Свч-контактное устройство

 

Использование:.в области радиотехники в производстве полупроводниковых приборов и монолитных интегральных схем для измерения их параметров. Сущность изобретения.: в контактное устройство, содержащее диэлектрическую подложку с входным и выходным копланарными отрезками , введен смеситель частоты, один из входов которого соединен непосредственно с контактирующими элементами, другой с выходами введенного умножителя частоты, вход которого и выход смесителя соединены с входным и выходным копланарными отрезками соответственно. 3 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР г,, (НИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ ".-""ы (ГОСПАТЕНТ СССР)

ОПИСА

К ПАТЕНТУ (21) 4921973/09 (22) 25.03,91 (46) 07.04.93, Бюл. ¹ 13 (71) Центральный научно-исследовательский институт измерительной аппаратуры (72) А.И.Трошин (73) Центральный научно-исследовательский институт измерительной аппаратуры (56) Авторское свидетельство N 1429200, кл, Н 01 P 5/08, 1987. (54) СВЧ-КС}НТАКТНОЕ УСТРОЙСТВО (57) Использование: в области радиотехники в производстве полупроводниковых приИзобретение относится к области радиотехники и может использоваться в производстве полупроводниковых приборов и монолитных интегральных схем для измерения их параметров.

Целью изобретения является расширение рабочей полосы в область очень высо-. ких частот.

На фиг,1 представлено контактное устройство, вид снизу; на фиг.2 — контактное устройство, вид сверху; на фиг.3 — контактное устройство, вид сбоку.

Контактное устройство состоит из входной коаксиальной линии 1, соединенной через 50-омный входной копланарный отрезок 2 с входом (п — 1) кратного умножителя частоты 3, выход которого соединен через металлизированное отверстие 4 в диэлектрической подложке 5 с одним из входов смесителя 6, другой вход которого соединен непосредственно с контактирующими элементами 7, выход смесителя 6 со„„Я „„1808150 А3 (я)5 Н 01 P 5/08, G 01 R 27/32 боров и монолитных интегральных схем для измерения их параметров. Сущность изобретения: в контактное устройство, содержащее диэлектрическую подложку с входным и выходным копланарными отрезками, введен смеситель частоты, один из входов которого соединен непосредственно с контактирующими элементами, другой с выходами введенного умножителя частоты, вход которого и выход смесителя соединены с входным и выходным копланарными отрезками соответственна.

3 ил, единен через 50-омный выходной копланарный отрезок 8 с выходной коаксиальной линией 9.

На умножитель частоты 3 и смеситель 6 подается питание 10 и 11 соответственно, Устройство работает следующим образом: СВЧ сигнал от микроволнового генератора подается на вход делителя, на выходе которого снимается два сигнала. Один преобразуется в сигнал кратностью n f и поступает на вход измеряемого устройства.

Другой, подается на вхад1, затем через

50-омный копланарный волновод 2 сигнал частотой f поступает на вход (n — 1) кратного умножителя частоты 3, где преобразуется в сигнал кратности (п — 1) f.

С выхода умножителя 3 сигнал подается на адин из входов смесителя 6, на другой вход которого через контактирующие зле1808150 менты 7 и измеряемый СВЧ-прибор подается сигнал кратности nf. Риг, f

Составитель А.Трошин

Редактор Л.Волкова Техред M.Моргентал . Корректор Е.Папп

Заказ 1401 Тираж Подписное

ВИИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035. Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина. 101

На выходе смесителя 6 снимается сигнал промежуточной частоты, частота которого на много ниже частоты измерения.

Промежуточный сигнал через 50-омный копланарный волновод 8 поступает на выходную коаксиальную линию 9.

Использование данного контактного усTpoAcTBG позволит расширить функциональные возможности, то-есть осуществлять съем сигнала и применять при измерении СВЧ-параметров структур миллиметроеого диапазона стандартную КИА (генераторы, измерители мощности и др,) и

СВЧ-узлы (аттенюаторы, ответвители и др.) микроволновоro диапазона, тем самым снизив затраты на разработку новых приборов.

Формула изобретения

СВЧ-контактное устройство содержащее диэлектрическую подложку лицевой стороне которой размещен входной копланарный отрезок, контактирующие элементы и выходной копланарный отрезок, о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с целью расширения рабо- . чей полосы s область очень высоких частот, введен умножитель, который расположен на

"0 лицевой стороне диэлектрической подложки и подключен входом в входному копланарному отрезку, а выходоМ вЂ” к одному входу введенного смесителя, другим входом подключенного к контактирующим элементам, а выходом — к выходному копланарному отрезку, при этом выходной копланарный элемент, смеситель и контактирующие элементы расположены на оборотной стороне диэлектрической подложки.