Источник света
Использование: в электротехнике, в частности в приборах, в которых используется высокоэффективный источник света с поляризованным и направленным излучением. Сущность изобретения: электронно-лучевая трубка содержит в вакуумном баллоне в одном его конце электронный прожектор, генерирующий по меньшей мере один электронный пучок, в противоположном его конце окно для вывода излучения, выполненное в виде светоделительного фильтра, и размещенный между окном и электронным прожектором отражатель, прозрачный для электронного пучка, причем поверхности отражателя и фильтра образует квазизамкнутую полость, внутри которой размещены катодолюминесцирующий слой и рассеиващие элементы. 11 з.п. ф-лы, 8 ил.
Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано в приборах, в которых используется высокоэффективный источник света с поляризованным, направленным и относительно узким спектром излучения, в частности в светоклапанных проекционных приборах для получения телевизионного или графического изображения на большом проекционном экране.
Известна высокояркостная электронно-лучевая трубка в качестве источника ультрафиолетового излучения для проекционной фотолитографии, содержащая в вакуумируемом объеме электронный прожектор, систему управления электронным пучком и лазерный экран (Каменский М.А. и др. Лазерная ЭЛТ с экраном из ZnO в качестве УФ-источника в устройстве проекционного экспонирования. Письма в ЖТФ. 1990, т. 16, N 3, с. 39-42). Эта электронно-лучевая трубка дает мощность в несколько ватт, имеет узкую диаграмму направленности с линейным половинным углом расходимости излучения 10-15о и малую ширину спектра, 1,5-3 нм. Аналогичное излучение может быть получено и в видимой области спектра путем замены в лазерном экране пластины ZnO на пластину полупроводникового соединения А2В6 с более узкой шириной запрещенной зоны. Лазерный экран возбуждается сканирующим сфокусированным электронным пучком. Данная электронно-лучевая трубка громоздка, работает при слишком высоких ускоряющих напряжениях 75 кВ, и лазерный экран охлаждается жидким азотом. Известен катодолюминесцентный источник света, содержащий в вакуумном стеклянном баллоне люминофорный слой, автоэмиссионный катод, набранный из игл, и управляющий электрод (авт. св. СССР N 1504690, кл. Н 01 J 63/06, 1987). Для повышения однородности облучения люминофора электронным пучком и тем самым для повышения яркости излучения и КПД источника управляющий электрод выполнен в виде кольца, а иглы расположены на одинаковом расстоянии от этого кольца. Недостатком устройства является то, что излучение источника не направлено и не поляризовано. Известна электронно-лучевая трубка в качестве источника света крупных дисплейных устройств, содержащая в вакуумном баллоне электронный прожектор, генерирующий несходящийся электронный пучок, слой люминофора, покрывающий внутреннюю поверхность лицевой части баллона, и набор сеток, обеспечивающий однородное облучение слоя люминофора электронным пучком (акцентованная заявка Японии N 60-14746, Н 01 J 63/06, 1985). Для повышения яркости за счет увеличения площади слоя люминофора, облучаемого электронным пучком, лицевая часть баллона выполнена в виде конуса. Недостатком данной электронно-лучевой трубки является то, что ее излучение также не направлено и не поляризовано. Цель изобретения увеличение направленности излучения электронно-лучевой трубки, используемой в качестве источника света, и ее яркости. Дополнительной целью является увеличение мощности излучения электронно-лучевой трубки. Еще одной целью изобретения является преобразование большой части излучения электронно-лучевой трубки в линейно поляризованное излучение. Цели достигаются тем, что в электронно-лучевой трубке, используемой в качестве источника света и выполненной в виде вакуумного баллона с размещенным в одном его конце электронным прожектором, генерируемым по меньшей мере один несходящийся электронный пучок, и размещенным в противоположном конце катодолюминесцентным слоем, облучаемым электронами, и окном для вывода излучения, согласно изобретению окно выполнено в виде светоделительного фильтра, имеющего обращенную внутрь вакуумного баллона поверхность, между окном и электронным прожектором размещен отражатель, прозрачный для электронного пучка, отражающая поверхность которого вместе с поверхностью фильтра ограничивает квазизамкнутую