Способ контроля герметичности электровакуумных приборов
Использование: контроль герметичности электровакуумных приборов. Сущность: измеряют катодный ток до прогрева электровакуумного прибора. Прогревают электровакуумный прибор и повторно измеряют катодный ток после прогрева. Сопоставляют величины токоотбора в диодном режиме при номинальном напряжении накала до и после прогрева. Прогрев проводят в атмосфере водорода при температуре от 100 до 150°С в течение не менее 2 ч, Повторное измерение катодного тока осуществляют через интервал времени не более 1 ч после окончания прогрева. При изменении катодного тока более чем на ±20% делают вывод о негерметичности оболочки прибора. сл
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (я)з G 01 М 3/40
ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ
ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ,,„.„, @ещ, «И/)«® р
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
0,9 — (2 11, (21) 4914943/28 (22) 31.01.91 (46) 30.11.92. Бюл. 1ч 44 (71) Специальное конструкторское бюро при
Полтавском заводе "Знамя" (72) В,Я.Чабань и А,П.Марыненко (56) Шелканов Г,П. и др. Способы обнаружения медленных натеканий с применением избыточного давления, Электронная техника, сер. Электроника СВЧ, 1968, М 3, с. 157-160.
Авторское свидетельство СССР
М 1396849, кл. Н 01 J 9/42, 1985 r. (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ГЕРМЕТИЧНОСТИ ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫХ ПРИБОРОВ
Изобретение относится к электронной технике, в частности к производству электровакуумных приборов (ЭВП), Наиболее распространенный метод контроля герметичности с помощью гелиевого течеискателя обладает ограниченной чувствительностью и может использоваться лишь до откачки ЭВМ, Известен способ обнаружения медленных натеканий откачанных ЭВП с применением избыточного давления.
Недостатком такого способа .является его применение только для контроля приборов, имеющих встроенный электроразрядный насос, что существенно ограничивает область его использования.
Наиболее близким техническим решением, выбранным в качестве прототипа, яв. Ж 1778598 А1 (57) Использование: контроль герметичности электровакуумных приборов. Сущность: измеряют кэтодный ток до прогрева электровакуумного прибора, Прогревают электровакуумный прибор и повторно измеряют кэтодный Tok после прогрева. Сопоставляют величины токоотбора в диодном режиме при номинальном напряжении накала до и после прогрева. Прогрев проводят в атмосфере водорода при температуре от 100 до 150 С в течение не менее 2 ч, Повторное измерение катодного тока осуществляют через интервал времени не более 1 ч после окончания прогрева. При изменении катодного тока более чем на +20g, делают вывод о негерметичности оболочки прибора. ляется способ контроля герметичности
ЭВП, включающий два последовательных замера катодного тока, при номинальном напряжении накала и климатическое воздействие между этими двумя замерами, причем к годным относят приборы, у ко торых катодный ток при повторном измереник удовлетворяет выражению где 11 — катодный ток при первом измере° нии;
12 — катодный ток при втором измерении.
