Патент ссср 202685
ОП ИСАНИ Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союа Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт, свидетельства ¹
Заявлено 26ЛХ.1966 (№ 1104001/26-9) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 14ЛХ.1967. Бюллетень № 19
Дата опубликования описания 6.XII.1967
23с
Комитет по делам изобретений и открытий ори Совете Министров
СССР
21.793.1 (088.8) Авчоры изобретения Я. М. Беккер, Е. К. 10рьева, Л. М. Борисенко, И. В. Берг и Ф. Г. Старос
Заявитель
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПРОВЕДЕНИЯ ГАЗОТРАНСПОРТНЫХ
РЕАКЦИЙ
Предмет изобретения
Известное устройство для проведения газотранспортных реакций, например, с разложением галлоидных солей металлов, содержащее герметизированную камеру и нагреватели, не позволяет вести процесс разложения с высокой скоростью, так как при увеличении скорости реакции ухудшается качество наносимого слоя.
В описываемом устройстве этот недостаток устранен.
Ускорение процесса проведения реакции при сохранении высокого качества наносимого на подложку в процессе реакции слоя, достигнуто тем, что оно снабжено двумя ленточными нагревателями, один из которых выполнен прямолинейным и служит для размещения на нем исходного вещества, .подвергаемого разложению и переносу, а второй— имеет V-образную форму и расположен над подложкой.
На чертеже показано предлагаемое устройСтво.
В герметизированной камере 1 на прямолинейном ленточном нагревателе 2 размещено подвергаемое разложению и переносу вещество 8 и установленная на опорах 4 подложка
5, покрываемая .слоем вещества 8. Второй ленточный, нагреватель б имеет V-образную форму и расположен непосредственно над подложкой 5. V-образный нагреватель позволяет получить оптимальный температурный
5 режим, чем обеспечивается изотермичность поверхности подложки 5, а следовательно, и покрытие всей подложки 5 равномерным слоем вещества 8. Устройство может быть использовано для нанесения на подложку слоя
10 вещества через маску.
Устройство для проведения газотранспорт15 ных реакций, содержащее герметизированную камеру и нагреватели, отличающееся тем, что, с целью ускорения проведения реакции .при сохранении высокого качества наносимого на подложку в процессе реакции слоя, оно снаб20 жено двумя ленточными нагревателями, одчн из которых выполнен прямолинейным и служит для размещения на нем исходного вещества, подвергаемого разложению и переносу, и установленной на опорах подложки, покры25 ваемой слоем исходного вещества, а второй— имеет V-образную форму и расположен над подложкой.
202685
Редактор А. Шиллер
Заказ 3630)7 Тираж 535 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4
Типография, пр. Сапунова, 2
Составитель В. Судариков
Техред T. П. Курилко
Корректоры: Н. И. Быстрова и А. П. Татаринцевя

