Способ изготовления электролюминесцентногоустройства

Союз Советских

Социалистических

Республик

Завнспмос от авт. свидетельства №

1(л. 211, 89/03

Заявлепо 17.11.1966 (№ 1056717/26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 09Х1.1967. Бюллетень № 13

М111 . Н 01j

УДЕ, 621,327.9(088.8) Комитет по делам изобретений и открытий ори Совете Министров

СССР

Дата опубликования описания 18Х11.1967

Авторы изобретения

Э. Д. Головкина, В. В. Пасынков, Г. А. Савельев и Н. Н. Семйфв

Ленинградский электротехнический институт им. В, И. Ульянова

Заявитель

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОЛЮМИНЕСЦЕНТНОГО

УСТРОЙCTBA

25 Предмет изобретения

Известен способ изготовления электролюминесцентных устройств путем вакуумного испарения исходных веществ и активирующих примесей с дальнейшей температурной обработкой в вакууме или на воздухе для диффузии. Напыление проводят послойно, чередуя исходное и активирующее вещество, или одновременно из разных лодочек.

Особенностью предложенного способа является то, что на подложку с проводящим слоем наносят легирующий высокоомный подслой сернистых соединений легирующих металлов, например сернистой меди, затем электролюминофор и поверх него — пленку с высокой диэлектрической прочностью, например моноокись кремния.

Это позволяет увеличить срок службы и повысить электрическую прочность устройства.

Предложенный способ осуществляютпо следующей технологии.

В вакууме, близком к 5X10 " мм рт, ст. прогревают подложку с проводящим слоем при температуре 300 — 350 С в течение 1 час.

Затем температуру снижают до -230 С и напыляют сернистую медь из лодочки, нагретой до 1300 — 1400 С. Толщина слоя должна быть о

400 — 600 А После этого температуру подложки вновь повышают до 300 С и наносят электролюминофор с лодочки, нагретой до 1000—

1200 С. Толщина пленки около 15 — 20 мк. Далее подложке дают остыть до .80 С, и наносят слой моноокисп кремния толщиной 100— о

200 А и металлический электрод.

Изготовленные по этой технологии образцы имеют интегральную яркость 30 нт при напряжении 15 — 25 в плотность тока 16 — 20 ма/см-, электрическую прочность я=4 101 в/см. Максимум спектральной интенсивности в случае использования электролюминофора ЭЛ-580 о лежит в области 5860A.

Падение яркости в два раза происходит за

-500 час, если последовательно включено

15 балластное сопротивление 3 — 5 ком (из расчета на 1 см- ), Сопротивление может быть нанесено в виде пленки на готовый электролюминесцентный конденсатор.

Питание осуществляется от источника по20 стоянного тока или монополярными импульсами с положительной полярностью на металлическом электроде.

Способ изготовления электролюминесцентного устройства путем вакуумного напыления на подогретую стеклянную подложку с прово30 дящнм слоем электролюминофора на основе

197757

Составитель А, А. Маидругина

Редактор И. Грузова Техред Т. П. Курилко Корректоры: М. П. Ромашова и А. А. Король

Заказ 2152/16 Тираж 535 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2 сульфида цинка, активированного медью и марганцем, отличающийся тем, что, с целью увеличения срока службы и повышения электрической прочности устройства, сначала в качестве легирующего подслоя наносят пленку с электронным типом проводимости (например, сернистую медь), затем наносят электролюминофор, поверх которого наносят пленку с высокой диэлектрической прочностью (на5 пример, моноокись кремния) .