Автоколебательный вибратор

1779954

10 дополнительную мембрану, в результате деформации мембран и периферийных оснований токопроводящая втулка переместится таким образом, что емкость конденсатора С7 - в увеличится, а емкость конденсатора С7- g уменьшится. При В03действии максимальной разницы давлений, воздействующих на основную мембрану и дополнительную мембрану, токопроводящая втулка примет положение, изображенное на фиг, 3 б, При этом емкость конденсатора С7 - в будет максимальна, а .емкость конденсатора С7- g минимальна и равна О. B случае превышения давления, действующего на дополнительную мембрану, в результате деформаций мембраны и периферийных оснований токопроводящая втулка переместится таким образом, что емкость конденсатора С7 - в уменьшится, а емкость конденсатора С7 — g увеличится. При максил альном превышении давления, воздействующего на дополнительную мембрану, давления, воздействующего на основную мембрану., токопроводящая втулка примет поло>кение,изображенное на фиг, 3 в. При этом емкость конденсатора С7 - я будет минимальная, а емкость конденсатора С7 - g максимальная и равна О. Электроды конденсаторов электрически связаны с контактами

14 гермоколодки 15. Измерял значения емкостей конденсаторов Су — в и С7- g, ожно однозна но судить о соотношениях давлений, воздействующих на основную и дополiiMTPëüíólo мембраны.

Такил1 образом, з зависимости от соотношений давлений, действу,ощих на основную и дополнительну о мембраны, емкость конденсаторов С7 - я и С7 - 9 мОКОтОннО меняется от 0 до Màl:ñиMàëüíi:lx значений, что, во-первых, говорит об однозначном соответствии величин емкости измеряемым давлениям, а во — вторы Ä 100 модуляции величин емкостей конденсаторов измеряемым давлением. В связи с те 1, что в качестве давления, воздействующего на дополнительну о мембрану, мо>кет выступать как давление окру>кающей датчик атмосферы, так и nioboe другое давление, изолированное от давления, воздействующего на основную мембрану, заявляемый датчик может измерять как избыточное давление, так и разность давлений, Причем вазможность-. измерения избыточного давления или разности давления в заявляемой конструкции достигается без применения дополнительной нейтральной жидкости со всеми присущими ей недостатками, связанными со сложностью заполнения и герметизации заполненных жидкость о полостей, а также уменьшением чувствительности и ухудшеf5

ЗО

55 нием точности, вызванных неидентичностью характеристик этой жидкости Другим преимуществом заявляемой конструкции является повышение технологичности за счет исключения трудноуправляемых технологических процессов подготовки поверхностей, напыления диэлектрических и электродных слоев, выставления межэлектродных зазоров, устранения необходимости использования сложного и дорогого оборудования. Преимуществом заявляемой конструкции является также повышение чувствительности вследствие увеличения емкости за счет увеличения площади электродов иэ — за их непланарного размещения и за счет увеличения емкости электродов вследствие повышения диэлектрической проницаемости ме>кэлектродн ых зазоров, вследствие применения материалов с диэлектрической проницаемостью, превышающей диэлектрическую проницаемость вакуума или воздуха, которые в прототипе применяются в качестве межэлектродной среды.

Формула изобретения

Емкостный датчик давления, содер>кащий корпус, первую мембрану с жестким центром и опорным периферийным основанием, располо>кенный на мембр-не диск и емкостный преобразователь деформации, отличающийся тем, что, с целью расширения области применения, повышения технологичности и чувствительности, в него введены вторая мембрана, идентичная первой и расположенная зеркально сил метрично ей, диэлектри еская втулка и две упругие втулки, диск закреплен ;:; е>кду жесткими центрами мембран, а емкостный преобразователь деформации выпол ен в виде трех цилиндрических электродов, первый из которых своей срединной частью жестко соединен с диском по его периферии и электрически изолирован от него, а второй и третий электроды выполнены в виде од;— наковых колец, расположенных с зазором относительно друг друга на диэлектрической втулке, закрепленной концентрично первому электроду на упругих втулках, жестко соединенных с периферийньн и основанияMè мембран, причем внутреHíèé диаметр диэлектрической втулки равен наружному диаметру первого цилиндрического электрода, срединная часть которого расположена напротив зазора между вторым и третьим электродами, при этом геометрические размеры электродов связаны следующими соотношениями:

Н1= Нг, з+ S, Нг,з=2 М, 1779958

Составитель В,Волков

Техред M,Mîðãeíòàë Корректор В.Петраш

Редактор

Заказ 4430 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, )l(-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 ь где Нf — ширина первого цилиндрического электрода;

Н, з — ширина второго и третьего электродов; А-А

S — величина зазора между вторым и третьим электродами;

М вЂ” максимальная величина перемещения первого электрода при максимальном

5 давлении.

SU 1779959A1

Batch : N0115137

Date : 31/05/2001

Previous document : SU 1779958A1

Next document : SU 1779960A1

Number of pages : 4

3 II