Цилиндрическая щетка

 

Использование: очистная техника. Сущность изобретения: цилиндрическая щетка содержит соосно установленные парные держатели с радиально закрепленным между ними ворсом и средство для соединения держателей между собой, выполненное в виде установленного между держателями цилиндра, внешняя поверхность которого имеет кольцевую канавку, а на внутренней поверхности с одной стороны торца выполнена конусообразная кольцевая выемка, ас другой стороны торца выполнен конусообразный кольцевой выступ. Каждый из держателей выполнен в виде шайбы с конусообразным кольцевым выступом на одной торцевой поверхности и конусообразной кольцевой выемкой на другой торцевой поверхности, Держатели установлены так, что конусообразный выступ одной шайбы размещен в выемке цилиндра, а в конусообразной выемке другой шайбы размещен выступ цилиндра. 1 з.п. ф-лы, 7 ил.

СОЮЗ СОВЕЧ СКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (st>s А 46 В 7/10

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ

К ПАТЕНТУ (21) 5012968/12 (22) 22.11.91 (46) 30.07.93. Бюл, й. 28 (71) Воронежский опытный завод микроэлектроники "РИФ" (72) П,И,Шипилов (73) Воронежский опытный завод микро-. электроники "РИФ" (56) Авторское свидетельство СССР

М 925306, кл. А 46 В 7/10, 1979; (54) ЦИЛИНД ИЧЕСК ЩЕТКА (57) Использование: очистная техника. Сущность изобретения: цилиндрическая щетка содержит соосно установленные парные держатели с радиально закрепленным между ними ворсом и средство для соединения

Изобретение относится к очистной технике и предназначено для использования в прецизионном оборудовании электронного машиностроения для отмывки пластин, например полупроводниковых.

Задача, на решение которой направлено заявляемое изобретение, — создание малогабаритной цилиндрической щетки, простой конструкции, долговечной, обеспечивающей высокое качество очистки при работе в агрессивных средах (перекисно-водородноаммиачных растворах, кислотах и щелочах).

При этом в данном изобретении должно быть обеспечено достижение следующих технических результатов: щетка должна легко собираться и разбираться. на рабочей поверхности щетки расстояние между ворсинками должны быть одинаковыми, ворс

„... И „„1831313 АЗ держателей между собой, выполненное в виде установленного между держателями цилиндр", внешняя поверхность которого имеет кольцевую канавку, а на внутренней поверхности с одной стороны торца выполнена конусообразная кольцевая выемка, а с другой стороны торца выполнен конусообразный кольцевой выступ. Каждый из держателей выполнен в виде шайбы с конусообразным кольцевым выступом на одной торцевой поверхности и конусообразной кольцевой выемкой на другой торцевой поверхности, Держатели установлены так, что конусообразный выступ одной шайбы размещен в выемке цилиндра, а в конусообразной выемке другой шайбы размещен выступ цилиндра. 1 з,п, ф-лы, 7 ил. должен быть прочно и надежно закреплен в . щетке и не выпадать на очищаемую поверхность, все детали щетки должны быть долговечным при работе в агрессивных средах.

На фиг. 1 представлеь. общий вид цилиндрической щетки в разрезе; на фиг, 2— общий вид парных держателей и цилиндра между ними в разрезе; на фиг, 3 — общий вид парных держателей и цилиндра между ними в аксонометрии; на фиг. 4 — цилиндр; на фиг.

5 — держатель; на фиг, 6 - щеточная секция после формирования ворса; на фиг, 7 — общий вид установки гидромеханической очистки пластин в разрезе, Предлагаемая цилиндрическая щетка содержит (фиг. 1, 2) установленные на оси 1 парные держатели 2 и 3 с радиально закрепленным между ними ворсом 4 и средство

1831313 для соединения держателей между собой.

Средство для соединения держателей между собой выполнено в виде установленного между держателями 2 и 3 цилиндра 5 (фиг.

3), внешняя поверхность которого имеет кольцевую канавку 6, а на внутренней поверхности с одной стороны его торца выполнена кольцевая конусообразная выемка 7, а с другой стороны торца выполнен кольцевой конусообразный выступ 8. При этом каждый иэ держателей 2 и 3 выполнен в виде шайбы 9 с конусообразным выступом

10 на одной ее торцевой поверхности.

Причем держатели 2 и 3 установлены так, что конусообразный выступ 10 одной шайбы (держатель 3) размещен в выемке 7 цилиндра 5, à в.конусообразной выемке 11 другой шайбы (держатель 2) размещен выступ 8 цилиндра 5.

На одном конце оси 1 выполнен неподвижный упор 12, а на другом конце — диск

13 и штифт 14.

