Способ изготовления катода оксидно-электролитического алюминиевого конденсатора
Изобретение относится к технологии изготовления элементов радиоэлектроники и может быть использовано в производстве оксидно-электролитического алюминиевого конденсатора Сущность изобретения состоит в том что на алюминиевую катодную фольгу осаждают слой низковакуумного конденсата алюминия затем катодную фольгу подвергают обработке при напряжении 05 - 15 В, при температуре 84 ± 90°С в течение 55 - 65 с в электролите на основе водного раствора ортофосфорной кислоты и однозамещенного фосфорнокислого аммония при следующем содержании компонентов . мас% фосфорная кислота 0045 - 0,055, однозамещенный фосфорнокислый аммоний 025 - 033 вода - остальное что позволяет повысить стабильность емкостных характеристик конденсатора 7 табл
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ
К ПАТЕНТУ
Комитет Российской Федерации по иатентам и товарным знакам (21) 4950199/21 (22) 2606.91 (46) 30.10.93 Бюл. ¹ 39 — 40 (71) Воронежское специальное конструкторское бюро "Рикон" (72) Сопикова ТМ; Агулов ВК. Черных Н.И.:
Матвеева Н.И. (73} Воронежское специальное конструкторское бюро "Рикон" (64) СПОСОБ. ИЗГОТОВЛЕНИЯ КАТОДА ОКСИДНΠ— ЭЛЕКТРОЛ И ТИЧЕСКОГО АЛЮМИНИЕВОГО КОНДЕНСАТОРА (57) Изобретение относится к технологии изготовления элементов радиоэлектроники и может быть .использовано в производстве оксидно-электроли.— (19) RU (11) 2002326 С1 (51) 5 Н0109 04 тического алюминиевого конденсатора Сущность изобретения состоит в том, что на алюминиевую катодную фольгу осаждают спой низковакуумного конденсата алюминия. затем катодную фольгу подвергают обработке при напряжении 05 — 1.5 В, при температуре 84 + 90 С в ечение 55 — 65 с в электролите на основе водного раствора ортофосфорнай кислоты и однозамещенного фосфорно— кислого аммония при следующем содержании компонентов, тлас.%: фосфорная кислота 0,045 — 0,055, однозамещенный фосфорнокислый аммоний 025—
033, вода — остальное. что позволяет повысить стабильность емкостных характеристик конденсатора.
7 табл.
2002326
Изобретение относится к технологии изготовления элементов радиоэлектроники и может быть использовано в производстве оксидно-электролитических конденсаторов.
Известен способ получения катода алюминиевого электролитического конденсатора, обеспечивающий повышение удельной емкости катодной фольги путем осаждения слоя ниэкавакуумного конденсата алюминия в среде кислорода при остаточном давлении 1,4. 10 — 1,4. 10 Па са скоростью напыления 0,005 — 0,02 мкм/с в течение 120600 с, Однако указанный способ направлен толька на повышение удельной емкости катода. Для катоднай фольги, получаемой описанным способом, очень существенным является отсутствие на ее поверхности естественных оксидных слоев.в момент изготовления, сравнимых по толщине с формуемым на аноде диэлектриком. При соприкосновении с кислородом воздуха поверхность фольги с осажденным низковакуумным конденсатом алюминия покрывается окисью алюминия, При этом происходит сглаживание рельефа, затягивание пор, уменьшение развитой поверхности, т.е. происходит ее естественное старение, что, в конечном итагс, приводит к значительному уменьшению емкости, Этот процесс происходит длительна и приводит практически к непрерывному уменьшению емкости.
Наиболее близким по функциональному назначению к изобретению является способ получения катода алюминиевого электралитическаго конденсатора путем осаждения на алюминиеву>о фольгу слоя низковакуумного конденсата алюминия с последующим нанесением слоя пиралитического хрома с целыа повышения стабильности емкостных ха рактеристик катода.
Указанный способ повышения емкостн ых характеристик катода оксидно-электролитического алюминиевого конденсатора позволяет уменьшить падение удельной емкос.ги во времени. Однако теста кипячением в деионизованной воде в течение 30 мин и тем более в течение 4 ч (по мировым стандартам) такая фольга не выдерживает: падение емкости составляет 90;4 и более.
