Способ определения распределения температуры

 

Изобретение относится к технике определения температуры в высокотемпературных печах и позволяет повысить точность определения объемного распределения температуры в электронагревателях из карбида кремния. Способ контроля заключается в размещении образца, в качестве которого используют часть электронагревателя на основе пористого поликристаллического карбида кремния, от которого после проведения технологического процесса и определения температуры в точке отрезают пластину, изготавливают прозрачный шлиф По толщине вторичного (осажденного на зернах) карбида кремния определяют скорость массопереноса, строят график зависимости скорости массопереноса от координаты вновь образовавшегося слоя, по которому определяют градиент температуры и распределения температуры в зоне расположения образца. Изобретение позволяет контролировать качество изделий по структуре, а также определять температурное поле в изделии. « fc

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК (sI)s G 01 К 11/00

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1 (21) 4352005/10 (22) 29.12,87 (46) 15,07,92. Бюл. ¹ 26 (71) Всесоюзный институт йаучно-исследовательских и проектных работ огнеупорной промышленности и Ленинградский электротехнический институт им. В, И. Улья нова (Ленина) (72) Г.И. Кузнецов, В,И. Колынина, Ю,M. Таирои и В,Ф. Цветков (53) 536,5 (088.8} (56) Авторское свидетельство СССР № 246119, кл. G 01 К 11/00, 1968.

Геращенко О.А„Федоров В.Г. Тепловые и температурные измерения: Справ. рук-во, К, НД, 1965, с, 176. .: (54) СПОСОБ- ОПРЕДЕЛЕНИЯ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ТЕМПЕРАТУРЫ (57) Изобретение относится.к техйике определения температуры в высокотемпературных печах и позволяет повысить точность

Изобретение относится к технике опре. деления температуры в высокотемпературных печах.

Цель изобретения — повышейие точно. сти определения объемного распределения температуры в электронагревателях из карбида кремния.

Способ определения температурйого распределения основан на кинетическом анализе диффузионного массопереноса

" карбида кремния при изготовлении карби. докремниевых электронагревателей.

Способ осуществляют следующим образом, Обжигу подвергали заготовку электронагревателя из карбида кремния, для чего

»5U-,|> 1747948 А1

2 определения объемного распределения температуры в электронагревателях из карбида кремния. Способ контроля заключается в размещенйи образца,. в качестве которого используют часть электронагревателя на основе пористого поликристаллического карбида кремния, от которого после проведения технологического процесса и определения температуры в точке отрезают пластину., изготавливают прозрачный шлиф, По толщлйе вторичного (осажденного на зернах) карбида кремнйя определяют скорость массопереноса, строят график зависимости скорости массопереноса от координаты вновь образовавшегося слоя, по которому определяют градиент темпера-, 3 туры и распределения температуры в зоне расположения образца. Изобретение позволяет контролировать качество изделий по структуре, а также определять температурное поле в изделии. с его помещали в печь силйцирующето обжига, Обжиг проводили в засыпке прямым пропусканием тока заданной мощности в течение определенного времени, необходимого для обжига. Измерение температуры в точке образца на его поверхности измеряли пирометром через отверстие в графитовой трубке, вставленной перпендикулярно заготовке. После разгрузки отрезали от образца йластину; изготавливали прозрачный шлиф и под мйкроскопом определяли толщину осажденного вторичного карбида кремния в нескольких точках. Строили зависимость скорости роста толщины осажденного слоя нв время обжига от координаты слоя и по этой зависимости определяли температуру

1747948

Составитель В, Гусева

Техред М,Моргентал.

Корректор Н.Слободяник .

Редактор А. 0rap

Заказ 2495 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 обжига, т.е. ту, которую имел нагреватель в печи. В качестве основного измерительного параметра согласно способу измеряли толщину вторичного слоя осажденного карбида кремния на исходных кристаллах (зернах) карбида кремния, входящего в состав материала электронагревателя.

Способ применим для точного и проСтого айалйза распределения температур и тепловых полей при изготовлении изделий в вйсокотемпературных печах, где невозможно непосредственное измерение температуры. Способ позволяет повысить качество иэделий за счет контроля структурообразования, найти оптимальййй режим обжига, совершенствовать техйологию йолучения изделий необходимой структуры, Формула изобретения

Способ определения распределения температуры в образце, заключающийся в изготовлении из образца шлифа после ох5 лаждеиия последнего,отл и чаю щи и с я тем, что, с целью повышения точности определения распределения температуры по объему образца в виде электронагревателя из карбида кремния, измеряют на прозрач;

10 ном шлифе электронагревателя толщину вторичного слоя карбида кремния, осажденного на исходных зернах карбида кремния, : по которой определяют скорость массоперейоса в сечении образца. и по предвари15 тельно пблученной зависимости последней от коордийаты определяют распределение температуры.