Способ контроля анизотропии диэлектрической проницаемости диэлектрика
Изобретение относится к технике измерений и может использоваться в контроле анизотропии диэлектрической проницаемости в поперечно-неоднородных плоских структурах электромагнитными волнами СВЧ-диапазона. Цель изобретения - повышение чувствительности. Исследуемый образец облучают плоской линейно поляризованной электромагнитной волной посредством открытого конца прямоугольного волновода, прикладываемого к образцу , размеры волновода выбирают из условия распространения двух типов собственных гармоник с ортогональной поляризацией и разными частотами отсечки, частоту облучения выбирают равной меньшему значению частоты отсечки, изменяют ее так, что она периодически попадает в запредельную область, принимают составляющую отраженной волны, ортогональную по поляризации падающей, прием этой составляющей осуществляют посредством зонда , установленного в волноводе параллельно широкой стенке и по величине продетектированного сигнала определяют степень анизотропии . 1 ил. СО
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ .РЕСПУБЛИК (я)я G 01 R 27/26
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4721929/09 (22) 19,07,89 (46) 30,05,92, Бюл, ¹ 20 (71) Институт прикладной физики АН БССР (72) В.А. Конев и С,В. Савич (53) 621.317(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР
¹ 1282022, кл, G 01 R 27/26, опублик. 1987.
Авторское свидетельство СССР
¹ 907423, кл. G 01 N 22/00, опублик. 1982. (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ АНИЗОТРОПИИ
ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ПРОНИЦАЕМОСТИ
ДИЭЛЕКТРИКА (57) Изобретение относится к технике измерений и может использоваться в контроле анизотропии диэлектрической проницаемости в поперечно-неоднородных плоских структурах электромагнитными волнами
СВЧ-диапазона. Цель изобретения — повыИзобретение относится к контрольноизмерительной технике и может быть использовано для измерения анизотропии диэлектрической проницаемости в поперечно-неоднородных плоских структурах электромагнитными волнами СВЧ-диапазона.
Цель изобретения — повышение чувствительностии.
На чертеже изображена структурная схема устройства для реализации способа контроля анизотропии диэлектрической проницаемости диэлектрика.
Устройство содержит прямоугольный волновод 1, с размерами широкой и узкой стенок соответственно 1,5 а и.а, параллельно широкой стенке которого помещен зонд
2, соединенный с детек1орной секцией 3, „,. ЖÄÄ 1737366 А1 шение чувствительности. Исследуемый образец облучают плоской линейно поляризованной электромагнитной волной посредством открытого конца прямоугольного волновода, прикладываемого к образцу, размеры волновода выбирают из условия распространения двух типов собственных гармоник с ортогональной поляризацией и разными частотами отсечки, частоту облучения выбирают равной меньшему значению частоты отсечки, изменяют ее так, что она периодически попадает в запредельную область, принимают составляющую отраженной волны, ортогональную по поляризации падающей, прием этой составляющей осуществляют посредством зонда, установленного в волноводе параллельно широкой стенке и по величине продетектированного сигнала определяют степень анизотропии. 1 ил. контактирующий открытым срезом с исследуемым образцом. Выход детекторной секции 3 через фильтр верхних частот 4 подключен к измерительному устройству 5.
Волновод 1 соединен с генератором 6 с изменяющейся частотой.
Устройство. работает следующим образом, B волноводе 1 возбуждается основная гармоника Н1о с вектором электрического поля, параллельным узкой стенке, при отражении волны Ню в случае существования анизотропии в контролируемом образце имеет место изменение поляризации электрического поля в раскрыве волновода 1,,s результате чего возникает отраженная гармоника Н1о, вектор электрического поля которой параллелен широкой стенке и
1737366
Составитель Р,Кузнецова
Техред М.Моргентал Корректор О,Кундрик
Редактор Н.Коляда
Заказ 1888 Тираж Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5
Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина, 101 воздействует на зонд 2, При проведении измерения частота генератора 6 изменяется таким образом, что волна Нщ периодически становится запредельной и затухает в межзондовом промежутке. Облучающая же волна Н 1о 5 распространяется во всем диапазоне частот. В результате с выхода детекторной секции 3 будет сниматься периодический сигнал, переменная составляющая которого обусловлена возникновением волны Н1о, а 10 постоянная составляющая — непосредственным воздействием Н1о на зонд 2.
Фильтр 4 служит для выделения полезной информационной составляющей, которая однозначно связана с анизотропией объек- 15 та и измеряется устройством 5.
Данное устройство позволяет фиксировать анизотропию в объектах в тех случаях, когда ортогональная составляющая отра- 20 женной волны имеет уровень мощности, значительно меньший уровня постоянной составляющей сигнала, обусловленной не- посредственным воздействием облучающей волны H)o на регистрирующий волну 25 зонд 2.
Формула изобретения
Способ контроля анизотропии диэлектрической проницаемости диэлектрика, включающий облучение образца плоской линейно поляризованной электромагнитной волной, прием составляющей отраженной от образца электромагнитной волны, поляризованной перпендикулярно падающей, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности, облучение образца осуществляют посредством открытого конца волновода прямоугольного сечения, который прикладывают к образцу, причем размеры волновода выбирают из условия распространения двух типов собственных гармоник с ортогональной поляризацией и разными частотами отсечки, частоту облучения выбирают равной меньшему значению частоты отсечки волновода, изменяют частоту облучения так, что она периодически попадает взапредельную область, прием составляющей отраженной от образца электромагнитной волны осуществляют посредством зонда, установленного в волноводе параллельно широкой стенке, и по величине продетектированного сигнала определяют степень анизотропии.