Кипячением в деионизованной воде определяются качество фольги, ее стойкость к гидратации. Если фольга выдерживает кипячение в деионизаванной воде в течение
4 ч и после кипячения удельная емкость изменяется не более чем на 20, та это служит гарантией того, что в готовом конденсаторе не происходит падения емкости, Целью изобретения является повышение стабильности емкостных характеристик катода для оксидно-электролитических алюминиевых конденсаторов.
Цель достигается тем, что по способу получения катода оксидно-электролитического алюминиевого конденсатора путем осаждения на алюминиевую фольгу слоя
10 низковакуумного конденсата алюминия после осаждения слоя низковакуумного конденсата алюминия катод подвергают обработке при напряжении 0.5-1,5В, при температуре 87+.3 С в течение 55-65 с в
"5 фосфорнакислом электролите состава, мас. ь:
Фосфорная кислота 0,045-0,055
Одназамещенный фосфорнокислый аммоний
Вода
0,25-0.33
Остальное
2А1(НгРО4)з — А1г(Н РОд)з + ЗНзРО4;
В
А1г(Н РОа)э 2AIPO4 + НэРО4.
В результате такой обработки катадной фольги на слое низковакуумного конденсата алюминия образуется кристаллическая модификация тонкого фосфатно-оксидного слоя, При тестировании фольги кипячением фасфатно-оксидный слой алюминия на поверхности фольги предохраняет ее от гидратации, в результате чего не происходит потеря емкости больше допустимой нормы (+20 ), Было установлено. чта созданию кристаллической модификации фосфатнооксидного слоя на поверхности катодной фольги способствуют электролиты на основе фосфорной кислоты и фосфорсодержащих растворимых солей, При обработке катодной фольги с асаж40 денным слоем низковакуумного конденсата алюминия в электролите по предлагаемому способу на его поверхности возникают два слоя: первичный или барьерный, непосредственна прилегающий к АI, сращенный с
45 ним, гладкий, тонкий, эластичный и весьма пористый и второй наружный слой кристаллического строения.
Формирование фосфатно-оксидной пленки начинается с электрохимического
50 растворения алюминиевой фольги. В результате происходит понижение содержания фосфорной кислоты в растворе, что приводит к уменьшению концентрации ионов водорода и образованию вторичных и третичных солей:
2002326
При этом образуются однозамещенные, двухзамещенн ые и трехэамещенные фосфаты. Фосфатно-оксидные пленки, полученные на катодной фольге с осажденным слоем низковакуумного конденсата алюминия в результате обработки фольги в предлагаемом режиме и электролите с содержанием компонентов по формуле изобретения, содержат преимущественно двух- и трехзамещенные фосфаты. Однозамещенные фосфаты легко растворимы в воде, двухзамещенные трудно растворимы, а трехэамещенные практически не растворяются.
Между фосфатно-оксидной пленкой и алюминиевой фольгой, на которой она образовалась, существует тесная кристаллохимическая связь. Ионы фосфатируемого алюминия являются составной частью кри.сталлов образующихся фосфатов. Связь фосфатно-оксидной пленки с алюминием осуществляется посредством составляющих ее кристаллов фосфатов, у которых конец тетраэдра иона Р04 связан через атом кислорода с ионом алюминиевой фольги.
Наблюдения под микроскопом за формированием фосфатной пленки показали, что сначала возникает пленка окиси алюминия, затем на ней образуется защитный слой однозамещенных, двухзамещенных и трехэамещенных фосфатов.
Для усиления действия фосфорной кислоты используется однозамещенный фосфат аммония, ко.торый в со.четании с . фосфорной кислотой способствует наращиванию стойких к гидратации фосфатно-оксидных пленок, обеспечивающих стабильность емкостных характеристик катода, Один одноэамещенный фосфат аммония (не в сочетании с фосфорной кислотой) обеспечивает высокую стойкость фольги к гидратации, но при этом сильно снижает емкость, Ведение процесса обработки алюминиевой катодной фольги после осаждения слоя низковакуумного конденсата алюминия в предлагаемом электролите при напряжении в пределах, указанных в формуле изобретения, обеспечивает ускоренный рост на катодной фольге фосфатно-оксидной пленки оптимальной толщины и структуры, обеспечивающей повышение стабильности емкостных характеристик катодной фольги, При напряжении ниже 0,5В создается более тонкий фосфорно-оксидный слой, соизмеримый с естественным оксидным слоем, вследствие чего понижается устойчивость фольги к гидратации. При напряжении выше 1,5В образуется очень толстый фосфатно-оксидный кристаллический слой, сглаживается рельеф напыленного слоя; что приводит к падению удельной емкости.
