Патент ссср 174239

О П И С А Н И Е l74239

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Рес и у блик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 18ЛЧ.1964 (№ 895678/26-9) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 27.Ч111.1965. Бюллетень № 17

Дата опубликования описания 8.Х.1965

Кл. 21а4, 75

Государственный комитет ло делам изобретений и открытий СССР

МПК Н Oln

УДК 621.049.75:002.54 (088.8) Авторы изобретения

А. А. Васильковский, 3. И. Ковальчук и И. Д. Буяджи

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ТРАНСПОРТИРОВКИ

В ВАКУУМЕ ПОДЛОЖЕК ПЛЕНОЧНЫХ СХЕМ

Подписная сруппа № 89

Известные устройства для транспортировки в вакууме подложек пленочных схем, colpepжащие два барабана, на которых размещена перематываемая гибкая лента, служащая для размещения подложек, и приводной механизм, снабженный приводным двигателем и транспортирующим органом, не устраняют провисание ленты,в п роцессе перемотки.

В предложенном устройстве устранение,провисания ленты в процессе, перемотки и упрощение конструкции транспортирующего органа достигнуто тем, что на осях барабанов установлены конические шкивы ico .спиральной нарезкой, в канавках которой размещен тросик, соединяющий между собой шкивы, а в качестве транспортирующего органа использова на гребенка, зубцы которой входят в,перфорированные отверстия гибкой ленты.

На фиг. 1 изображено предложенное устройство в .двух проекциях; на фиг. 2 — механизм натяжения вроси ка.

Устройство представляет сооой стойку 1, на которой один над другим помещены свободно вращающиеся валы 2 и 8. На передних концах валов жестко закреплены легкосъемные барабаны 4 и 5. На барабанах ближе к их центру расположены штыри 6, с помощью,которых закрепляются, концы гибкой ленты 7 с подло>кками (лента на чертеже, показана условно штрих-пунктирной линией). Для придания:нужного направления движению ленты она помещена на опорном ролике 8. и направляющих роликах 9, охваченных нагревательными элементами 10. Сбоку, параллельно ленте, на определенном растоянии от нее расположен электрод 11 для ионной очистки подло>кек, Между роликами:помещены водоохла>кдаемые направляющие 12 с расположенной над ними гребенкой 18, на кото рой закре10 плена термопара 14.

На задних концах валов жестко закреплены .конические шкивы 15 и 16 со спиральной нарезкой, в .канавках которой размещен тросик 17, соединяющий между собой конически= шкивы. Тросик проходит через, ролик 18, удерживаемый,пружинами 19, укрвпленными в свою очередь, на ролике 20, перемещающемся вдоль конических шкивов по направляющему стер>к|ню 21. Между коническими шкивами 15 и 16 размещены стопоры 22.

На пеоедний конец вала 8 надевается барабан 5 с намотанной на нем гибкой лентой.

Лента пропускается по роликам 8 и 9, а конец ее закрепляется на барабане 4. После этого отпускаются стопоры, удерживающие конические шкивы от раскручивания, которое возникает под действием сил натяжения, создаваемых пружиной 19. Сила натяжения передается на ленту валами 2 и 8 и натягивает ее с

30 заданным усилием. В исходном положении

174239

1 19 zl 20

Составитель Г. Г. Фридолин

Техред Т. П. Курилко Корректор О. Б. Тюрина

Редактор Н. С. Коган

Заказ 2677/4 Тираж 1225 Формат бум. 60><90 /з Объем 0,21 изд. л. Цена 5 коп.

llHNNIIN Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, д. 2 тросик намотан на конический шкив 15, а с конического шкива 16 полностью смотан.

По команде извне привод ной двигатель,воздействует на гребенку, которая опускается и своими зубцами входит в перфорированные отверстия гибкой ленты и перемещает ее на один шаг .вдоль направляющих вправо, совмешая тем самым следующую подложку с:позицией напыления. Одновременно в результате перемещения ленты, вращается барабан 5, который,.в свою очередь, посредством тросика вращает барабан 4. Наличие замкнутой системы «лента — тросик» устраняет провисание гибкой ленты перед барабаном, на который производится ее наматывание.

После перемещения гибкой ленты на один шаг гребенка;поднимается вверх и возвращается в исходное положение. Движение гребенки по указанной схеме происходит до тех пор, пока лента Ic подложками полностью не перемотается с барабана 5 на барабан 4. При срабатывании конечного, выключателя, фиксирующего окончание перемотки ленты, гребенка сообщает последней обратное движение. Количество обратных движений ленты .определяется технологическим процессом изготовления пленочных схем.

Наличие Возвр атно-,посту нательного движения гибкой ленты с,подложками и устранение ее провисания дает возможность сохранить за каждой подложкой порядковый номер в лродолжение всего технологического цикла.

Предмет изобретения

Устройство для транспортировки в вакууме подложек пленочных схем, содержащее два барабана, на которых размещена перематываемая гибкая лента, служащая для размещения подложек, и приводной механизм, снабжен ный приводным двигателем и транспортирующим органом, отличающееся тем, что, с целью устранения провисания ленты в (процессе перемотки и упрощения конструкции транспортирующего органа, на осях барабанов установлены конические шкивы со спиральной нарезкой, в,канавках которой размещен тросик, совдиняюший между собой шкивы, а в качестве транспортирующего органа и спользована гребенюка, зубцы, которой входят .в пер25 форированные отверстия гибкой ленты.