минусовый вывод выпрямителя 78, а плюсовый вывод его соединен с эмиссионным электродом 48. При этом образуется замкнутая цепь через напряженность между эмиссионным электродом 48 и электродом 50 накопления. Электрод 49 компенсации соединен с минусовым выводом выпрямителя 79, питаемого трансформатором 80, а плюсовый вывод выпрямителя 79 через выключатели 81 и 82 и конденсаторный блок 83 соединен с эмиссионным электродом 48, образующий силу напряженности поля между эмиссионным электродом 48 и электродом 49 компенсации. Конденсаторный блок 83 через выключатель 89 последовательного соединен с выпрямителем 90 и трансформатором 91. Конденсаторный блок 84, соединенный через выключатель 85 с выпрямителем 86 и трансформатором 87, является эквивалентным конденсаторному блоку 83. Они включаются в цепь питания электродов поочередно выключателями 82 и 88. Выключатели 92-96 служат для замыкания соответствующих электрических цепей. Выключатель 93 снабжен электромагнитным прерывателем. В электрическую цепь электроловушки 14 и электропоглотителя 30 подключен электровакуумный конденсатор 97, электромагнитная пластина 98 которого соединена через двойной выключатель 99, разделительный конденсатор 100 и диод 101 с зарядным металлом 26 электроловушки 14, соединенным через выключатель 102 и диод 103 с зарядным металлом 29 электропоглотителя 30. От зарядного металла 29 напряженность через двойной выключатель 99 и разделительный конденсатор 104 передается к положительному электроду 105 электронно-вакуумного конденсатора 97. Камера 7 отвода герметично соединена с электрокерамической перегородкой 106, имеющей экранирующую сетку электронно-вакуумного конденсатора 107. Зарядный металл 26 электроловушки 14 электрически соединен через разделительный конденсатор 108 с электродом 109 накопления, а электромагнитная пластина 110 через разделительный конденсатор 111 соединена с корпусом камеры 7 отвода и корпусом 112 отвода. Полость капсулы 1 через высоковакуумный вентиль 113 соединена трубопроводом с камерой 114 перевода и камерой 115 накопления. Камера 114 перевода механически взаимодействует с камерой 116 силового давления, соединенной через высоковакуумный вентиль 117 с аккумулятором 118 газа, связанным с компрессором 119 и емкостью 120 для химически чистого гелия. Вентили 121, 122, 123 соединяют полости камер между собой или атмосферой. Полости камер перевода 114 и накопления 115 соединены через вентили 124, 125 и 126 с компрессором 127 и полостью емкости 128 для химически чистого гелия, а также полостью аккумулятора 129. Вентили 130-133 соединяют полость 4 барокамеры 2 с вакуумным насосом 10 и компрессором 11, а также с атмосферой. Для подогрева стенок капсулы 1 предусмотрена спираль 134 накала, а для теплоотвода холодильник 135. Корпус камер перевода 114 и накопления 115 нагревается спиралью 136 накала, а охлаждается холодильником 137. Полость 5 барокамеры 3 соединена через вентиль 138 с аккумулятором 139 и через вентиль 140 с атмосферой. Вентили 141 и 142 соединяют соответственно компрессор 9 и вакуумный насос 8 с атмосферой. Вентили 143 и 144 служат для выдувания камер 114 и 115 в атмосферу и связаны через клапаны 145 и 146. Изоляционные вставки 147-153 предназначены для электрической изоляции и вакуумной изоляции металлических частей конструкции друг от друга. Вентили 154, 155 и 156 соединяют камеру 7 отвода с атмосферой через вентиль 157. Вентиль 158 соединяет полость аккумулятора 129 с атмосферой. Переменный резистор 159 служит для регулировки действия поля экранирующей сетки 179 от утечки электронов через электрокерамическую перегородку 106. Теплостойкий изоляционный пластик 160, 161, 162 служит для вакуумной и электрической изоляции. Выключатели 163, 164 и 165 служат для замыкания и размыкания электрической цепи. Резисторы 166 и 167 служат для расхода энергии электронов. Керамическая изоляция 168 контактирует с металлическим корпусом 169 электропогло- тителя 30. Вентиль 170 служит для соединения с атмосферой. Электрод 49 компенсации (фиг. 7) состоит из электрокерамики 171, электрода 172 из заменителя серебра по теплостойкости и керамического изолятора 173. Сеточный электрод 50 накопления (фиг. 4) состоит из электрокерамики 174, электрода 175 из заменителя серебра по теплостойкости и керамического изолятора 176. Электрод 57 накопления (фиг. 6) состоит из электрокерамики 58 и электрода 177 из заменителя серебра по теплостойкости. Спираль 178 накала служит для нагрева эмиссионного электрода 48 электронно-вакуумного конденсатора 33. Электрокерамическая перегородка 106 (фиг. 8) имеет экранирующую сетку 179. Пружина 180 взаимодействует с аккумулятором 129 давления. Аккумулятор 23 давления снабжен пружиной 181 возврата. Пружина 182 взаимодействует с камерой 114 перевода, а пружина 183 с камерой 115 накопления. Корпус барокамеры 2 изнутри покрыт пластиковой изоляцией 184. Электроцепь разделительного