Обработка алюминиевой катодной фольги при температуре в пределах, указанных в формуле изобретения, позволяет интенсифицировать процесс получения фосфатно-оксидной пленки с плотностью, необходимой для повышения стабильности удельной емкости фольги. При температуре ниже 84 С не наблюдается ускоренный рост фосфатно-оксидной пленки, образуется очень тонкий спой одноэамещенного фосфата аммония, в результате фольга не выдерживает теста кипячением. При температуре выше 90 С происходит интенсивное уплотнение оксидного слоя, сглаживание рельефа поверхности оксидного слоя, что приводит к значительному падению емкости сразу после обработки.
Обработка алюминиевой катодной
25 фольги в течение времени в пределах, указанных в формуле изобретения, способствует созданию на ней фосфатно-оксидного слоя, состоящего иэ двух- и трехэамещенных фосфатов алюминия, обеспечивающего
30 стойкость катодной фольги к гидратации, Если время обработки менее 55 с, на катодной фольге формируется фосфатно-оксидный .слой, равный по толщине естественному оксидному слою, не стойкий
35 к.гидратации. Обработка катода в течение времени более 65 с способствует образованию более толстого оксидного слоя, что ведет. к уменьшению удельной емкости фольги после обработки.
Предлагаемый способ получения катода оксидно-электролитического алюминиевого конденсатора в совокупности указанных в формуле признаков обеспечивает повышение стабильности емкостных характеристик катода в среднем на 80 по сравнению с прототипом за счет ускорения образования плотной структуры фосфатно-оксидной пленки, которая преимущественно содержит двух- и трехзамещенные фосфаты, имеет оптимальную толщину и стойкость к гидратации.
При проведении поиска на новизну заявляемого объекта способы получения катода оксидно-электролитического алюминиевого конденсатора по формуле изобретения, придающие объекту указанные выше свойства, не были обнаружены, из чего можно сделать вывод, что предложен2002326 ная емкость несколько уменьшается, что л объясняется формированием нв поверхноное техническое решение обладает сущестВенными Отличиями.
Для осуществления предлагаемого способа нанесение слоя низковакуумного конденсата алюминия на алюминиевую фольгу марки А — 99 толщиной 30 и 14 мкм проводили на вакуумной установке типа ТЕМ3
270001 с паромасляной системой откачки. В установке имеется система двухсторонней перемотки фольги, обеспечивающая перемещение фольги над испарителем в процессе конденсации со скоростью движения фольги 20-25 .м/ч. Испарение алюминия проводили из испарителей прямого нагрева в виде лодочек из тугоплавких бескислородных соединений дибарида титана и нитрида бора при непрерывной подаче алюминиевой проволоки. Скорость подачи алюминиевой проволоки 6 — 8 м/ч. Температура испарителя иэ интервала 1000-1200 С.
Нанесение слоя низкова куумного конденсата алюминия проводили прои остаточном давлении 1,4 10 — 1,4 10 Па.
Полученные катоды со слоем низковакуумного конденсата алюминия толщиной
2,5 — 4 мкм имели исходные значения удельной емкости в пределах 59000-62000 мкФ/дм .
Обработку катодов с целью получения фосфатно-оксидных пленок проводили в машине электрохимической обработки фольги.
Скорость движения фольги до 200 м/ч, напряжение от 0,5 до 1,5 В, ток до 20А.
Существенность отличительных признаков формулы изобретения, а именно режим обработки (напряжение, температура, время) и состав электролита, подтверждается примерами 1-4.
Пример 1, Образцы фольги марки
А-99 подвергались обработке при напряжении 18, температуре 87 С в течение 60 с в электролитах по формуле изобретения и при запредельных значениях компонентов, Результаты приведены в табл.1, 2, 3.
