Многоместный держатель подложек

0 Л И С А Н И Е I84947 изоы етиния к лвто скомь свидетельствь

Союз Соеетокиз

Социелистичеокиа

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Кл. 21а4, 75

Заявлено 28Х.1965 (¹ 1009979/26-9) с присоединением заявки ¹

Приоритет

Опубликовано ЗО.VII.1966. Бюллетень № 16

Дата опубликования описания 28.IX.1966

Комитет по делам иаобретеиий и открытий при Соеете Миииотроо

СССР

МПК H Оlп

УДК 621.3.049.75.002.2 (088.8) Авторы изобретения

В. А. Чирков и М. Г. Дрябина у, ч

Заявитель

МНОГОМЕСТНЫЙ ДЕРЖАТЕЛЬ ПОДЛОЖЕК

Предмет изобретения

Известные многоместные держатели подложек, предназначенные для напыления микросхем и содержащие фиксаторы, не позволяют с достаточной точностью фиксировать и прижимать подложки в процессе производства микросхем.

В предлагаемом держателе повышение надежности фиксации подложек достигнуто использованием в качестве фиксаторов штырей крестообразной формы, снабженных пазами, в которых размещены волнистые пружины.

На чертеже изображен описываемый держатель.

В основании 1 держателя выполнены отверстия под штыри 2 крестообразной формы.

Штыри служат фиксаторами подложек > и снабжены пазами 4, где размещены волнистые пружины 5.

Основание изготовляется из материала с хорошей теплопроводностью для поддержания одинаковой температуры в различных местах всех закрепленных подложек. Последние фиксируются на плоскости основания благодаря крестообразной форме штырей и прижимаются к основанию волнистыми пружинами через круглые головки штырей. Пружины продеваются через пазы 4 так, что каждый их гребень упирается в штырь, а каждая впадина — в основание.

Многоместный держатель подложек, предназначенный для напыления микросхем и соlь держащий фиксаторы, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности фиксации подложек, в нем в качестве фиксаторов использованы штыри крестообразной формы, снабженные пазами, в которых размещены

20 волнистые пружины.

184947

Составитель Л. Матевосов

Редактор Л. А. Ильина Техред Т. П. Курилко

Корректоры: Л. Е. Мариси1 и Е. Д. Курдюмова

Заказ 2724/11 Тираж 1175 Формат бум. 60;к,90 /з Объем 0,13 изд. л. Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2