Недостатками способа я вл я ются: недостаточная чувствительность, связанная с низкой проникающей способностью че1778598 рез стенки оболочки ЭВП основных компонентов атмосферного воздуха (азот, кислород) при климатических испытаниях; высокая стоимость и продолжительность испытв lNA (более 48 ч); разрушающий хара -ep контроля иэ-за коррозии материалов при длительном климатическом воздействии, Цель изобретения состоит в создании высокочувствительного, эффективного -и оперативногQ метода выявления откачанных ЭВП, имщощих малые течи через вакуумную оболочку, находящиеся ниже порога чувствительнос1-и известных средств и методов течеискания, а также в определении потенциально ненадежных приборов, имеющих закупоренные течи, Пес-гаг;,;:,-,!!нал цель достигается тем, !To по пр,:.длагаемому способу контроля гермети ности =.,ÁÏ сначала иэмерягот катодный ток г ри номинальном напря>кении накала в диодном ре>киме, а затем осуществляют прогрев последнего в атмосфере во-. дорода при температуре от 100до 150 С в течение но моне1=. 2 ч, затем повторно измеряют католнML ток через интервал времени не более 1 ч после окончания прогрева, а о негерметичности оболочки прибора делают вывод при изменении катодного тока более чем на >-20у, Изменение тока катода имеет место в случае проникновения водорода в рабочий объом прибора через дефекты конструкционных материалов и паяные со. единения. Эффективность предлагаемого способа обусловлена следующими обстоятельствами; водород обладает на несколько порядков большей проникающей способностью через современные конструкционные материалы (металлы, различные типы керамики) по сравнению с другими газами, из-за значительного влияния парциального давления водорода на эмиссионну о активность наиболее распространенных термокатодов (оксидных, металлопористых и т.д.) имеет место резко выраженный характер изменения эмиссии катода как в сторону увеличения, так и в сторону уменьшения в зависимости от ве-личины этого давления и технологических параметров изготовления катода; защит"ная атмосфера водорода при прогреве гарантирует неразрушающее воздействие контроля на конструкцию изделия. Температура прогрева должна превышать
100 С, что обусловлено необходимостью испарения частиц влаги, эакупоривающих дефекты оболочки. Верхний предел температуры прогрева ограничен допустимым температурным диапазоном применяемых конструкционных материалов изделия, Продолжительность прогрева в водо5 роде должна гарантировать индикацию натекания и составлять не менее 2 ч. 3амер катодного тока после прогрева должен производиться с минимальным . интервалом во времени, чтобы избежать
10 поглощение водорода внутриламповыми деталями.
Напряжение анода и величина тока катода при замерах выбираются для каждой конкретной конструкции ЭВП
15 из условия минимального разогрева анода и возможного стравливающего воздействия на катод, выделяющихся газов, что могло бы привести к искажению результатов контроля. Предлагаемьгй
20 способ приводит к достижению поставленной цели, Пример, На катод подавали напряжение накала 6,3 В, на анод — напряжение
200 В. Выдерживали в течение 1 мин, за25 тем фиксировали величину катодного тока
3 мА, проводили прогрев в водороде при температуре 150 С в течение 2 ч, Прибор вынимали из водородной печи и затем . вновь подавали накал 6,3 В и анодное
30 напряжение 200 В в течение 1 мин. Измеряли катодный ток, который составил 4 . мА, Величина токоотбора изменилась в сторону увеличения на 25 ь. Прибор забракован иэ-за негерметичности оболоч35 ки.
Использование предлагаемого способа неразрушающего контроля герметичности ЭВП позволяет по сравнению с существующими повысить чувствитель40 -ность течеискания и выявлять приборы со скрытым браком по герметичности на конечных технологических стадиях их изготовления, что дает значительный экономический эффект.
Формула изобретения
Способ контроля герметичности электровакуумных приборов путем измерения ка50 тодного тока при номинальном напряжении накала в диодном режиме, прогрева прибора, повторного измерения катодного тока после прогрева и сравнения измеренных значений тока, отл и ч а ю щи и с я тем, 55- что, с целью повышения чувствительности ul . исключения разрушения прибора, прогрев осуществляют в атмосфере водорода при . 100 — 150 С не менее 2 ч, повторное измерение катОдного тока осуществляют через
1778598 . 6 интервал времени не более 1 ч после окон- лочки прибора делают вывод при изменечания прогрева, а о негерметичности обо-: . нии катодного тока более чем на +U03.
Составитель А, Мартыненко
Редактор Л. Купрякова Техред М.Моргентал Корректор g, Яуллв
Заказ 4186 Тираж Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва. Ж-35. Раушская наб., 4/5
Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101
![Способ контроля герметичности электровакуумных приборов](https://img.poleznayamodel.ru/img_pat/760/7604454-s.jpg)
![Способ контроля герметичности электровакуумных приборов](https://img.poleznayamodel.ru/img_pat/760/7604455-s.jpg)
![Способ контроля герметичности электровакуумных приборов](https://img.poleznayamodel.ru/img_pat/760/7604456-s.jpg)