8 табл.1 показаны значения изменения удельной емкости катодной фольги в зависимости от концентрации ортофосфорной кислоты и одноэамещенного фосфарнокислого аммония в составе электролита для обработки катода.
При концентрациях ортофосфорной кислоты и однозамещенного фосфорнокислого аммония, находящихся в пределах формулы изобретения (составы 2, 3, 4), после обработки предлагаемым способом удельсти фольги фосфатно-оксидного слоя, который способствует сглаживанию рельефа, полученного в результате нанесения слоя ниэковакуумного конденсата алюминия, Фольга с фосфатно-оксидным слоем выдерживает тест кипячением в деионизованной воде в течение 4 ч, Изменение емкости после кипячения ниже максимально допустимого по ТУ.
При запредельных значениях концентрации ортофосфорной кислоты Й одноэамещенного фосфорнокислого аммония в составе электролита для обработки катода (составы 1 и 5) полученная фольга выдерживает тест кипячением, уровень изменения емкости после кипячения такой же, как и в составах 2, 3, 4. Однако столь высокая концентрация одного из компонентов приводит к значительному снижению емкости катодной фольги после обработки, В табл.2 показаны значения изменения удельной емкости катодной фольги после обработки в электролите, где один компонент — однозамещенный фосфорнокислый аммоний имеет постоянную концентрацию
0,3 мас. $, а концентрация другого компонента — ортофосфорной кислоты приводится в составах 2, 3, 4 в пределах формулы
30 изобретения. а в составах 1 и 5 за ее пределами, Показано, что в составе при концентрации ортофосфорной кислоты ниже 0,045 мас, ф; удельная емкость обработанной
35 фольги того.же уровня, что в составах 2, 3,4, но теста кипячением такая фольга не выдерживает.
Из составов 2, 3, 4 видно, что при концентрации ортофосфорной кислоты в преде"0 пах, укаэанных в формуле изобретения, фольга после обработки имеет одинаковый уровень емкостей и выдерживает тест кипячением, 45
Показано, что в составе 5 при концентрации ортофосфорной кислоты выше 0,055 мас. обработанная фольга выдерживает тест кипячением, но уровень получаемых удельных емкостей ниже, чем у фольги, об50 работанной в электролите составов 2, 3, 4, В табл.3 показаны значения изменения удельной емкости катодной фольги после обработки в электролите, где концентрация ортофосфорной кислоты постоянная
55 0,05 мас.g, и концентрация однозамещенного фосфорнокислого аммония приводится в составах 2. 3, 4 в пределах формулы изобретения, а в составах 1 и 5 за ее предеами.
2002326
В п.1 при температуре 80 С обработанная фольга имеет такую же удельную емкость, как и при более высокой температуре, но изменение емкости после кипячения не укладывается в нормы ТУ.
Из п.2, 3, 4 видно, что при температуре в пределах формулы изобретения обработанная фольга имеет один уровень удельной емкости и выдерживает тест кипячением, В п.5 показано. что при температуре выше 90 С удельная емкость обработанной фольги ниже, чем в п,2, 3, 4, хотя тест кипячением фольга выдерживает.
Пример 4. В табл.6 показана зависимость изменения удельной емкости катодной фольги ат времени обработки. Образцы фольги обрабатывались в электролите со2р става, MBc, $:
Ортафосфарчая кислота
Однозамещенный
Фасфарнокислый аммоний
25 Вода
0,05
0,3
Остальное
Ортофасфорная кислота 0.05
Однозямещенный фосфарнакислый аммачий 0,3
Вода Остальное 30
Иэ п.1 видна, что при напряжении ниже
0,5В после обработки получается более вы- 35 сокий уровень емкости па сравнению с п. 2, 3, 4, 5, но теста кипячением фольга не выдерживает.
В и. 2, 3, 4 при напряжениях в пределах формулы изобретения обработанная фольга 40 имеет один уровень удельных емкостей, выдерживает тест кипячением.
При напряжении выше 1,5В, как видно из п.5, после обработки происходит снижение уровня удельной емкости катадной фольги, хотя тест кипячением фольга выдерживает, Пример 3. В табл.5 показана зависимость изменения удельной емкости катодной фольги or температуры обработки.