Сборку данной щетки осуществляют следующим образом.

Перед сборкой щетки формируют ворс на цилиндре 5, в канавку которого предварительно устанавливают два технологических диска 15. При этом пазы дисков 15 вставляют в канавку цилиндра под углом

180О. Намотку (формирование) ворса производят механизировано на станке(не показано).

Затем на ось 1 со стороны диска 13(фиг, 1) по всей длине оси устанавливают детали в следующем порядке: держатель 2, щеточная секция (цилиндр 5 с ворсом 4 in технологическими дисками 15). После сборки держа елей и щеточных секций по всей длине оси устанавливают диск 13, собранный пакет сжимают осевым усилием, сверлят отверстие в деталях 13 и 1 и устанавливают штифт 14. После установки штифта его концы оплавляют как показано на фиг. 1.

Работает цилиндрическая щетка следующим образом.

Щетку помещают в установку 16 гидромеханической очистки пластин (фиг. 7). Для этого ось 1 щетки устанавливают в зажимах

17, соединенных с приводом вращения (не показан). На пластину 18 подают моющий раствор из магистрали 19. Щетка вращается вокруг своей оси и осуществляет очистку поверхности пластины 18.

Преимущества данной конструкции щетки следующие.

Очевидна простота предлагаемой конструкции щетки, обеспечиваемая за счет того, что средство соединения держателей между собой выполнено в виде одной детали цилиндра и установлено между держателями предлагаемой формы.

Простота конструкции деталей данной щетки и их взаимное соединение по типу пирамиды позволяет создавать малогабаритные щетки.

При этом не наблюдается ухудшения или исчезновения функциональных свойств этих деталей. Напротив, расширяется об"0 ласть применения такой конструкции щетки, а именно, такая щетка используется в прецизионном оборудовании очистки и отмывки пластин с использованием химически активных жидкостей (электронная

15 промышленность), За счет предотвращения разрушения в перекисноводородно-аммиачных средах значительно повышается срок служб ы и редла гаемой щетки.

Кроме того, благодаря тому, что щетка

20 выполнена из неметалла, исключается появление излишних химически активных за- грязнений в области обработки пластин.

Таким образом, основными достоинствами данной конструкции щетки являются надежное крепление ворса в конусных соединениях, держателей и соединителей, компоновка узлов крепления ворса непосредственно у поверхности оси, которая определяет уменьшение размера наружного диаметра

30 щетки, совмещение функций соединительных узлов, упругих; лементов и держателей в двух деталях — ш; йбе и диске, применение химически стойкю материалов в деталях щетки позволяет f успешно применять для

35 очистки полупро,водниковых пластин в перекисноводород -аммиачных растворах.

За счет тогс, что предлагаемая конструкция щетки предусматривает выполнение одинаковыми р;, меры ширины цилиндра 5, 40 а также ширин держателей, а также за счет того. что эти д. али размещены так, что не содержат разь щенных между ними дополнительных к )нструктивных элементов, обеспечивает<: i не только равномерное рас45 положение ао;; i:а, но и повышена предельно возможная и тность расположения. Это обеспечивает равномерность обработки поверхности пла ин, что значительно увеличивает качество 1чистки, 50 Формул изоб ретения

1. Цилиндри ская щетка, содержащая соосно установле;чые парные держатели с радиально закреп I .ííûì между ними ворсом и средство дл .оединения держателей

55 между собой,,о т n,i ч а ю щ а я с я тем. что средство соединен1. держателей выполнено в виде устаносле» ого между держателями цилиндра, вн чняя поверхность которого имеет коль.звую канавку, а на внутренней поверхно . 1 с одной стороны

1831313 торца выполнена конусообразная кольцевая выемка, а с другой стороны торца— конусообразный кольцевой выступ, при этом каждый иэ держателей выполнен а виде шайбы с конусообразным кольцевым вы- 5 ступом на одной торцевой поверхности и конусообразной кольцевой выемкой на другой торцевой поверхности, причем держатели установлены так. что конусообразный выступ одной шайбы размещен в выемке цилиндра, а в конусообоазной выемке другой шайбы размещен выступ цилиндра.

2. Щетка по п,1, отличающаяся тем, что держатели и средство их соединения между собой выполнены из химически стойкого полимера, 18313 l 3

>Sa>3>3

1834313

1831313

Составитель M.Ñîíèíà

Техред М.Моргентал Корректор Н.Король

Редактор С.Кулакова

Производственно-издательский комбинат "Патент", г; Ужгород, ул,Гагарина, 101

Заказ 2532 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственногс комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Рауаская наб., 4/5