Зеркальный электронный микроскоп

I84365

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советскиз

Социалистический

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 14.Х.1965 (№ 1031417/26-25) Кл. 21g, 37/01 с присоединением заявки №

Приоритет

МПК H 011

УДК 621,385,833(088.8) Комитет по делам кзобрвтекий и открытий при Совете Мииистров

СССР

Опубликовано 21.Ч11.1966. Бюллетень № 15

Дата опубликования описания 26.IX.1966

BXCAK .;.;:т,;, с;

P. Д. Иванов, M. Г. Аоалмааова в И. А. Чвл В1н

", ЕУ-;.;Г <, Авторы изобретения

Заявитель

ЗЕРКАЛЬНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП

Предмет изобретения

Известны зеркальные электронные микроскопы с пятиэлектродным иммерсионным объективом. В этих микроскопах объектив закреплен в колонне микроскопа жестко.

В предложенной конструкции объектив за- 5 креплен в колонне микроскопа с помощью амортизирующей подвески, что позволило значительно снизить астигматизм электронно-оптической системы и, таким образом, повысигь разрешающую способность микроскопа. 10

На чертеже изображен микроскоп в разрезе.

Плато 1, на котором крепится и предварительно юстируегся пятиэлектродный иммерсионный объектив 2, опирается на выступы колонны 3 с помощью болтов 4, закрепленных 15 внутри возвратных пружин 5. Это дает возможность двумя ручками б с эксцентриками, расположенными под углом 90 относительно друг друга, менять угол наклона объектива относительно оптической оси микроскопа до 7 .

Зеркальный электронный микроскоп, содержащий колонну с пятиэлектродным иммерсионным объективом, отличающийся тем, что, с целью повышения разрешения микроскопа, пятиэлектродный иммерсионный объектив закреплен в колонне с помощью амортизирующей подвески.

184365

Составитель Т, М. Горчакова

Редактор И. Г. Карпас Техред Г. Е. Петровская Корректоры: Е. Д. Курдюмова и О. Б. Тюрина

Заказ 2536/16 Тираж 1550 Формат бум. 60+90/8 Объем 0 13 изд. л. Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2