Экран цветной электронно-лучевой трубки и способ его изготовления

 

Использование: цветные электроннолучевые трубки Сущность изобретения экран содержит люминофорную структуру, пленку алюминия и поглощающий слой на основе хрома, никеля, их окислов и нитридов . Между алюминиевой пленкой и поглощающим слоем введен согласующий слой на основе хрома и кремния. Приведены выражения для выбора его толщины. Согласующий слой изготавливают путем магнетронного распыления хромкремниевой мишени с содержанием хрома 15-48 мас.% в среде Аг. Поглощающий Слой наносят реактивным магнетронным распылением той же мишени в среде, дополнительно содер жащей кислород и азот. Указаны режимы напыления 1 ил , 1 табл.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (si)s Н 01 3 29/10, 9/22

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ (21) 4791180/21 (22) 08.12,89 (46) 30.07.92. Бюл. М 28 (71) Обьединение "МЭЛЗ" (72) M.È,Êîðoáîâ и Л.Н.Линник (56) Патент США N 3703401, кл. Н 01 J 3/06, опублик, .1972.

Патент США М 4623820, кл. Н 01 J 29/10, опублик, 1986.

2.5 10 = дс/дп 16;

5,5 10 "- дсМп - - 14

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (54) ЭКРАН ЦВЕТНОЙ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЙ ТРУБКИ И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ (57) Использование: цветные электроннолучевые трубки. Сущность изобретения: экИзобретение относится к электронной технике и может быть использовано при изготовлении цветных электронно-лучевых трубок (ЦЭЛТ).

Целью изобретения является уменьшение газовыделения экрана и повышение прочности за счет физико-механической согласованности слоев его тонкопленочной композиции (для повышения, в, частности, устойчивости к механическим и температурным воздействиям).

На чертеже схематически изображен фрагмент экрана ЦЭЛТ .с антидоминговым покрытием.

Среди конструктивных элементов, которые могут быть использованы в предложенном экране ЦЭЛТ, целесообразно применять "черную матрицу" для увеличения контрастности изображения.

Антидоминговое покрытие 1 нанесено на алюминиевую пленку 2 на люминофорной структуре 3, расположенной на стеклян„„532„„1751825 А1 ран содержит люминофорную структуру, пленку алюминия и поглощающий слой на основе хрома, никеля, их окислов и нитридов. Между алюминиевой пленкой и поглощающим слоем введен согласующий слой на основе хрома и кремния. Приведены выражения для выбора его толщины. Согласующий слой изготавливают путем магнетронного распыления хромкремниевой мишени с содержанием хрома 15-48 мас. в среде Ar. Поглощающий слой наносят реактивным магнетронным распылейием той же мишени в среде, дополнительно содержащей кислород и азот. Указаны режимы напыления. 1 ил., 1 табл. ной панели 4 экрана, которые не отличаются от известных, Состоит антидоминговое покрытие 1 из поглощающего слоя 5 на основе хрома, кремния, их окислов и нитридов и дополнительного согласующего слоя 6 на основе ъ хрома и кремния, расположенного между ними. (л

Соотношение толщин да, дс, и дп соответственно алюминиевого, согласующего и поглощающего слоев при этом выбрано в пределах:

Так как составные компоненты материалов согласующего и поглощающего слоев существенно влияют на уменьшение газовыделения и физико-механическую согласованность антидомингового покрытия, они

1751825 указаны в формуле изобретения наряду с отличительными конструктивными признаками.

При необходимости повышения контрастности иэображения возможно также использование технологии нанесения "черной матрицы".

После нанесения алюминиевого слоя напускают в технологический объем аргон до давления Рдг в пзоеделах 2 10 мм рт,ст. Рд 5 10 мм рт.ст.

Магнетронным распылением хромкремниевой мишени с содержанием хрома . в пределах 15-48 вес. 7ь осаждают дополнительный согласующий слой в течение времени t> в пределах 2 с t< 20 с со скоростью V> нанесения в пределах 0,5 нм/с 5V> 10 нм/с.

