Электростатическая электронная линза

 

Использование: в электронной технике, BI частности в электронной приборостроительной промышленности при разработке электронно-лучевых приборов. Сущность изобретения: в электронной линзе, состоящей из набора плоскопараллельных электродов , отверстия во всех электродах выполнены в виде щелей, вытянутых в одном направлении и различающихся по форме. 1 ил.

союз советских

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)з Н 01 J 29/56

ГОСУДАРСТВЕН.ОЕ ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4779081/21

{22) 16,10.89 (46) 30.05.93. Бюл. М 20 (71) Новосибирский электротехнический институт (72) В.Г.Данилов и А.Ф.Еремина (56) Авторское свидетельство СССР

М 3666509, кл. Н 01 J 29/48, 1971.

Баранова Л.А., Явор С.Я. Электростатические электронные линзы. M.: Наука, 1986.

Изобретение относится к технике формирования пучков заряженных частиц и может быть использовано в электронной приборостроительной промышленности при разработке электронно-лучевых приборов.

Целью изобретения является обеспечение существенно различных по ве личине оптических сил в двух взаимно перпендикулярных плоскостях, а также получение малого уровня аберраций.

На чертеже приведена конструкция линзы, состоящей из трех плоскопараллельных пластин 1, 2, 3 с соосно расположенными в них отверстиями 4, 5, 6 соответственно, имеющими две плоскости симметрии. Размеры отверстий в двух взаимно перпендикулярных направлениях различны. Отверстие

5 в средней пластине 2 и отверстия 4, 6 в крайних пластинах 1, 3 различаются по форме. Все отверстия выполнены вытянутыми в . одном и том же направлении (Y).

Я2 1818642 А1 (54) ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ ЛИНЗА (57) Использование, е электронной технике, в частности в электронной приборостроительной промышленности при разработке электронно-лучевых п1зиборов. Сущность изобретения: в электронной линзе, состоящей из набора плоскопараллельных электродов, отверстия во всех электродах выполнены в виде щелей, вытянутых в одном направлении и различающихся по форме. 1 ил.

Устройство работает следующим образом. На две группы электродов, одна из которых образована четными по ходу луча, а другая — нечетными пластинами, подают напряжение (см. чертеж). Сложное электрическое поле, формируемое в плоскостях Х и Y, QO при укаэанном включении обеспечивает а разные по величине поперечные силы во Q(j взаимно перпендикулярных плоскостях. О

Различие отверстий по форме обуслав- р ливает появление квадрупольной составляющей поля линзы. Особенно это характерно для линз, у которых кривизна продольных краев отверстий имеет разный знак кривизны (как показано, например, на чертеже).

Такое поле можно представить как суперпоэицию двух полей: одно — поле плоскостной симметрии (поле цилиндрической линзы) и второе — поле с двумя плоскостями симметрии (квадрупольная компонента). В такой линзе возможно получение различных по величине оптических сил в двух плоскостях.

1818642

Составитель В. Данилов

Техред М. Моргентал Корректор C. Пекарь

Редактор

Заказ 1939 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035. Москва. Ж-35, Раушская наб„4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул.Гагарина; 101

Если все отверстия в электродах вытянуты в одном направлении, то получается линза, близкая к цилиндрической. у которой оптическая сила в одной плоскости будет мала. Аберрации такой линзы приближаются к уровню аберраций цилиндрических линз, При умеренной вытянутости и крутых формах отверстий с кривизной разного знака получаем большой уровень квадрупольной составляющей. Наличие квадрупольной составляющей поля в предлагаемой линзе делает ее параметры похожими на параметры скрещенных линз (квадрупольных), отличающихся большой величиной оптических сил при малом уровне аберраций.

Предлагаемая линза является кэк бы промежуточной между цилиндрической и скрещенной линзами и обеспечивает существенное различие по величине оптических сил в двух плоскостях при малом уровне аберраций.

Формула изобретения

Электростатическая электронная линза, содержащая набор плоскопараллельных пластин с соосно расположенными отверстиями, имеющими две плоскости симметрии, причем размеры отверстий в двух взаимно перпендикулярных направлениях

"0 различны, отличающаяся тем, что, с целью получения существенно различных по величине оптических сил в двух взаимнб перпендикулярных плоскостях и сниженйя аберраций, отверстия во всех пластинах вы-

"5 полнены вытянутыми в одном и том же направлении, при этом отверстие у одного иэ каждых двух соседних электродов выполнено с шириной, возрастающей от центра к периферии отверстия, а у второго — с убыва20 ющей.