Патент ссср 198873

Союз Соввтскил

Социвлистическил

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Кл. 48а, 3/06

Заявлено 20Х11.1966 (№ 1092868/22-1) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 28Х1.1967. Бюллетень № 14

Дата опубликования описания 2Х111.19б7

Комитет по делаю изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

МП1(С 23Ь

УДi(621.795,2:669.5 (088.8) а

11СЙ1. 111З11„ 11

ПЛТЕИ 110

TFXBNN cl; -" -"ИОТЕ 1

Авторы изобретения

В, И. Лайнер и В, А. Фишман

Московский институт стали и сплавов

Заявитель

СПОСОБ 1тОЛИРОВАНИЯ ИОЛУБРОВОДНИКОВЪ|Х

МАТЕРИАЛОВ

При полировании полупроводниковых материалов, например теллурида цинка из растворов на основе бромистоводородной кислоты с добавлением свооодного брома, известным способом используют очень реакционный травитель.

Предложено для повышения качества голируемой поверхности и улучшения условий руда в травитель вводить 1 М раствора хромата калия.

Смесь бромистоводородной кислоты и 1 М раствора хромата калия берут в отношении

2:1, После резки и шлифовки микронорошком

М7 теллурид цинка обезжирпвают в кипящем

СС1, в течение 5 — 10 мин, высушивают на воздухе, травят в смеси НВг+1 М раствор

К СгО (2: i) ь течение 30 — 60 сек при 20 С, затем дважды промывают в кипящей дистиллированной воде и высушивают фильтровальной бумагой.

После травления B предложенном растворе поверхность полупроводниковых образцов имеет чистую, хорошо полированную поверхность.

10 Предмет изобретения

Способ полирования полупроводниковых материалов, например теллурида цинка иэ раствора па основе бромистоводородной кислоты, отличающийся тем, что, с целью повы. шения качества полируемой поверхности и улучшения условий труда, в травптель вводят

1 М раствора хромата калия,