полость, внутри которой размещены катодолюминесцирующий слой и рассеивающие элементы. В одном из вариантов электронно-лучевой трубки светоделительный фильтр содержит нанесенное на прозрачную подложку многослойное покрытие из чередующихся слоев с большим и меньшим показателями преломления, образующее обращенную внутрь вакуумного баллона поверхность фильтра, причем это покрытие пропускает излучение с длиной волны основной линии излучения катодолюминесцирующего слоя и отражает излучение в области длин волн от 1,05 до 1,4 длины волны основной линии излучения катодолюминесцирующего слоя при нормальном падении излучения на прозрачную подложку. В другом варианте электронно-лучевой трубки светоделительный фильтр содержит дополнительно по меньшей мере один светоделительный куб, в одном из диагональных сечений которого расположено покрытие, пропускающее световое излучение с p-поляризацией и отражающее световое излучение с s-поляризацией, а на грань этого куба, на которую отражается световое излучение с s-поляризацией, нанесено зеркальное покрытие. Для уменьшения габаритов светоделительного фильтра и электронно-лучевой трубки в целом часть светоделительного фильтра, разделяющую излучение по поляризации, целесообразно выполнять в виде слоя плотноупакованного набора светоделительных кубов, у которых грани с зеркальным покрытием перпендикулярны плоскости прозрачной подложки. Кроме того, этот слой и прозрачную подложку целесообразно объединить в одном элементе. В этом случае подложку выполняют в виде однослойного набора упомянутых выше светоделительных кубов. Еще в одном варианте для улучшения теплоотвода от прозрачной подложки между ней и слоем плотноупакованного набора светоделительных кубов имеется зазор, заполненный охлаждающей жидкостью. В наиболее простом варианте электронно-лучевой трубки катодолюминесцентный слой и рассеивающие элементы выполнены в виде слоя люминофора, размещенного на многослойном покрытии прозрачной подложки окна, а отражатель выполнен в виде отражающего покрытия, нанесенного непосредственно на слой люминофора. В другом варианте отражатель образован перегородкой с отверстиями для прохождения электронного пучка, размещенной в средней части баллона, и боковыми стенками баллона между окном и перегородкой, у которых на поверхности, обращенные внутрь вакуумного объема, нанесены отражающие покрытия. В этом варианте катодолюминесцентный слой и рассеивающие элементы также предпочтительно выполнять в виде люминофора, но наносить его целесообразно не только на многослойное покрытие окна, но и по меньшей мере на часть отражающего покрытия стенок баллона. При этом для увеличения яркости электронно-лучевой трубки баллон изготавливают так, чтобы площадь люминофора, нанесенного на стенки баллона с отражающим покрытием, была больше площади люминофора, нанесенного на внутреннюю поверхность окна, предпочтительно много больше. Кроме того, стенки баллона между окном и перегородкой выполнены из теплопроводящего материала, а наружная поверхность имеет ребра радиатора. Во всех вариантах для повышения эффективности электронно-лучевой трубки кроссоверы несходящихся электронных пучков целесообразно совмещать с отверстиями в перегородке, диаметры которых незначительно превышают диаметры кроссоверов. На фиг. 1 схематично представлена электронно-лучевая трубка согласно изобретению; на фиг. 2 изображен один из вариантов электронно-лучевой трубки, продольный разрез; на фиг. 3 представлены спектр излучения зеленого люминофора и спектр пропускания многослойного покрытия на прозрачной подложке окна электронно-лучевой трубки с зеленым люминофором; на фиг. 4 представлена зависимость коэффициента пропускания многослойного покрытия от угла падения светового излучения на длине волны, соответствующей максимуму излучения люминофора; на фиг. 5-8 представлены другие варианты исполнения электронно-лучевой трубки. Согласно фиг. 1 электронно-лучевая трубка в качестве источника света выполнена в виде вакуумного баллона 1 с размещенными в одном его конце электронным прожектором 2 и в противоположном конце окном 3 для выхода излучения, выполненным в виде светоделительного фильтра, имеющего обращенную внутрь вакуумного баллона поверхность 4 (конструкции фильтра на фиг. 1 не показана). Между окном 3 и электронным прожектором 2 размещен отражатель 5, прозрачный для расходящегося электронного