Резистивный сплав
Изобретение относится к электротехнике, радиотехнике, микроэлектронике и может быть использовано для изготовления пленочных резисторов. Резистивный сплав, содержащий кобальт, образует интерметалид CoGe в следующем соотношении компонентов, мас. % : кобальт 50; германий 50. 1 ил.
Изобретение относится к электротехнике, радиотехнике, микроэлектронике и может быть использовано для изготовления пленочных резисторов.
Известен резистивный сплав на основе кобальт-кремний (мас. % Co 27-29; Si 67-71; Cr 2-4) /1/. Недостатком этого сплава является высокое удельное поверхностное сопротивление пленки ( s) и высокое значение отрицательного температурного коэффициента сопротивления (ТКС). Наиболее близким по технической сущности к заявляемому сплаву является резистивный сплав, содержащий кобальт (мас. % 57-61), хром (мас. % 9-13), остальное кремний /2/. Недостатком известного резистивного сплава является сравнительно большой отрицательный температурный коэффициент сопротивления (ТКС 10-3, 10-4) в температурном интервале от -60 до 125оС, а также относительно высокая температура стабилизирующего отжига (350оС). Целью изобретения является снижение и стабилизация температурного коэффициента сопротивления в широком интервале номиналов поверхностного сопротивления. На чертеже представлены температурные зависимости относительного сопротивления R/R для сплавов РС-3710 и предла- гаемого после предварительного нагрева до 500оС. Сплав согласно изобретению изготавливают следующим образом. Исходные составляющие берут в разных весовых соотношениях (кобальт - мас. % 50, германий - мас. % 50) и подвергают плавлению в электровакуумной печи "Редмет 201" при температуре 1200-1250оС в условиях вакуума не ниже 10-3 Т. Расплав заливают в графитовую форму и в процессе затвердевания происходит синтез с образованием интерметаллида представляющий собой фазу Лавеса с моноклинной безоцентрированной решеткой. Полученная отливка (мишень) имеет форму диска 200 мм толщиной 7-10 мм. Контроль состава мишени осуществляется методом рентгеновского фазового анализа на дифрактометре ДРОН-2. Дополнительная механическая обработка поверхности не требуется. Получение пленочного резистора осуществляется магнетронным методом на установке вакуумного напыления УВН 75П-1. Напыление производится на холодную ситаловую подложку марки СТ-60, температура стабилизирующего отжига напыляемой марки составляет 250-300оС в течение 30 мин в среде инертного газа или вакууме. Поскольку напыление в производстве производится магнетронным методом на установке вакуумного напыления УВН 75П-1 или любым известным методом напыления, то диссоциация химсоединения исключается. Предлагаемый резистивный сплав позволяет получить любым известным методом напыления пленки резисторы со следующими характеристиками: при толщине пленки от 1,8 до 0,1 мкм, удельное поверхностное сопротивление от 0,1 до 1 кОм/кВ, температурный коэффициент сопротивления (ТКС) 110-5, в температурном интервале от -60 до +125оС, при этом температура отжига напыляемой пленки составляет 250-300оС в течение 30 мин в среде инертного газа или в вакууме, что по сравнению с прототипом на 50оС ниже и на 3,5 ч короче технологический цикл. (56) ГОСТ 23774-79 (Сплав РС-2802М). ГОСТ 23774-79 (Сплав РС-6012).Формула изобретения
РЕЗИСТИВНЫЙ СПЛАВ, содержащий кобальт, отличающийся тем, что, с целью снижения и стабилизации температурного коэффициента сопротивления в широком интервале номиналов поверхностного сопротивления, он дополнительно содержит германий при следующем соотношении компонентов, мас. % : Кобальт 50 Германий 50 при этом компоненты образуют интерметаллид CoGe.РИСУНКИ
Рисунок 1
Похожие патенты:
Сплав на основе кобальта // 1836475
Изобретение относится к области металлургии, в частности к изысканию аморфных сплавов на основе кобальта с температурой Кюри не ниже 100С и высокими магнитными свойствами