Затем напускают в объем дополнительно кислородно-азотную смесь до суммарного с аргоном давления Р в пределах

4 10 мм рт,ст. < Р < 7 10 мм рт.ст при соотношениях давлений Рд аргона и Paz + gz кислородно-азотной смеси в пределах 0,2 < PAr/ Poz +Nz 9,3 и давлений Ро2 кислорода и Pgz азота в пределах 0,1 Ро2/Рм2 1,5.

Реактивным магнетронным распылением хром-кремниевой мишени осаждают поглощающий слой в течение времени tz в пределах 3 < tz < 25 со скоростью Vz нанесения в пределах 0,4 нм/с Vz 8 нм/с.

Эксперименты показали, что предельные величины параметров были получены путем анализа и статистической обработки экспериментальных данных, исходя из условия обеспечения минимальных значений газовыделения при достаточной физико-механической согласованности слоев и их прочности, предотвращающих разрушение антидомингoBol покрытия экрана ЦЭЛТ.

Предлагаемый экран ЦЭЛТ и способ его изготовления позволили нэ 3-4 порядка уменьшить гаэоотделение в ЭЛТ по сравнению, например, с широко используемым в экранах углеродным антидоминговым покрытием, Выход за предельные значения заявленных параметров приводит к первым признакам разрушения антидомингового покрытия. в именно к появлению нв нем трещин, и отделению от него небольших кусков (" посторонних частиц" в кинескопе), которые являются одной из важнейших причин брака в производстве известных ЭЛТ.

5,5 10 8с/(3п 14, 40 где д, — толщина алюминиевой пленки, мм; д, — толщина поглощающего слоя, м.

2. Способ изготовления экрана цветной электронно-лучевой трубки, включающий нанесение на люминофорную структуру органической пленки. алюмйниевой пленки, поглощающего слоя и последующее выжигание органической пленки. о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью. уменьшения гаэоотде50 ления и повышения прочности, после нанесения алюминиевой пленки в среде аргона при давлении 3 10 — 7 10 Па осуществляют нанесение дополнительного согласующего слоя методом магнетронного распыления хром-кремниевой мишени с содержанием хрома 15-48 мас., в течение

2-20 с со скоростью напыления 0.5-10 нм/с, затем в технологический объем дополнительно вводят кислородно-азотную смесь с

В таблице показаны примеры конкретного выполнения предложенных устройства и способа.

В качестве оптимального варианта указаны значения параметров, при соблюдении которых при минимальном газовыделении не возникало признаков разрушения антидомингового покрытия при имитации. самых жестких условий его изготовления и эксплуатации.

На практике достижение поставленной цели, а также снижение взаимосвязанных с нею типов брака "мал ток луча" и "появление посторонних частиц" было отмечено при использовании заявленных объектов в процессе изготовления опытных модернизированных образцов дисплейных кинеско-. пов 51ЛКД2Ц-С, экран и технологию изготовления которых можно считать базовым объектом предложенных технических решений, Формула изобретения

1. Экран цветной электронно-лучевой трубки, содержащий последовательно расположенные на подложке люминофорную структуру, алюминиевую пленку и поглощающий слой, о т л и ч a e шийся тем. что, с целью уменьшения газоотделения и повышения прочности, поглощающий слой выполнен из материала на основе хрома, кремния, их окислов и нитридов, а между алюминиевой пленкой и поглощающим слоем введен допОлнительно согласующий слой на основе хрома и кремния; толщина которого выбрана из выражений

2,5 10 =(Зс/Bд 16:

1751825

Составитель Н.Григорьева

Техред M,Ìoðãåíòàë Корректор М.Максимишинец

Редактор М,Бандура

Заказ 2696 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул.Гагарина, 101 отношением парциальных давлений кислорода и азота 0,1-1,5 до установления общего давления 6 10 -9 10 Па при отношении парциальных давлений аргона и кислородно-азотной смеси 0,2-9,3 и нанесение поглощающего слоя ведут методом реактивного магнетронного распыления той же мишени в течение 3-25 с со скоростью 0,4-0,8 нм/с,