пучка 6, генерируемого электронным прожектором 2. На поверхность отражателя 5, обращенную к окну, нанесено отражающее покрытие 7. Отражающее покрытие 7 и поверхность 4 окна-фильтра 3 образуют квазизамкнутую полость 8 с отверстием 9 для прохождения электронного пучка 6. Если отражатель 5 имеет достаточно малую толщину и выполнен из материалов, слабо поглощающих электронный пучок, то наличие отверстия 9 не обязательно. В полость 8 помещены катодолюминесцентный слой 10 и рассеивающие элементы 11. Устройство работает следующим образом. Электронный прожектор 2 генерирует несходящийся пучок 6, который падает на катодолюминесцентный слой 10. В этом слое энергия электронов преобразуется частично в энергию светового излучения. Свет в результате нескольких актов рассеяния на рассеивающих элементах 11 и отражения от отражающего покрытия 7 отражателя 5 в квазизамкнутой полости 8 попадает на поверхность 4 окна-фильтра 3. Окно-фильтр пропускает лишь часть падающего излучения, удовлетворяющую определенным условиям, а остальное излучение возвращает в квазизамкнутую полость 8. После повторного рассеяния и отражения в квазизамкнутой полости оставшееся излучение вновь попадает на поверхность 4 и снова часть этого излучения проходит через окно-фильтр 3, а остальное излучение вновь возвращается в квазизамкнутую полость 8. Если поглощение света внутри квазизамкнутой полости 8 мало, то все излучение в конце концов выходит через окно-фильтр 3 в виде излучения, удовлетворяющего определенным условиям. Конструкция окна-фильтра 3 может быть различна и зависит от того, каким требованиям должно удовлетворять излучение электронно-лучевой трубки. Ниже рассмотрены два основных варианта окна-фильтра, которые позволяют получить направленное неполяризованное и направленное линейно поляризованное излучения. Существенным отличительным свойством предлагаемого технического решения является то, что направленность и линейная поляризация излучения электронно-лучевой трубки, используемой в качестве источника света, достигается практически без потери эффективности преобразования энергии электронного пучка в свете, а следовательно, и яркости излучения. Электронно-лучевая трубка на фиг. 2 содержит в вакуумном баллоне 1 размещенный в одном его конце электронный прожектор 2 и размещенное в другом его конце окно 3. Окно 3 для выхода излучения представляет собой светоделительный фильтр, содержащий прозрачную подложку 12, на внутреннюю поверхность которого нанесено многослойное покрытие 13. Прозрачная подложка может быть выполнена в виде плоскопараллельной пластины, собирающей линзы или, как показано ниже, в виде поляризационного расщепителя. Между прозрачной подложкой 12 и электронным прожектором 2 размещена перегородка 14 с отверстием 15 для прохождения электронного пучка 6, у которой на поверхность, обращенную к окну, нанесено проводящее покрытие 16, а затем отражающее покрытие 17. Эти два покрытия могут быть объединены в едином электропроводящем и отражающем покрытии. В качестве такого покрытия может быть использовано серебряное или алюминиевое покрытие на гладкой поверхности перегородки 14. Кроме того, покрытие 16 не требуется, если перегородка 14 выполнена из металла. Если перегородка выполнена из диэлектрика, то покрытие 16 следует нанести и на боковую поверхность отверстия 15 и по меньшей мере на часть поверхности, обращенной к электронному прожектору 2, вблизи отверстия 15, чтобы избежать заряда поверхности диэлектрической перегородки 14 вторичными электронами. Такой заряд может вызвать искажения в форме электронного пучка 6 и его стабильности во времени, что ухудшает излучательные характеристики электронно-лучевой трубки как источника света. Перегородка 14 может иметь более одного отверстия 15. Для увеличения однородности облучения катодолюминесцирующего слоя 10 предпочтительно, чтобы электронный прожектор генерировал более одного несходящего электронного пучка 6. В этом случае число отверстий 15 в перегородке 14 предпочительно делать равным числу электронных пучков. Покрытие 17 перегородки 14 и многослойное покрытие 13 прозрачной подложки 12 окна 3 ограничивают квазизамкнутую полость 8, внутри которой размещены катодолюминесцирующий слой 10 и рассеивающие элементы 11. Квазизамкнутая полость 8 ограничена также отражающим покрытием 18, нанесенным на внутреннюю поверхность боковых стенок 19 баллона 1 между