Ионно-эмиссионный микроскоп

О П И С А Н И Е 184366

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Colas Советских

Социалистических

РеслтСлии

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 25.1Х.1964 (№ 922317/26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 21 VII.1966. Бюллетень № 15

Дата опубликования описания 10.IX.1966

Кл. 2lg, 37/01

МПК Н 011

УДК 621.385.833(088.8) Комитет ао делам изоорвтений и открытий ори Совете Министров

СССР

Лвторы изобретения

Ю, М. Кушнир, Л. Б. Розенфельд, Г. В. Дер-Шварц и Н. Б.":;Кагатт ,т.у ;.-; „.

Заявитель

ИО Н HO-ЗМИт.с И О Н И Ы Й М И КРОС КО П

Известны иопно-эмиссионные микроскопы, содержащие аксиально-симметричную электростатическую систему, диафрагму, устройство, выделяющее из ионного пучка ионы определенной массы, коллектор ионов, усилитель и регистрирующее устройство.

В этих микроскопах устройство, анализирующее пучок вторичных ионов по массам, эмиттировапных с поверхности исследуемого объекта, выполнено в виде магнитного сектора и установлено непосредственно за иммерсионным объективом.

Предлагаемое устройство дает возмо>кность наблюдать объект как с использованием полного спектра эмиттированных им ионов, так и с использованием ионов, выделенных устройством, анализирующим ионный пучок по массам.

В предлагаемом микроскопе установлена схема развертки, синхронизированная с регистрирующим устройством и пропускающая увеличенное ионное изображение поэлемептно через диафрагму, а устройство, выделяющее из ионного пучка ионы определенной массы, установлено между диафрагмой и коллектором ионов (например, первым динодом вторично-электронного умно>кителя) . Такая конструкция позволяет повысить разрешение микроскопа и наблюдать распределепие различных химических элементов по поверхности образца.

На чертеже изображена схема предлагаемого ионно-эмиссионного микроскопа, С помощью аксиально-симметричной оптической системы формируется изображение в ионах, идущих от объекта. В плоскости I, где формируется конечное изобра>кение объекта, па пути ионов установлена диафрагма 2 с диаметром отверстия, равным величине разрешаемого расстояния микроскопа, умноженной на электронно-оптическое увеличение в плоcKocT I | ди а фр а гili bI. С II o il o III b10 системы р а 3вертки > через диафрагму поочередно пропускаются пучки ионов, формирующие изображение отдельных элементов обьекта.

Ионный пучок, прошедший через диафрагму 2, попадает на коллектор ионов 4 (например, первый динод вторично-электронного умножителя), соединенный с усилителем б.

При этом на вход усилителя б поступают импульсы тока, амплитуда которых пропорциональна ионному току, создаваемому соответствующими элементами объекта.

Усиленный сигнал подается па регистрирую.цее устройство б, с которым синхронизирована система развертки >. В результате в регистрирующем устройстве б (например, на экране кинескопа) получается ионно-эмиссп.

30 онное изображение объекта, 184366

Составитель T. М. Горчакова

Редактор И. Г. Карпас Техред Г. Е. Пегровская Корректор В. В. Крылова

Заказ 2537/9 Тираж 1550 Формат бум. 50X90 /8 Объем 0,16 изд. л. Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, д. 2

Установив непосредственно за диафрагмой

2 устройство 7, анализирующее ионный пучок по массам, и настроив его на ионы определенного химического элемента, можно получить в регистрирующем устройстве б изображение объекта в выделенных ионах, то есть распределение определенного химического элемента по поверхности объекта.

Предмет изобретения

Ионно-эмиссионный микроскоп, содержащий аксиально-симметричную электростатическую оптическую систему, диафрагму, устройство, выделяющее из ионного пучка ионы определенной массы, коллектор ионов (например, первый динод вторично-электронного умножителя), усилитель, регистрирующее устройство, отличающийся тем, что, с целью повышения разрешения микроскопа и наблюдения распределения различных химических элементов по поверхности образца, в нем установлена система развертки, синхронизированная с регистрирующим устройством и пропускающая увеличенное ионное изображение поэлементно через диафрагму, а устройство, выделяющее из ионного пучка ионы определенной массы, установлено между диафрагмой и коллектором ионов.