Устройство для двусторонней очистки плоских деталей

 

Изобретение относится к очистке плоских деталей и позволяет повысить качество очистки и расширить технологические возможности . Устройство содержит ванну, в которой установлена стойка с подводящим каналом для моющей жидкости, на которой закреплен держатель с моющим материалом , замкнутым контуром и отверстиями для подачи жидкости. Над нижним держателем расположен верхний держатель с моюш .им материалом (верхняя щетчз) и соединен с кронштейном гайкой через диск со сферической поверхностью и втулкой. Для регулирования усилия прижатия к детали при очистке служат пружина и шток, предохраняющий при работе от разворота держатель с подводящим каналом и отверстиями. Кронштейн связан с приводом вертикального перемещения. Для перемещения деталей между моющмми материалами при очистке служит носитель, закрепленный на осях установленных s кронштейне и связанных с приводом горизонтального перемещения. На нижней щетке выполнены каналы так. что по периметру щетки образуется замкнутый контур из моющего материала щетки, а на верхней щетке, выполнены сквозные каналы . Причем каналы расположены под углом а 45° к направлению перемещения фотошаблона. 7 ил.

COIO3 СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (sI)s B 08 В 3/02

@йд330И

ИЙ:4П - Ы:к1ЧЧИ6

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4663708/12 (22) 20,03.89 (46) 30.11,91. Бюл. ¹ 44 (72) Н.И.Никулин, И.И.Поярков и В.Н.Комаров (53) 628.314,2(088,8) (56) Авторское свидетельство СССР № 937058, кл. В 08 В 1/04, 1982. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДВУСТОРОННЕЙ

ОЧИСТКИ ПЛОСКИХ ДЕТАЛЕЙ (57) Изобретение относится к очистке плоских деталей и позволяет повысить качество очистки и расширить технологические возможности. Устройство содержит ванну, в которой установлена стойка с подводящим каналом для моющей жидкости, на которой закреплен держатель с моющим материалом, замкнутым контуром и отверстиями для подачи жидкости, Над нижним держателем расположен верхний держатель с моюИзобретение относится к технологическому оборудованию полупроводникового производства, в частности к устройствам для очистки поверхностей фотошаблонов.

Цел" изобретения — повышение качества очистки и расширение технологических возможностей.

На фиг.1 и 2 изображено устройство, общий вид; на фиг,З вЂ” форма моющего мате-. риала нижней щетки; на фиг.4 — то же, разрез А-А на фиг,З; нэ фиг.5 — форма моющего материала верхней щетки; на фиг.6 — установка держателя верхней щетки; на фиг,7— положение носителя и фотошаблона на нижней щетке.

» .Ж 1694251 Al щим материалом (верхняя щет.:а) и соединен " кронштейном гайкой через диск со сферической поверхностью и втулкой. Для регулирования усилия прижатия к детали при очистке служат пружина и шток, предохраняющий при работе от разворота держатель с подводящим каналом и отверстиями.

Кронштейн связан с приводом вертикального перемещения. Для перемещения деталей между моющими материалами при очистке служит носитель, закрепленный на осях, установленных в кронштейне и связанных с приводом горизонтального перемещения

На нижней щетке выполнены каналы так, что по периметру щетки образуется замкнутый контур из моющего материала щетки. а на верхней щетке. выполнены сквозные каналы. Причем каналы расположены под углом а = 45 к направлению перемещения фотошаблона. 7 ил.

Устройство (фиг.1 — 6) содержит ванну 1 О со штуцером 2. в которой установлена стой- фЬ ка 3 с подводящим каналом 4 для моющей Я жидкости, на которой закреплен держатель (Я

5 с моющим материалом 6, замкнутым контуром 7 (:нижняя щетка) и отверстиями 8,для подачи жидкости. Над держателем 5 расположен держатель 9 с моющим материалом

10 (верхнл. . щетка) и соединен с кронштейном 11 гайкой 12 через диск 13 со сферической поверхностью 14 и втулкой 15.