Образцы фольги обрабатывались в электролите состава, мас.7,:
0,05
0,3
Остальное время 60 с.
Показано. что в составе 1 при концентрации однозамещенного фосфорнокислого аммония ниже 0,25 мас.% удельная емкость обработанной фольги одного уровня с составами 2, 3, 4, где концентрация обоих компонентов в пределах формулы, однако теста кипячением фольга не выдерживает.
Из составов 2, 3, 4 видно, что при концентрации однозамещенного фосфорнокислого аммония в пределах формулы изобретения удельная емкость фольги имеет один уровень и такая фольга выдерживает тест кипячением.
Показано, что в составе 5 при концентрации однозамещеннага фасфарнакислого аммония выше 0,33 мас.7 обработанная фольга выдерживает тест кипячением, но удельная емкость ниже, чем у фольги, обработанной в электролите составов 2, 3, 4.
Пример 2. В табл.4 показана зависимость изменения удельной емкости катодной фольги от напряжения обработки.
Образцы фольги обрабатывались в электролите состава. мас.7, :
Температура обработки 87 С, время 60 с.
Ортофасфорная кислота
Однозамещен н ый фосфорнокислый амманий
Вода
Напряжение обработки 1В
Напряжение обработки 1В, температура 87 С.
Из f1,1 видно, чта при времени обработки меньше 55 с удельная емкость обработанной фольги выше, чем в и. 2, 3, 4, но теста кипячением фольга не выдерживает.
В п.2, 3, 4 показано, что при времени обработки в пределах формулы изобретения уровень удельной емкости фольги одинаковый, тест кипячением фольга выдерживае г.
Из п.5 видно, чта при времени обработки больше 65 с уровень удельной емкости ниже, чем в п.2, 3, 4, хотя тест кипячением фольга выдерживает.
Для сравнения результатов обработки катаднай фольги предлагаемым способом и способом по прототипу испытаниям подвергались образцы фольги марки А-99. Образцы катаднай фольги, обработанной способом по прототипу, подвергались кипячению в деионизованно ваде в течение 30 мин, а образцы, полученные предлагаемым способом, кипятили а деианизованнай воде в течение 4 ч. Результаты испытаний представлены в табл,2.
Из табл.7 видно, что изменение емкости катадной фольги, обработанной предлагаемым способом, на 80 Д ниже, чем фольги, обработанной способом па прототипу.
Удельная емкость фольги, обработанной способом по прототипу. падает максималь2002326
Таблица 1
Удельная Удельная емкость емкость фольги, об- фольги работан- после ки- Изменение ной по пячения в . емкости предлагае- деионизо- ЬС =
Удельная емкость исходной
Содержание электролита, мас. 7
Норма ЛС поТУ, Состав
C> — Сг
Ст -х мому ванной вофольги, мкФ/дм дев способу, С1. мкФ/дм течение
4ч Сг, мкФ/ м
Ортофосфорная кислота 0,04
ЗОООО
60000
34000
Однозамещенный фосфорнокислый
35000 30000
61000
14,3 аммоний 0,37
30000 29000
3,3
61000
Вода — остальное
Ортофосфорная кислота 0,045
8,5
61000
Однозамещенный фосфорнокислый аммоний 0.33
47000 44000
6,4
60000
6,3
48000 45000
63000
Вода — остальное
Ортофосфарная кислота 0,05 .
2.0
50000
51000
63000 но в 12 раз уже после 30-минутного кипячения в деионизованной воде.
Технико-экономическим преимуществом предлагаемого способа получения катода . оксидно-электрол итического алюминиевого конденсатора по сравнению с прототипом является повышение стабильности емкостных характеристик катода в среднем на 80;6 за счет ускоренного образования плотной структуры фосфатно-оксидной пленки, содержащей двух- и трехзамещенные фосфаты, имеющей оптимальную толщину, структуру и стойкость к гидратации.
Ожидаемый годовой экономический эффект от внедрения предлагаемого способа получения катода для оксидно-злектролитических алюминиевых конденсаторов составит 50 тыс. рублей.. (56) Авторское свидетельство СССР
10 М 1542311, кл. Н 01 6 9/00. 1989.
