Способ вакуумного нанесения покрытия на внутреннюю поверхность трубчатого изделия
Область использования: получение покрытий на внутренней поверхности трубчатого изделия с отверстием небольшого размера. Сущность изобретения: для повышения производительности процесса предлагается сначала нагревать проволочный испаритель до температуры, не превышающей температуру испарения материала покрытия, осуществлять отжиг испарителя и одновременно нагревать испарителем внутреннюю поверхность изделия до температуры конденсации, после чего проводить напыление покрытия. 1 ил. 1 табл.
Изобретение относится к способам нанесения покрытий в вакууме и может найти применение для получения покрытий на внутренней поверхности трубчатых изделий, преимущественно с отверстием небольшого размера.
Известен способ нанесения покрытия в вакууме на внутреннюю поверхность полого изделия, включающий испарение материала покрытия из тигля, расположенного внутри полого изделия, и конденсацию материала на внутренней поверхности изделия. Изделие при этом вращается и перемещается вдоль оси относительно тигля [1] Недостатком известного способа является затрудненная практическая реализация его при получении покрытия на трубчатых изделиях с отверстием небольшого размера. Наиболее близким техническим решением к заявляемому способу является способ нанесения металлического покрытия на внутреннюю поверхность подогреваемой трубы путем испарения и конденсации материала покрытия в вакууме с соосно расположенного испарителя, выполненного в виде проволоки из наносимого материала и нагреваемого проходящим электрическим током [2] Однако данный способ мало производителен, так как согласно способу, сначала изделие (трубу) с помощью специального нагревателя подогревают до температуры конденсации. Затем производят обезгаживание (отжиг) испарителя, с целью удаления аб- и адсорбированных газов из объема и с испарителя и только после этого осуществляют непосредственное нанесение покрытия испарение и конденсацию материала покрытия. Цель изобретения повышение производительности способа. Поставленная цель достигается тем, что в способе нанесения покрытия в вакууме на внутреннюю поверхность трубчатого изделия, включающем нагрев изделия, нагрев испарителя, расположенного соосно изделию, испарение материала покрытия с испарителя и конденсацию его на внутренней поверхности изделия, первоначально нагревают испаритель до температуры, не превышающей температуры испарения, а затем одновременно осуществляют отжиг испарителя и нагрев изделия испарителем. Сущность изобретения поясняется чертежом, на котором приведена конструктивная схема устройства для реализации предлагаемого способа. Устройство содержит трубчатое изделие 1, испаритель 2 в виде стержня, закрепленные соосно в приспособлении 3, которое расположено в вакуумной камере 4, а также источник тока 5, подключенный к концам испарителя 2. Способ осуществляется следующим образом. В вакуумной камере 4 в приспособлении 3 соосно устанавливают трубчатое изделие 1 и испаритель 2, последний подключают к источнику тока 5. В камере 4 создают вакуум. Затем путем пропускания электрического тока от источника 5 испаритель 2 разогревают до температуры, не выше температуры испарения, но достаточной для его отжига. В результате под действием теплового излучения испарителя 2 происходит нагрев изделия 1, а разогретый испаритель отжигается (обезгаживается): т. е. из объема испарителя и с его поверхности удаляются газы, ранее ад- и абсорбированные материалом испарителя. После этого увеличением электрического тока от источника 5 испаритель 2 разогревают до температуры испарения. При этом происходит испарение материала покрытия с испарителя 2 и его концентрация на внутренней поверхности трубчатого изделия 1 с образованием на ней защитного слоя покрытия. Применение предлагаемого способа с достижением положительного эффекта экспериментально проверено в сравнении с прототипом в процессе вакуумного хромирования внутренней поверхности стальных (ст. 50 РА ГОСТ 1050-74) втулок длиной 120 мм, имеющих отверстие диаметром 10 мм. Нанесение покрытия производилось в устройстве, схематично показанном на чертеже, с проволочного испарителя хрома. Согласно прототипу, покрытие наносилось путем подогрева втулки до температуры конденсации, отжига испарителя, испарения материала покрытия и конденсации его на внутренней поверхности втулки. Втулка подогревалась до температуры 700 К с помощью резистивного нагревателя в течение 30 мин. Путем пропускания электрического тока испаритель разогревался и при температуре 1320-1370 К в течение 10 мин производился его отжиг. Покрытие наносилось при температуре конденсации 700 К, температуре испарителя 1730-1740 К, давление остаточных газов не более 3