Для исключения разрушения очищаемых деталеи регулируется усилие прижатия щеток.

Для регулирования усилия прижатия к детали 16 при очистке служат пружина 17 и l 694251 шток 18, предохраняющий при работе от разворота держатель 9 с подводным каналом 19 и отверстиями 20. Кронштейн 11 связан с приводом вертикального перемещения (не показано). Для перемещения деталей между моющими материалами 6 и 10 при очистке служит носитель 21, закрепленный на осях 22, установленных в кронштейне 11 и связанных с приводом горизонтального перемещения (не показано). На нижней щетке выполнены каналы так, что они по периметру образуют замкнутый контур, а на верхней щетке — сквозные каналы 23, шаг которых подбирается экспериментально, Кроме того, каналы расположены под углом а=45 к направлению перемещения носителя фотошаблона.

Устройство работает следующим образом.

Плоская деталь (фотошаблон) уклады вается на поверхность моющего материала 6, закрепленного на держателе 5. При опускании кронштейна 1 l вместе с носителем 21 фотошаблон 16 углами попадает в пазы носителя 21, при этом держатель 9 с моющим материалом 16 тоже опускается на поверхность фотошаблона, а за счет пружин 17 создается усилие прижатия к поверхности, Диск 13 со сферической поверхностью 14 позволяет самовыставляться верхней щетке в плоскости фотошаблона, Включается привод горизонтального перемещения носителя 21 и осуществляется подача моющей жидкости через каналы 4 и l9 и отверстия 8 и 20, происходит очистка поверхностей фатошаблона.

Выполнение каналов на верхней и нижней щетках обеспечивает качественную очистку поверхности за счет быстрого удаления загрязнений по каналам между моющим материалом, а также самоочистку за счет расположения каналов под углом к на-. правлению перемещения носителя с фотошаблоном.

Выполнение каналов на нижней щетке с замкнутым контуром 7 моющего материала создает возможность заполнения каналов жидкостью, которая имеет при этом хороший контакт с очищаемой поверхностью.

После перемещения фотошаблона между

5 щетками привод носителя отключается, верхняя щетка поднимается, фотошаблон выгружается на следующую технологическую операцию.

Пример. Фотошаблон толщиной (d) 3

10 мм и размерами 127х127 мм устанавливали на носитель, Производили очистку поверхностей фотошаблона моющим раствором в течение 30-40 с, а затем водой в течение

50 — 60 с, После чего на центрифуге осущест15 вляли последующее удаление влаги в течение 50 — 60 с; частота вращения-центрифуги — 2200-2500 об/мин, При этом для качественной очистки фотошаблонов на щетках выполнены пазы шириной 8- мм, Ширина

20 ленты (сектора) составляла 12 мм для данного фотошаблона, угол наклона каналов к направлению перемещения носителя выбирался экспериментально, равным 45О.

Формула изобретения

Устройство для двусторонней очистки плоских деталей, содержащее моечную ванну, размещенные в ванне один над другим верхний и нижний очистные элементы с щет30 ками, трубопроводы для подачи моющей жидкости к щеткам, отл ич а ю ще ес я тем, что. с целью повышения качества очистки и расширения технологических возможностей, оно снабжено диском со сферической тор35 цовой поверхностью, резьбовой втулкой, пружиной и кронштейном, при этом диск жестко установлен на верхнем очистном элементе, закрепленном на втулке посредством гайки, контактирующей с диском по

40 его сферической поверхности, и подпружиненном относительно втулки, а последняя установлена жестко на кронштейне, при этом на рабочей поверхности щетки каждого очистного элемента выполнены располо45 женные в ряд каналы, причем на рабочей поверхности верхнего очистного элемента каналы выполнены сквозными.

1694251

1694251

1694251

Составитель Г; Кудров

Техред M.Ìîðãåíòàë

Редактор Н. Шитев

Корректор Л. Бескид

Заказ 4111 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101