Электроннолучевой испаритель
Oaas Советскик
Социалистическик
Реопублин
Зависимое Ol авт. свидетельства М
Кл. 49m, 2/02
21О, 21/01
Заявлено 12.Х.1964 (№ 925207/26-25) с присоединением заявки М
Приоритет
Опубликовано 21.1 1 l.1966. Бюллстс1 ь ¹ 7
Комитет по делам изооретений и открытий при Совете Министров
СССР
Дата опубликования описания 4Л .1960 авторы изобретения
В. T. Атаманенко и В. П. Белевский
Заявитель
ЭЛЕКТРОННОЛУЧЕВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ системы имеют по обеим сторонам срезы, форма которых определяет магнитное поле, фокуспрующее пучок. В испарителе применен трех электродный щелевой прожектор с оптикой
Штайгервальда.
Предмет изобретения
Электроннолучевой испаритель с мапгнтной фокусировкой ленточного электронного пучка и электростатическим управлением, отлачаюи ппсл тем, что, с целью повышения производительности напыления, он содержит двухстороннюю мапштную систему, полюсные наконечники которой имеют фокусирующие срезы по обеим сторонам.
При напылении элементов микросхе:; часто возникает необходимость испарения нескольких разнородных металлов без нарушения вакуума. В этих случаях применяют поворотные многопозиционные тигли.
Для устранения перестановок тиглей и связанного с этим усложнения испарителя предлагают переводить электронный пучок с одного тигля на другой с помощью двухсторонней магнитной системы путем изменения направления тока в обмотке ее электромапшта. При этом, кроме переключения электрон.юго пучка из одного положения в другое, осуществ lslloT одновременно поворот на 180 и стягивание ленточного пучка электронов.,Это происходит благодаря тому, что полюспые наконечники, 11ПК В 23р
1-1 01) УД1, 621.9.048:621.3.044.61 (088.8)