Формула изобретения
СПОСОБ ВАКУУМНОГО НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЯ НА ВНУТРЕННЮЮ ПОВЕРХНОСТЬ ТРУБЧАТОГО ИЗДЕЛИЯ, включающий размещение проволочного испарителя из материала покрытия внутри изделия соосно с ним, нагревание изделия до температуры конденсации материала покрытия, отжиг испарителя путем пропускания через него электрического тока при температуре, не превышающей температуры испарения, испарение материала покрытия и конденсацию его паров на нагретой внутренней поверхности изделия, отличающийся тем, что нагревание изделия до температуры конденсации проводят испарителем в процессе его отжига.РИСУНКИ
Рисунок 1, Рисунок 2
Похожие патенты:
Изобретение относится к технологии получения тонких пленок термическим испарением в вакууме и может быть использовано при изготовлении мишеней, предназначенных для ядерно-физических исследований по изучению ядерных реакций, происходящих на ядрах стабильных изотопов под действием ускоренных частиц и ионов
Способ металлизации подложки из фторопласта // 2020777
Изобретение относится к микроэлектронике и направлено на повышение надежности и качества микросхем на подложке из фторопласта преимущественно СВЧ-диапазона и может быть использовано в производстве микросхем ВЧ- и СВЧ-диапазонов (например фильтров, резонаторов и др.)
Изобретение относится к вакуумной технологии получения материалов для нанесения покрытий
Изобретение относится к нанесению покрытий вакуумным испарением и может быть использовано для получения на ленте из цветных металлов и сплавов полосчатых и дискретных покрытий
Способ металлизации кремниевых подложек // 2010032
Испаритель для вакуумных установок // 2000356
Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме, о частности к термическим испарителям для вакуумных установок
Способ получения покрытий в вакууме // 1827399
Испаритель многокомпонентных материалов // 1824457
Изобретение относится к нанесению тонкопленочных покрытий в вакууме, в частности защитных, износостойких и декоративных покрытий на изделия из различных материалов
Способ нанесения антикоррозионных покрытий // 2109841
Способ нанесения покрытий в вакууме // 2114209
Изобретение относится к машиностроению, в частности к нанесению покрытий в вакууме, и может быть использовано при нанесении покрытий на режущий инструмент, изготовленный из сталей, твердых сплавов и керамических материалов
Устройство нанесения тонких пленок // 2114931
Изобретение относится к микроэлектронике и направлено на обеспечение минимальной неравномерности покрытия подложки тонкой пленкой распыляемого материала
Испаритель для металлов и сплавов // 2118398
Изобретение относится к устройствам для получения газофазным методом ультрадисперсных порошков и сплавов, а также для нанесения металлических покрытий в вакууме на металлические и неметаллические изделия
Изобретение относится к области получения высокотемпературных материалов, используемых для защиты от окисления и газовой коррозии и в качестве защитных покрытий термонагруженных деталей газовых турбин и двигателей внутреннего сгорания
Испаритель // 2121522
Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может быть использовано для получения толстых пленок металлов при изготовлении, например, разводки коммутационных плат
Изобретение относится к материаловедению, а именно к способам изготовления преимущественно износостойких, прочных и жаропрочных материалов на металлической, металлокерамической или полимерной основе, а также изделий из этих материалов
Испарительный тигель // 2133308
Изобретение относится к полупроводниковой области техники и может быть использовано в молекулярно-лучевой эпитаксии для снижения плотности дефектов в эпитаксиальных структурах
Изобретение относится к устройствам взрывного испарения с резистивным нагревом для испарения металлов