Авторское свидетельство СССР
N. 1398678, кл. Н 01 6 9/00, 1986.
2002326.14
Удельная емкость исходной
Изменение емкости
hC=
Норма ЛС поТУ, Состав
С1 — С2
С1 фольги, мкФ/дм де в
Х100, $ течение
4ч Сг, мкФ/ м
45000
48000
«20
6.3
60000
44000
49000
10,2
45000
10,0
50000
61000
46000
6,1
49000
61000
10,2
44000
49000
30000
34000
60000
10,0
27000
30000
61000
6,5
29000
31000
Содержание электролита, мас. 7ь
Однозамещенный фосфорнокислый аммоний 0,3
Вода — остальное 60000
Ортофосфорная кислота 0,055
Однозамещенный фосфорнокислый аммоний 0,25
Вода — остальное 62000
Ортофосфорная кислота 0,06
Однозамещенный фосфорнокислый аммоний 0,02
Во а — остальное 61000
Удельная емкость фольги, обработанной по предлагаемому способу, С>. мкФ/дм
Удельная емкость фольги после кипячения в деионизованной Во
Продолжение табл. 1
2002326
Удельная емкость
ИСХОДНОЙ пячения в деионизоемкости
ЛС=
Норма ЛС поТУ,%
С1 — С2
С1 ванной вофольги, 2 дев
)(100% %
С1, м„фу м2 течение
4ч С2. мкФ/ м
30000
37,5
61000
48000
47000
28000
60000
23000
48000
62000
8,5
47000
43000
60000
48000
61000
49000
47000
50000
65000
51000
50000
12.5
63000 20
8,3
45000
48000
60000
44000
8,2
49000
60000
Состав Содержание электролита, мас. %
Ортофосфорная кислота 0,04
Одноэамещенный фосфорнокислый аммоний 0,3
Вода — остальное
Ортофосфорная кислота 0-,045
Однозамещенный фосфорнокислый аммоний 0,3
Вода — остальное
Ортофосфо рная кислота 0,05
Однозамещенный фосфорнокислый аммоний 0,3
Во а — остальное
Удельная емкость фольги, обработанной по предлагаемому способу, Таблица 2
Удельная емкость фольги после -ки- Изменение
18
2002326 пячения в деиониэованной воемкости
ЛС =
Норма ЛС поТУ, Состав
Ci — Сз х
С1 фольги, мкФ/дм де в
Х100, течение
4ЧС2, мкФ/дм
60000
43000
6,5
46000
6,4
44000
59000
47000
10.2
44000
62000
49000
28000
30000
6.7
61000
17,2
24000
29000
62000 аммоний 0,02
14,8
23000
27000
63000
Удельная емкость
Содержание элек- исходной тролита, мас. %
Ортофосфо рная кислота 0.055
Однозамещенный фосфорнокислый аммоний 0,25
Вода — остальное
Ортофосфорная кислота 0,06
Однозамещенный фосфорнокислый
Во а — остальное
Удельная емкость фольги, обработанной по предлагаемому способу.
С>, мкФ/дм
Продолжение табл. 2
Удельная емкость фольги после ки- Изменение
2002326
Таблица 3
Удельная Удельная емкость емкость фольги, об- фольги работан- после ки- Изменение ной по пячения в предлагае- деионизомому ванной воемкости
ЛС=
Норма ЛС поТУ, 7, Состав
Содержание электролита, мас.
С! — С2 х
С1 фольги, мкФ/дм дев
4ч С2. мкФ/ м
Ортофосфорная кислота 0,05
34,0
47000
31000
61000
49000 28000
42,8
63000
60000
46,8
25000
47ООО
Вода — остальное
Ортофосфо рная кислота 0,05
2,0
48000 47000
61000
Однозамещенный фосфорнокислый аммонйй 0,25
6.1
49000 46000
63000
50000 47000
67000
Вода — остальное
Ортофосфо рная кислота 0,05
51000 50000
2,0
63ООО
Однозамещенный фосфорнокислый аммоний 0.30
6.3
48000 45ООа
60000
+20
10,2
49000 44000
60000
Во а — остальное
Одноэамещенный фосфорнокислый аммоний 0,20
Удельная емкость исходной способу, С1, . мкФ/дм течение Х 100
22
2002326
Продолжение табл. 3
Удельная Удельная емкость емкость фольги, об- фольги
Удельная работан- после киИзменение ной по пячения в емкость емкости
ЬС =
Состав исходной предлагае- деионизованной водев
X100$, ф течение
61000 47000 43000
8,5
61000
12,2
43000
49000
50000
48000
60000
61000
29000
6,5
27000 26000
3,7
63000
60000 24000 24000
Соде ржание электролита, мас.