прозрачной подложкой 12 и перегородкой 14, на которые предварительно нанесено проводящее покрытие 20, имеющее электрический контакт с покрытием 16 перегородки 14 и высоковольтным выводом 21. Покрытие 18 и покрытие 20 могут быть выполнены также в виде единого электропроводящего и отражающего покрытия. В качестве такого покрытия может быть использовано серебряное или алюминиевое покрытие на гладкой внутренней поверхности боковых стенок баллона 1. Отражатель в данном варианте исполнения электронно-лучевой трубки образован перегородкой 14 и боковыми стенками 13 баллона 1 между окном 3 и перегородкой 14, на внутренние поверхности которых нанесены отражающие покрытия 17 и 18. Катодолюминесцентный слой 10 может быть выполнен в виде порошкового слоя, т.е. обычного слоя люминофора, или в виде кристаллического, в том числе и монокристаллического, слоя. Рассеивающие элементы 11 могут быть выполнены в виде оптически прозрачных шариков, кусочков волокон или пластин с матированными поверхностями. Если в качестве катодолюминесцентного слоя 10 используется слой люминофора, зерно которого является одновременно и излучателем, и рассеивающим элементом, то дополнительные рассеивающие элементы не требуются. В случае использования в качестве катодолюминесцентного слоя 10 монокристаллического слоя, для эффективного рассеяния излучения внутри квазизамкнутой полости 8 по меньшей мере одна поверхность монокристаллического слоя матируется. Тогда и в этом случае не требуется введение в квазизамкнутую полость 8 дополнительных рассеивающих элементов 11. Для увеличения выхода излучения из квазизамкнутого объема 8 через выходное окно 3 предпочтительно многослойное покрытие 13 прозрачной подложки 12 покрывать рассеивающими элементами 11. Важно, чтобы коэффициенты отражения отражающих покрытий 17 и 18 для всех углов падения и коэффициент отражения многослойного покрытия 13 для углов падания, превышающих некоторый угол, определяемый требуемым углом расходимости излучения, были близки к единице. Электронный прожектор 2 содержит нагревательную спираль 22, катод 23 и прикатодный электрод 24, имеющий обычно отрицательный потенциал относительно катода 23. Для простоты высокое ускоряющее напряжение подается через высоковольтный ввод 21 на проводящее покрытие 20, нанесенное по меньшей мере на часть внутренней поверхности боковых стенок баллона 1 вблизи выходного окна 3. Форма катода 23 и прикатодного электрода 24, а также их взаимное расположение выбираются таким образом, чтобы генерируемый электронным прожектором 2 электронный пучок 6 был расходящимся в области размещения катодолюминесцирующего слоя 10 и однородно облучал этот слой. В частности, прикатодный электрод может быть выполнен в виде сетки. Прикатодным электродом может быть покрытие 16 перегородки 14. Но в этом случае оно не имеет электрического контакта с покрытием 20 боковых стенок 19, а имеет свой электрический вывод из баллона 1. Не является обязательным и подача высокого напряжения на покрытия 20 и 16. Высокое напряжение можно подавать и на электроды электронного прожектора 2, а покрытия 20 и 16 заземлять через вывод 21, который в этом случае будет высоковольтным. В этом случае боковые стенки 19 баллона 1 и перегородка 14 могут быть выполнены из металла, и не требуется проводящих покрытий 20 и 16. Однако стенки баллона 25 вокруг электронного прожектора 2 должны быть тогда диэлектрическими, чтобы развязать высокое напряжение, приложенное к электродам электронного прожектора 2, от анода, которым будет в этом случае перегородка 14. Чтобы рассеивающееся излучение катодолюминесцирующего слоя 10 выходило из квазизамкнутой полости 8 предпочтительно через выходное окно 3, отверстие 15 должно быть по возможности малым. Предпочтительно, чтобы кроссовер 26 электронного пучка 6 был расположен в центре отверстия 15. В этом случае диаметр отверстия 15 должен быть больше диаметра кроссовера 26, чтобы не ограничивать ток электронного пучка и тем самым не уменьшать мощность электронно-лучевой трубки, но не на много больше, чтобы потери излучения, выходящего из квазизамкнутой полости 8 через это отверстие, существенно не уменьшали полезный выход излучения через выходное окно 3 и не снижали мощность электронно-лучевой трубки. Многослойное покрытие 13 выполнено в виде интерференционного узкополосного или краевого фильтра верхних частей известной конструкции (Справочник по лазерам. / Под редакцией А.М. Прохорова. М. Советское радио. 1978, т. 2, с. 46-57). Этот фильтр конструируется таким образом, чтобы он имел высокое пропускание (Т > 0,9) излучения, нормально падающего на прозрачную подложку 12 с многослойным покрытием 13, с длиной волны, соответствующей спектральному максимуму




