Изобретение относится к металлургии, в частности к магнитным материалам, используемым в качестве носителя в устройст; вах хранения информации ЭВМ, в том числе в магнитных дисках с продольным способом записи
Сплав на основе кобальта "целлит-п // 1573042
Изобретение относится к металлургии, а именно к литейным сплавам на основе кобальта, содержащим хром и никель, используемым для изготовления несъемных стоматологических протезов с полимерным покрытием или без него
Сплав на основе кобальта // 1539225
Изобретение относится к металлургии, в частности к области изыскания прецизионных сплавов на основе кобальта, применяемых при изготовлении токоведущих упругих элементов, контактных пружин, например электромагнитных и ртутных реле
Износостойкое изделие (его варианты) // 1538890
Изобретение относится к металлургии, в частности к износостойким изделиям, для изготовления которых используются аморфные материалы, обладающие высокой твердостью
Сплав на основе кобальта // 1499959
Изобретение относится к металлургии пленочных магнитных материалов, преимущественно пленок толщиной 0,05 - 0,2 мкм, и может быть применено в технике видео- и звукозаписи, а также элементов внешней памяти ЭВМ
Способ изготовления материала для постоянных магнитов на основе системы самарий-кобальт-железо // 1499816
Изобретение относится к порошковой металлургии, в частности к способам изготовления материала для постоянных магнитов на основе соединений самария с кобальтом и переходными металлами, и может быть использовано в электротехнической, электронной, приборостроительной и других отраслях промышленности
Сплав для литья микропроводов // 1498810
Изобретение относится к металлургии прецизионных сплавов с особыми свойствами на кобальтогерманиевой основе ,в частности, к сплавам для литья микропроводов с отрицательным температурным коэффициентом сопротивления (ТКС) и широким диапазоном температурной стабильности в области отрицательных температур
Магнитопровод // 2115968
Изобретение относится к области электротехники, а именно, к магнитопроводам трансформаторов, дросселей насыщения и других магнитных элементов
Изобретение относится к металлургии, в частности к магнитомягким аморфным сплавам, и может быть использовано в электротехнических устройствах, например в магнитопроводах и высокочастотных трансформаторах
Изобретение относится к изделию для направления горячего окисляющего газа с подверженной воздействию газа поверхностью, образованной сплавом, который содержит следующие существенные весовые доли: 10 - 40% хрома, по выбору другие элементы, среди них алюминий 0 - 20%, кремний 0 - 10%, реактивные элементы из группы, включающей иттрий, скандий и редкоземельные элементы, а также остаток, в последующем называемый также основой, из одного элемента или нескольких элементов из группы, включающей железо, кобальт и никель
Сплав для зубных протезов // 2151588
Изобретение относится к области металлургии, в частности к коррозионностойким сплавам на основе кобальта, предназначенных для отливки высоконагруженных зубных протезов съемного и несъемного типов, шинирующих аппаратов и др
Изобретение относится к металлургии и может быть использовано в производстве высокочастотных трансформаторов
Магнитный сплав на основе кобальта // 2187573
Изобретение относится к области металлургии, а именно к магнитомягким сплавам на основе кобальта с низкой остаточной магнитной индукцией
Магнитопровод // 2190275
Изобретение относится к области электротехники, в частности к магнитопроводам трансформаторов и реакторов различного назначения
Изобретение относится к области металлургии, в частности к коррозионно-стойким сплавам на основе кобальта, предназначенным для отливки каркасов бюгельных и цельнолитых зубных протезов, а также других изделий, для которых необходимы высокие прочность, твердость, упругость и пластичность
Изобретение относится к области металлургии, а именно к сплавам на основе кобальта, изделиям на их основе, которые могут быть использованы при производстве минеральной ваты