Ортофосфорная кислота 0,05
Однозамеще нный фосфорнокислый аммоний 0.33
Вода — остальное
Ортофосфо рная кислота 0,05
Однозамещенный фосфорнокислый аммоний 0,40
Во а — остальное фольги, мкФ/дм . мому способу, С1, мкФ/дм
4ч С, мкФ/ м
|-> — Сг
С1
Норма ЛС поТУ, 2002326
Таблица 4
Удельная Удельная емкость емкость фольги, об- фольги работан- после киной по пячения в предлагае- деионизомому ванной воботки, В
С1 С2
= — — -х
С> дев
)(1 Рр 0 oj течение
0,3
44000
0,5
":20
6,3
1,5
2,1
10,0
5,9
Удельная емкость
Напряжение абра- исходной фольги, мкФ/дм
62000
61000
60000
60000
60000 способу, С>, мкФ/дм.
52000
49000.
46000
48000
34000
4чС, мкФ/ м
34000
46000
42000
47000
32000
Изменение емкости
26
32,6
34,6
6,4
8,2
2,2
6.3
8,7
Норма ЛС по T>,%
2002326
Таблица 5
Удельная емкость исходной
ММ пп
C! — Cq
С! фольги, мкФ/дм дев
С1, мкФ/дм течение
4ч С2, мкФ/ м
21,3
21,7
23,9
35000
62000
47000 . 46000
46000
47000
61000
8,3
47000
2,1
43000
10,2
60000
47000
6,3
8,5
6,1
42000
62000
49000
12,2
14,3
59000
33000
38000
10,5
13,2
Температура обработки, С
Удельная емкость фольги, обработанной по и редла гаемому способу, Удельная емкость фольги после кипячения в деионизованной воИзменение емкости
hC =
X!00 g g
Норма ЛС поТУ, 2002326
Таблица 6
Удельная работанной по емкость емкости
hC-=
Норма b C поТУ, Д
Состав Время обработки, исходной предлагаеС1 С2 х
С1 фольги, мкФ/дм течение Х 100;(,, 4ч С, мкФ/ м
60000 50000
61000 52ÎÎÎ
61000 53900
34,6
37,7
6.4
2,1
10,4
8,3
10.4
«+20
12,5
4,3
2,1
8,7
12,9
6,7
6,7
62000
60000
59000
60000
Удельная емкост.ь фольги, обмому способу, С1. мкФ/дм
- 47000
47009
48000
47000
46000
30000
Удельная емкость фольги после ки-. Изменение пячения в деионизованной воде в
33000
43000
44ООО
42000
42000
28000
2002326
30
Таблица 7
Формула изобретения
Составитель Т.Сопикова
Редактор Т.Юрчикова Техред М.Моргентал Корректор А.Обручар
Заказ 3175
Тираж Подписное
НПО " Поиск" Роспатента
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5
Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КАТОДА
ОКСИДНО-ЗЛ ЕКТРОЛИТИЧ ЕСКОГО
АЛЮМИНИЕВОГО КОНДЕНСАТОРА, включающий осаждение на алюминиевую катодную фольгу слоя низковакуумного конденсата алюминия, отличающийся тем, что, с целью повышения стабильности емкостных характеристик конденсатора, после операции осах<дения слоя низковакуумногр конденсата алюминия катодную фольгу обрабатывают в электролите на основе водного раствора ортофосфорной кислоты и однозамещенного фосфорнокислого алюминия, компоненты которого используют в следующем количестве, мас. $:
Ортофосфорная кислота 0,45 - 0,55
Однозамещенный фосфорноKHcItbtA аммоний 0,25 — 0,33
Вода Остальное при этом обработку проводят при 84 — 90 С в течение 55 - 65 с при напряжении 0,51,5 В.














