Источник вакуумного ультрафиолетового излучения

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я) 6 01 J 3/10

»I t

t,4

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4661092/25 (22) 13,03.89 (46) 30.11.91. Бюл. N 44 (71) Специальное конструкторско-технологическое бюро по криогенной технике с опытным производством Физико-технического института низких температур АН

УССР (72) В.И.Яременко, В.T.Øàìðàåâ и В.И.Карамушко (53) 535.432(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

М 1278611, кл, G 01 J 3/10, 1985.

Авторское свидетельство СССР

М 432350, кл. 6 01 J 3/10, 1971. (54} ИСТОЧНИК ВАКУУМНОГО УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ (57} Изобретение относится к газоструйным

„„ДЫ „„1695144 Al источникам излучения. Цель изобретония— увеличение времени непрерывной работы и повышение эффективности возбуждения при работе со смесями газов, содержащими неконденсируемые добавки. Источник содержит вакуумную камеру 1, сопло Лаваля

2, электронную пушку 3, криогенный насос

4, ниэковакуумную камеру 5, конический патрубок 6, укрепленный с помощью тепло-., проводных деражателей 7 на корпусе сопла и герметично соединенный с внутренней поверхностью конденсационного насоса. При работе источника за счет наличия патрубка

6 сечение запирания обратного потока газа находится в наиболее плотной части струи и запирание осуществляется более эффективно. За счет тепловой связи патрубка и сопла не происхг дит конденсации газа на патрубке, 1 ил.

1695144

Составитель Е,Петросян

Техред M,Ìîðãåíòàë Корректор С.Черни

Редактор А.Долинич

Заказ 4155 Рираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул.Гагарина, 101

Изобретение относится к газоструйным источникам излучения, предназначено для проведения научно-исследовательских работ в вакуумной ультрафиолетовой и ультрамягкой рентгеновской области спектра, Цель изобретения — увеличение времени непрерывной работы источника, повышение эффективности возбуждения в рабочей камере при работе со смесями, содержащими неконденсируемые добавки.

На чертеже приведена схема источника.

Он состоит из вакуумной камеры 1, сопла Лаваля 2, электронной пушки 3, криогенного насоса 4, низковакуумной камеры

5, конического патрубка 6, укрепленного с помощью теплопроводных держателей 7 (показан тольКо один из них) на корпусе сопла и герметично соединенного сильфоном 8 с внутренней поверхностью конденсационного насоса, Устройство работает следующим образом.

Рабочий газ через сверхзвуковое сопла

2 вытекает в виде ограниченной в пространстве направленной сверхзвуковой струи в вакуумную камеру 1 источника и проходит через патрубок 6 в низковакуумную камеру

5. При этом часть газа вымора>кивается на поверхности криогенного насоса, часть откачивается вспомогательными откачными средствами, присоединенными к камере 5, Электронная пушка создает электронный пучок, пересекающий сверхзвуковую струю в зазоре между соплом и патрубком, Возбужденный электронами газ излучает, и

Это излучение распространяется в вакууме без поглощения, Окно для выхода излучения (не показано) расположено в плоскости, перпендикулярной плоскости рисунка.

Входное отверстие патрубка должно быть не меньше сечения струи на его уровне для свободного прохождения струи внутрь патрубка. Угол конуса патрубка должен быть не больше угла расходимости струи, чтобы молекулы, образующие струю при своем движении, сталкивались со стенкой патрубка и создавали систему ударных волн, полностью перекрывающих входное сечение и препятствующих противотоку молекул иэ камеры 5 с более высоким давлени5 ем в камеру 1 с низким давлением.

Теплопроводящие держатели 7, с помощью которых конический патрубок крепится к корпусу сопла, поддерживают его температуру такой, что на стенках патрубка рабочий

10 газ не конденсируется, В то же время держатели позволяют. сохранить соосность латрубка и струи при перемещениях сопла.

Герметичное соединение широкого основания конуса патрубка со стенками криоген15 ного насоса предотвращает попадание рабочего газа в высоковакуумнуюкамеру1из камеры 5. Сильфон 8 в этом соединении играет двоякую роль; он обеспечивает гибкость соединения, позволяя перемещать ко20 нический патрубок относительно насоса, и в то же время служит тепловой развязкой между ними, Формула изобретения

Источник вакуумного ультрафиолетово25 го излучения, включающий электронную пушку, криогенный насос, вакуумную камеру с соплом Лаваля и низковакуумную камеру, соединенную с вакуумной камерой отверстием s криогенном насосе, располо30 женным соосно с соплом, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью увеличения времени непрерывной работы источника и повышения эффективности возбуждения в рабочей камере при работе со смесями. содержащи35 ми неконденсируемые добавки, он дополнительно содержит патрубок в виде усеченного конуса с углом конусности, равным yr конусности сопла, закрепленный теплопро-. водящими держателями на корйусе сопла

40 соосно с ним так, что меньшее основание усеченного конуса патрубка обращено к соплу и имеет диаметр, равный сумме диаметра выходного сечения сопла и удвоенного расстояния от патрубка до сопла, а большее

45 основание через сильфон герметично соединено с внутренними стенками конденсационного насоса.