конденсатора 111 снабжена выключателем 185. Камера 114 перевода охвачена двухстенным сильфоном 186, а камера 115 накопления двухстенным сильфоном 187. Предложенный способ осуществляется следующим образом. В полости 5 барокамеры 3 создают вакуум с помощью вакуумного насоса 8 при открытых вентилях 138 и 142 и закрытых вентилях 140 и 141 до 10-10мм рт. ст. что необходимо для сокращения времени процесса выдувания атмосферной примеси газа из полости 5 через вентиль 140, после чего закрывают вентиль 142 и отключают вакуумный насос 8. Затем открывают вентиль 141 и компрессором 9 из емкости 12 перекачивают аргон в полость 5 до давления 3 атм, после чего перекрывают вентиль 141, отключают компрессор 9, открывают вентиль 140, соединяющий полость 5 с атмосферой, и снижают давление до 1,5 атм. Для достижения в полости 5 атмосферы химически чистого аргона до 100% операцию заполнения и выдувания повторяют несколько раз до создания рабочего давления в полости 5 до 2,5 атм, закрывают вентиль 138, отключают компрессор 9 давления. Атмосфера химически чистого аргона необходима для обеспечения изоляции от атмосферы внутренних частей конструкции с целью непрохождения атмосферного газа к капсуле 1, что обеспечивает безопасную ионизацию гелия. Давление аргона 3 атм необходимо в связи с тем, что барокамера 3, имея большой объем при большем давлении, значительно увеличивает время выдувания при том же значении химической чистоты аргона, как при давлении 3 атм. Давление 1,5 атм оставшегося аргона в полости 5 необходимо для того, чтобы атмосферный газ не попадал в данную полость в связи с различием давления в полости, большего, чем атмосферного. 2,5 атм создаются не больше данной величины по причине возможности значительного попадания аргона в полость 4 во время вакуумного воздействия в барокамере 2 при больших давлениях, чем 2,5 атм, что неприемлемо в связи с возможностью затруднения вакуумного действия по величине вакуума. Меньше 2,5 атм аргона не следует создавать по причине увеличения объемных размеров полости 5 при возникновении потребности аргонной изоляции от атмосферных газов, что может противоречить эрганомике конструкции. Второй этап работы установки заключается в том, что в полости 4 барокамеры 2 создают вакуумным насосом 10 вакуум до 10-10 мм рт. ст. при закрытых вентилях 131 и 133 и открытых вентилях 130 и 132, затем закрывают вентиль 132, отключают вакуумный насос 10 и открывают вентиль 131 для подачи с помощью компрессора 11 из баллона 13 химически чистого гелия до давления 5 атм, затем при закрытом вентиле 131 выключают компрессор 11 и открывают вентиль 133, соединяющий полости 4 с атмосферой, стравливают гелий до остаточного давления 1,5 атм. До достижения в полости 4 атмосферы химически чистого гелия до 100% операцию заполнения и выдувания повторяют. Третий этап работы установки. Для создания вакуума в полостях капсулы 1, камеры 7 отвода, камеры 114 перевода и камеры 115 накопления закрывают вентили 126, 155 и 158 и открывают вентили 113, 125, 143, 124, 144, 154, 156 и 157, соединяющие вакуумный насос 6 со всеми указанными полостями, который обеспечивает остаточное давление в них до 10-10 мм рт. ст. после чего перекрывают вентиль 156 и отключают насос 6. Создание вакуума с помощью вакуумного насоса 6 до значения 10-10 мм рт. ст. необходимо для удаления большей части атмосферного газа с целью ускорения процесса выдувания и в целях экономии чистого газа, затрачиваемого на выдувание. Затем в вышеуказанные полости компрессором 127 из емкости 128 подают химически чистый гелий до давления 5 атм и открывают вентиль 158, соединяющий полости с атмосферой, и снижают давление гелия до 1,5 атм. Для достижения в полостях атмосферы химически чистого гелия до 100% операцию заполнения и выдувания повторяют несколько раз. Значение вакуума в полости 4 барокамеры 2 до 10-10 мм рт. ст. необходимо с целью обеспечения диэлектрической изоляции капсулы 1 с внутренними частями конструкции в связи с тем, что вакуум имеет диэлектрическую проницаемость. Поэтому чем больше вакуумное расстояние, тем ниже проницаемость вакуума как диэлектрика, чем вызывается его устойчивость как изолятора при значении 10-10 мм рт. ст. 100%-ная химическая чистота гелия необходима для устранения атмосферной примеси от влияния на капсулу 1 и внутренние части конструкции. После этого закрывают вентили 117, 121, 123 и включают компрессор 119, открывают вентиль 122 и подают химически чистый гелий из емкости 120 в аккумулятор 118 газа. По достижении набора давления 7-8 атм открывают вентиль 117 и гелий заполняет камеру 116 силового давления, после чего закрывают вентили 117, 122 и последовательно открывают вентили 121 и 123 для выдувания полости камеры силового давления гелия до остаточного давления 1,5 атм. Операцию заполнения и выдувания повторяют несколько раз. Данная операция необходима для обеспечения выдуванием атмосферной примеси до 