Способ контроля магнитострикции тонкой ферромагнитной пленки

ОП ИСАНИ Е

ИЗОБРЕТЕ НИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Кл. 42b, 11

Заявлено 16Х1!.1966 (№ 1091640/25-28) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 15Х!!!.1967. Бюллетень № 17

Дата опубликования описания 23.Х.1967

МПК б 01Ь

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 531.717.082.72+538. .652 (088.8) k

В. А. Фабриков и Ю. А. Черенков $", „. т

Авторы изобретения

Заявитель

СПОСОБ КОНТРОЛЯ МАГНИТОСТРИКЦИИ ТОНКОЙ

ФЕРРОМАГНИТНОЙ ПЛЕНКИ

Известен способ контроля магнитострикции тонких ферромагнитных пленок, состоящий в том, что над контролируемой пленкой создают магнитное поле с частотой 1 кгтт, с помощью механизма деформации подвергают пленку периодическим знакопеременным напряжениям и по модуляции выходного сигнала судят о наличии магнитострикции пленки.

Г1о этому способу можно определить лишь нулевое значение магнитострикции, поскольку отсутствует однозначная зависимость между коэффициентом магнитострикции и выходным сигналом датчика из-за влияния процесса смещения стенок доменов, По предложенному способу для осуществления контроля магнитострикции заданного значения и одновременного определения толщины пленки магнитное поле создают с помощью датчика, имеющего две взаимно перпендикуляр ые обмотки, питаемые токами высокой и разной частоты, и о магнитострикции судят по отклонению модуляции выходного сигнала, снимаемого с одной из обмоток датчика на суммарной частоте от 100%, а для определения толщины с помощью интегрирующего устройства интегрируют модулированный выходной сигнал и по уровню проинтегрированного сигнала судят о толщине.

Создание двух взаимно перпендикулярных магнитных полей позволяет исключить влияние смещения стенок доменов.

Предлагаемый способ магнитострикции топкой ферромагнитной пленки состоит в том, что в процессе напыления напыляемую на подложку пленку подвергают действию магнитного поля, создаваемого с помощью датчика с двумя взаимно перпендикулярными обмотками, питаемыми токами высокой и разной частоты. При этом напряжение р» питает одну из обмоток датчика, а напряжение с частотой ср — другую обмотку датчика, расположенную под углом 90 к первой обмотке.

Под действием высокочастотных полей обеих обмоток вектор намагниченности пленки колеблется в плоскости пленки с очень малой амплитудой на частоте ар=о»+кв>. С одной пз обмоток датчика па суммарной частоте, 20 т. е. частоте срр, снимают выходной сигнал па регистрирующее устройство, например осциллограф. По отклонению модуляции выходного сигнала от 100р/р судят о магнитострикцпи пленки, а по уровшо проинтсгрированного выходного сигнала судят о толщине пленки.

Предмет изобретения

Способ контроля магнитострикции тонкой ферромагнитной пленки в процессе папылеЗО ния, состоящий в том, что напыляемую на

200773

Составитель А. Ионова

Тсхрсд Т. П. Курилко Корректоры: Е. Ф. Полиоиова и И. Л. Кириллова

Редактор Т. Данилова

Заказ 3191111 Тираж 535 Подписное

Ц11ИИПИ Кок|птста по делам пзооретсний и открытий прп Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2 подложку пленку подвергают действию магнитного поля, создаваемого обмоткой датчика, и периодической знакоперсменной деформации и снимают с обмотки датчика выходной сигнал на регистрирующее устройство, например осциллограф, отличающийся тем, что, с целью осуществления контроля магнитострикции заданного значения и одновременного определения толщины пленки, магнитное поле создают с помощью датчика, имеющего две взаимно перпендикулярные обмотки, питаемые токами высокой и разной частоты, выходной сигнал снимают с одной из обмоток датчика па суммарной частоте и о магнитострикции судят по отклонению модуляции выходного сигнала от 100%, а для определения толщины с помощью интегрирующего устройства интегрируют модулированный выходной сигнал и по уровню проинтегрированного сигна10 ла судят о толщине.