Формула изобретения
1. ИСТОЧНИК СВЕТА, в качестве которого использована электронно-лучевая трубка, выполненный в виде вакуумного баллона с размещенным в одном его конце электронным прожектором, генерирующим по меньшей мере один несходящийся электронный пучок, и размещенными в противоположном конце катодолюминесцирующим слоем, облучаемым по меньшей мере одним электронным пучком, и окном для вывода излучения, отличающийся тем, что окно выполнено в виде светоделительного фильтра, имеющего обращенную внутрь вакуумного баллона поверхность, между окном и электронным прожектором размещен отражатель, выполненный прозрачным для электронного пучка, отражающая поверхность отражателя вместе с поверхностью фильтра ограничивают квазизамкнутую полость, внутри которой размещен катодолюминесцирующий слой и введены рассеивающие элементы. 2. Источник света по п.1, отличающийся тем, что светоделительный фильтр выполнен состоящим из прозрачной подложки и многослойного покрытия из чередующихся слоев с большим и меньшим показателями преломления, причем многослойное покрытие нанесено на подложку и образует обращенную внутрь вакуумного баллона поверхность фильтра, при этом покрытие пропускает излучение с длиной волны основной линии излучения катодолюминесцирующего слоя и отражает излучение в области длин волн от 1,05 до 1,4 длины волны основной линии излучения катодолюминесцирующего слоя при нормальном падении излучения на позрачную подложку. 3. Источник света по п.2, отличающийся тем, что светоделительный фильтр снабжен дополнительно по меньшей мере одним светоделительным кубом, в одном из диагональных сечений которого расположено покрытие, пропускающее световое излучение с p-поляризацией и отражающее световое излучение с S-поляризацией, а на грань этого куба, на которую отражается световое излучение с S-поляризацией, нанесено зеркальное покрытие. 4. Источник света по п.3, отличающийся тем, что светоделительный фильтр снабжен одним слоем плотноупакованного набора светоделительных кубов, у которых грани с зеркальным покрытием перпендикулярны плоскости прозрачной подложки. 5. Источник света по п.4, отличающийся тем, что подложка выполнена в виде однослойного набора светоделительных кубов. 6. Источник света по п.4, отличающийся тем, что между подложкой и слоем плотноупакованного набора светоделительных кубов выполнен зазор, заполненный охлаждающей жидкостью. 7. Источник света по пп.1 6, отличающийся тем, что катодолюминесцирующий слой и рассеивающие элементы выполнены в виде слоя люминофора, размещенного на многослойном покрытии подложки окна, а отражатель выполнен в виде отражающего покрытия, нанесенного непосредственно на слой люминофора. 8. Источник света по пп.1 6, отличающийся тем, что отражатель образован перегородкой с отверстиями для прохождения электронного пучка, размещенной в средней части баллона, и боковыми стенками баллона между окном и перегородкой, у которых на поверхности, обращенные внутрь вакуумного объема, нанесены отражающие покрытия. 9. Источник света по п.1, отличающийся тем, что катодолюминесцирующий слой и рассеивающие элементы выполнены в виде слоя люминофора, нанесенного на многослойное покрытие окна и по меньшей мере на часть отражающего покрытия стенок баллона. 10. Источник света по п.9, отличающийся тем, что площадь люминофора, нанесенного на стенки баллона с отражающим покрытием, больше площади люминофора, нанесенного на внутреннюю поверхность окна. 11. Источник света по пп.1 и 8, отличающийся тем, что стенки баллона между окном и перегородкой выполнены из теплопроводящего материала, а наружная поверхность стенок баллона снабжена ребрами радиатора. 12. Источник света по п.8, отличающийся тем, что отверстия в перегородке выполнены с диаметрами, незначительно превышающими диаметры кроссоверов несходящихся электронных пучков, при этом кроссоверы несходящихся электронных пучков совмещены с отверстиями в перегородке.РИСУНКИ
Рисунок 1, Рисунок 2, Рисунок 3, Рисунок 4, Рисунок 5, Рисунок 6, Рисунок 7, Рисунок 8