Устройство для измерения толщины слоя

Авторы патента:

G01B7/06 - для измерения толщины

Союз Советских

Социалистических

Республик

ОП ИСАН И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 15. IV.)965 (№ 1005739/25-28) Кл. 42b, 12/03 с присоединением заявки №

Приоритет

Комитет по делам изобретений и открытий пои Совете Министров

СССР

МПК G 0)b

УДК 681.2.083.8:621.3. .011.4-531.717.11 (088.8) Опубликовано 25.Ч,1966. Бюллетень № 11

Дата опубликования описания 22Х11.19бб

УСТРОЙ СТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕН ИЯ ТОЛЩИНЫ СЛОЯ

МЕТАЛЛИЧЕСКОГО ПОКРЫТИЯ

Предмет изобретения

Известны устройства для контроля и измерения толщины металлического слоя, нанесенного на металлические основания (пластины, проволоку), в которых применен емкостной способ измерения. Такие устройства содержат емкостной датчик, высокочастотный генератор и индикатор. Однако их нельзя применить для непрерывного измерения при нанесении металлических слоев на изделия различной формы в вакууме методом вакуумной металл изации.

Предлагаемое устройство в отличие от известных позволяет производить непрерывные измерения толщины наносимого слоя непосредственно в вакууме. Это достигается благодаря тому, что оно снабжено электродвигателем переменного тока, а датчик выполнен в виде установленного на валу ротора электродвигателя обтюратора. Последний является подвижным электродом, в качестве неподвижного электрода используется контрольная пластинка, на поверхность которой напыляется измеряемый слой металла.

На чертеже представлена принципиальная схема устройства.

Датчик устройства представляет собой конденсатор, состоящий,из,контрольной пластины 1, на которую в процессе напыления осаждается слой металла, и диска-обтюратора 2, установленного,на валу якоря электродвигателя 3.

В процессе работы датчика измеряется эквивалентное емкостное сопротивление конденсатора, образованного обтюратором 2 и контрольной пластиной 1 .на частоте ВЧ-генератора 4, стабилизированного кварцем. Частота генератора вЂ” около 50 кги. Отсчет производится непосредственно по шкале измерительного индикаторного прибора 5 в микронах. Перед началом измерений при помощи микрометрического винта между контрольной пластиной 1 и обтюратором 2 устанавливается определенный зазор, соответствующий выбранному диапазону измерений.

Устройство предназначено для измерений толщины от микрона до нескольких миллиметров.

Устройство для измерения толщины слоя металлического покрытия, содержащее емкостной датчик толщины покрытия с неподвижным электродом, высокочастотный генератор и индикатор, отличающееся тем, что, с целью непрерывного измерения толщины слоя покрытия при напылении его в вакууме, оно снабжено электродвигателем переменного

30 тока, а датчик выполнен в виде установлен182338

Составитель А. Васильев

Редактор Б. С. Нанкина Техред Г. Е. Петровская Корректоры; М. П. Ромашова и 3. М. Райнина

Заказ 1939/10 Тираж 1100 Формат бум. 60)(90 /8 Объем 0,13 изд. л. Подписное

ЦНИИПИ Комитета по д лам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2 ного на .валу ротора электродвигателя дискаобтюратора, являющегося подвижным электродом, и контрольной пластинки (неподвижный электрод), на поверхность которой напыляется измеряемый слой металла, а в непосредственной близости от этой пластинки устанавливается объект, на который напыляется металлическое покрытие.

Похожие патенты:

Патентно- tn^"^ ' // 181364

Токовихревой прибор для измерения толщины и удельного сопротивления листа // 181306

Индуктивно-емкосгный да;'члк для бесконтакгного // 180808

Датчик для контроля пара/'летров горячих изделий // 180807

Устройство для контроля толщины // 180658

Устройство для измерения толщины покрытия:-яа // 179943

Устройство для измерения толщины эластичных материалов // 179476

Хкичсскай ' "biiu.iiiu i t:i\rt // 179001

Патент 178495 // 178495

Электромагнитный дефектоскоп // 177132

Термозонд для неразрушающего контроля толщины защитных пленочных покрытий // 2101674

Изобретение относится к измерительной технике и может найти широкое применение в системах неразрушающего контроля и измерений толщины пленочных покрытий

Устройство для измерения толщины плоского изделия и способ его реализации // 2107257

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения геометрических размеров плоских изделий, и может быть использовано при измерении толщины плоских изделий из диэлектриков, полупроводников и металлов, в том числе полупроводниковых пластин, пластических пленок, листов и пластин

Устройство для определения наличия и толщины пленки электролита на поверхности металлических объектов // 2107891

Вихретоковое устройство для неразрушающего контроля // 2111482

Индукционный датчик контроля толщины металлических покрытий // 2112919

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для контроля толщины металлических покрытий в процессе их образования, например, на металлических деталях, в частности, при нанесении покрытий из паровой фазы пиролитическим способом

Неразрушающий способ определения деформирующей способности технологических остаточных напряжений // 2113691

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения деформирующей способности технологических остаточных напряжений в поверхностном слое изделий из металлов и сплавов с различными электромагнитными свойствами

Устройство для измерения толщины проводящего покрытия с непосредственным отсчетом // 2128818

Изобретение относится к неразрушающим методам контроля качества и геометрических размеров изделий и может быть использовано для измерения толщины проводящих покрытий

Магниторезистивный элемент и способ его получения // 2128819

Изобретение относится к электронной технике и электротехнике и может быть использовано, в частности, в качестве датчиков магнитного поля или тензодатчиков

Электромагнитный толщиномер // 2129253

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения толщины различных покрытий на цилиндрических металлических основах

Измерительное устройство // 2133448

Изобретение относится к измерительной технике, а более конкретно к методам и техническим средствам для контроля толщины твердых и полутвердых защитных покрытий, изоляционных слоев, жировых отложений, смазочных и лакокрасочных пленок на электропроводящей, в частности, металлической основе