100% химической чистоты гелия в камере 116 силового давления с целью создания однородности газа внутри барокамеры 2. На четвертом этапе работы установки выводят электронно-вакуумные конденсаторы 33, 97 и 107 в рабочий режим. Подробная схема электронно-вакуумных конденсаторов 33, 97 и 107 показана на фиг. 3. Вакуумным насосом 64 создают в полости 53 двухстенного сильфона 52 вакуум до 10-10 мм рт. ст. при закрытых вентилях 66 и 170 и открытом вентиле 65, после чего закрывают вентиль 65 и выключают вакуумный насос 64. Затем включают компрессор 67, открывают вентиль 66 и перекачивают из емкости 68 химически чистый элегаз в полость 53 до давления 3,5 атм, после чего закрывают вентиль 66, открывают вентиль 170 для выдувания элегаза в атмосферу для остаточного давления 1,5 атм. Операцию за- полнения и выдувания повторяют несколько раз. Элегаз в полости 53 необходим для обеспечения диэлектрической изоляции объемного электронного заряда в полости 54. В полости 54 двухстенного сильфона 52 создают вакуум до 10-10 мм рт. ст. при помощи вакуумного насоса 188 при закрытых вентилях 70 и 72 и открытых вентилях 69 и 71. Затем вентиль 71 закрывают и включают компрессор 73, после чего открывают вентиль 72 для перевода химически чистого гелия из полости 74 в полость 54 и создания давления гелия до 3,5 атм. а затем закрывают вентиль 72 и открывают вентиль 70 для выдувания гелия из полости 54 в атмосферу до остаточного давления 1,5 атм. Операцию заполнения и выдувания повторяют несколько раз. После этого в полости 54 создают вакуум до 10-10 мм рт. ст. при помощи вакуумного насоса 188 для удаления гелия из полости, при открытых вентилях 69 и 71 и закрытых вентилях 70 и 72 в полости 54 набирается вакуум до 10-10 мм рт. ст. с целью обеспечения возможности температурной эмиссии электронов из электрода 48 в замкнутую полость 54 и для накопления объемного электронного заряда, что определяется соотношением




Формула изобретения
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ИДЕАЛЬНОГО ВАКУУМА путем заполнения капсулы материальной средой и последующего удаления ее перекачиванием и конденсированием холодом высокого отрицательного значения, отличающийся тем, что в качестве материальной среды используют химически чистый газ, перед заполнением капсулу очищают статическим газовыделением, а после заполнения газ последовательно подвергают положительной ионизации электронно-вакуумным конденсатором объемного заряда статического поля, электроловушкой холода и тепловой электроловушкой статического магнитного поля с вакуумным выводом полученного ионизированного газа-плазмы до значения 10-10 мм рт.ст., охлаждением стенок капсулы, а удаление ионизированного газа-плазмы осуществляют на величину вакуума 10-45 мм рт.ст.РИСУНКИ
Рисунок 1, Рисунок 2, Рисунок 3, Рисунок 4, Рисунок 5, Рисунок 6, Рисунок 7, Рисунок 8, Рисунок 9
Похожие патенты:
Горизонтальная вакуумная камера // 2051294
Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет повысить экономичность при охлаждении экрана путем уменьшения его материалоемкости
Устройство отогрева // 1810605
Вакуумная термокамера // 1783153
Вакуумный крионасос // 1751400
Вакуумная установка // 1731984
Низковакуумный крионасос // 1716190
Устройство для создания вакуума // 2109986
Сублимационный конденсатор // 2115024
Способ получения вакуума // 2116508
Изобретение относится к вакуумной технике, а именно для получения сверхвысокого вакуума
Криогенный конденсационный насос // 2140568
Изобретение относится к экспериментальному оборудованию, в частности к насосам для откачки газа из вакуумных камер и аэродинамических труб
Изобретение относится к области управляемого термоядерного синтеза и предназначено для поддержания требуемого вакуума в термоядерной установке и удаления из нее продуктов синтеза (Не3, Не4) и остатков топлива (Д,Т)
Вымораживающая ловушка // 2182988
Изобретение относится к области криогенной и вакуумной техники и касается конструкции вымораживающих ловушек, используемых в вакуумных технологиях, например, при вакуумировании теплоизоляционных полостей в криогенных емкостях
Вымораживающая ловушка // 2182989
Изобретение относится к области криогенной и вакуумной техники и касается конструкции вымораживающих ловушек, используемых в вакуумных технологиях, например, при вакуумировании теплоизоляционных полостей в криогенных емкостях
Вымораживающая ловушка // 2182990
Изобретение относится к области криогенной и вакуумной техники и касается конструкции вымораживающих ловушек, используемых в вакуумных технологиях
Вымораживающая ловушка // 2182991
Изобретение относится к области криогенной и вакуумной техники и касается конструкции вымораживающих ловушек, используемых в вакуумных технологиях
Вымораживающая ловушка // 2303163
Изобретение относится к области криогенной и вакуумной техники и касается конструкции вымораживающих ловушек, используемых в вакуумных технологиях