Резистивный сплав

 

Изобретение относится к электротехнике, радиотехнике, микроэлектронике и может быть использовано для изготовления пленочных резисторов. Резистивный сплав, содержащий кобальт, образует интерметалид CoGe в следующем соотношении компонентов, мас. % : кобальт 50; германий 50. 1 ил.

Изобретение относится к электротехнике, радиотехнике, микроэлектронике и может быть использовано для изготовления пленочных резисторов.

Известен резистивный сплав на основе кобальт-кремний (мас. % Co 27-29; Si 67-71; Cr 2-4) /1/.

Недостатком этого сплава является высокое удельное поверхностное сопротивление пленки ( s) и высокое значение отрицательного температурного коэффициента сопротивления (ТКС).

Наиболее близким по технической сущности к заявляемому сплаву является резистивный сплав, содержащий кобальт (мас. % 57-61), хром (мас. % 9-13), остальное кремний /2/.

Недостатком известного резистивного сплава является сравнительно большой отрицательный температурный коэффициент сопротивления (ТКС 10^-3, 10^-4) в температурном интервале от -60 до 125^оС, а также относительно высокая температура стабилизирующего отжига (350^оС).

Целью изобретения является снижение и стабилизация температурного коэффициента сопротивления в широком интервале номиналов поверхностного сопротивления.

На чертеже представлены температурные зависимости относительного сопротивления R/R для сплавов РС-3710 и предла- гаемого после предварительного нагрева до 500^оС.

Сплав согласно изобретению изготавливают следующим образом.

Исходные составляющие берут в разных весовых соотношениях (кобальт - мас. % 50, германий - мас. % 50) и подвергают плавлению в электровакуумной печи "Редмет 201" при температуре 1200-1250^оС в условиях вакуума не ниже 10^-3 Т.

Расплав заливают в графитовую форму и в процессе затвердевания происходит синтез с образованием интерметаллида представляющий собой фазу Лавеса с моноклинной безоцентрированной решеткой.

Полученная отливка (мишень) имеет форму диска 200 мм толщиной 7-10 мм. Контроль состава мишени осуществляется методом рентгеновского фазового анализа на дифрактометре ДРОН-2. Дополнительная механическая обработка поверхности не требуется.

Получение пленочного резистора осуществляется магнетронным методом на установке вакуумного напыления УВН 75П-1.

Напыление производится на холодную ситаловую подложку марки СТ-60, температура стабилизирующего отжига напыляемой марки составляет 250-300^оС в течение 30 мин в среде инертного газа или вакууме.

Поскольку напыление в производстве производится магнетронным методом на установке вакуумного напыления УВН 75П-1 или любым известным методом напыления, то диссоциация химсоединения исключается.

Предлагаемый резистивный сплав позволяет получить любым известным методом напыления пленки резисторы со следующими характеристиками: при толщине пленки от 1,8 до 0,1 мкм, удельное поверхностное сопротивление от 0,1 до 1 кОм/кВ, температурный коэффициент сопротивления (ТКС) 110^-5, в температурном интервале от -60 до +125^оС, при этом температура отжига напыляемой пленки составляет 250-300^оС в течение 30 мин в среде инертного газа или в вакууме, что по сравнению с прототипом на 50^оС ниже и на 3,5 ч короче технологический цикл. (56) ГОСТ 23774-79 (Сплав РС-2802М).

ГОСТ 23774-79 (Сплав РС-6012).

Формула изобретения

РЕЗИСТИВНЫЙ СПЛАВ, содержащий кобальт, отличающийся тем, что, с целью снижения и стабилизации температурного коэффициента сопротивления в широком интервале номиналов поверхностного сопротивления, он дополнительно содержит германий при следующем соотношении компонентов, мас. % : Кобальт 50 Германий 50 при этом компоненты образуют интерметаллид CoGe.

РИСУНКИ

Рисунок 1