Зондовая головка

 

Изобретение относится к электронной технике и может найти применение в зондовых установках используемых в производстве интегральных микросхем Цель изобретения повышение надежности кон тактирования путем улучшения гсрмогтаби пизации положения зонда в пространстве При опускании зондовои головки в рабочее положение зонд 2 приводится в контакт с площадкой 9 Сила прижима определяется упругими свойствами материапа зондодержателя и спиральными изгибами 5 которые придаютжесткость конструкции а также работают как пружины кручения К консольным балкам 6 прикреплены упругие элементы 3, образующие с ними биметаллическое соединение При повышении температуры биметаллическое соединение из ибается наружу и укорачивает основание трапеции 2 ил

COIO3 СОВЕ ГСКИХ

СОЦИАЛИС ГИНЕ СКИХ

РЕСПУБЛИК (I)-. Н 05 К 1/11, 6 01 R 1/06

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

) ь Г " - "в "

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ I"".-,—

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4630166/21 (22) 24.10.88 (46) 15.11.91. Бюл. N. 42 (72) Л.А. Евменьев, И.Я. Милованов, P.È.

Плашенков и И.Б. Шапошникова (53) 62,396.049(088.8) (56) Зондодержатель 66М2.689,000 установки Зонд-А5, 14КМ-14-008, 2.688,007, изготавливаемый заводом "Зллар", г. Рига.

Авторское свидетельство СССР

N 843325, кл. Н 05 К 1/11, 1986. (54) ЗОНДОВАЯ ГОЛОВКА (57) Изобретение относится к электронной технике и может найти применение в зондовых установках, используемых в производстве интегральных микросхем. Цель

„„5U „„1691974 А1 изобретения — повышение надежности контактирования путем улучшения термостабилизации положения зонда в пространстве.

При опускании зондовой головки в рабочее положение зонд 2 приводится в контакт с площадкой 9. Сила прижима определяется упругими свойствами материала зондодержателя и спиральными изгибами 5. которые придают жесткость конструкции, а также работают как пружины кручения. К консольным балкам 6 прикреплены упругие элементы 3, образующие с ними биметаллическое соединение. При повышении температуры биметаллическое соединение изгибается наружу и укорачивает основание трапеции. 2 ил.

1691974

Изобретение относится к электронной техникс, в час1ности к конструкции элеменгов контрольного оборудования, и может найти г}рименение при разработке измерительных зондовых установок, используемых в производстве интегральных микросхем и других полупэоаодниковых приборов на агапе их контроля, Цель изобретения — повышение надежнос. !п контак ирования путем улучшения т рмОс ra6}n!1}iaa}J!nln полов<ения 30Нра в r}рос1 ра}l" тве.

На фиг. 1 изображена зондовая головка и ри нормаль}}ой температуре; на фиг. 2 — то

>i », при работе в условия:< повышенных темг ер}», 3<> -довая головка содер>кит зондодержатель I и зс }д 2, соединенный с первым 3 и вторым 4 упругими элементами со спи1>aR},! ыми изгибами }>, образующими трапецию. Спиральный изгиб 5 каждого упругого .-,Лемента прикреплен к зонду 2, Соедине} ие va>vporо упругого элемента с зондодер>кателем 1 выполнено в виде консольной балки 6, 06}разованноЙ прорезью 7 в зондодержателе, Зондодержатель 1 закреплен в корпусе

<,- : зонде вой I oловки. Зонд 2 в рабочем положении при"-оди-cR г контакт с контактной плошадкой 9 полупроводникового прибора

l0.

:.:ондовая головка работает следующим

Оора }ОM.

i pIn oпус<а, }ии зондовой Головки В pa6oче > положение =:o:-Iä 2 приводится в электоичес.кий контакт с площадкой 9. Сила

«р} >}, !Ina oп ределяется yliä rими cBQ!ncTB3"

}ии материала зондодержателя и спиральными изгибами 5, которые придак " .кины .<ручения. Прорези 7 в пласк}" е зс,ндадержателя сделаны с целью созд>:чия слоя мат p}naf}3 Определенной толщины консольнь:е балки 6), к которому крепятся по вссй его длине упругие элементы 3 и 4, Образу}о цие совместно с ним биметаллическоее соединение Вследс" ьие различия в Ко эффи циента>: т<-:I l пе ратур ного расш и рен ия их материалов. При изменении температуры (повышенная температура, фиг. 2) биметаллическое соединение изгибается наружу и укорачивает основание трапеции (упругие

5 элементы 3 и 4).

Такое биметаллическое соединение обеспечивает зондовой головке высокие термомеханические эксплуатационные ха10 рактеристики, т .е, зонд всегда остается на контактной площадке полупроводникового прибора.

В случае контроля параметров интегральных или гибридных микросхем, или

15 других полупроводниковых устройств с высокой плотностью монтажа и контактных площадок данная конструкция позволяет расположить плотно, например, в ряд необходимое количество зондов в кор20 пусе зондовой головки.

Плоская конструкция зондовой головки увеличивает надежность визуального контроля настройки зонда. Высокие термомеха25 нические свойства зондовой головки устраняют влияние температуры на точность настройки смещения зонда с контактной площадки прибора.

30 Формула изобретения

Зондовая головка, содержащая зондодержатель и зонд, закрепленный на упругом элементе со спиральным изгибом, о т л и ч а ющ а я с я тем, что, с целью повышения надеж35 ности контактирования путем улучшения термостабилиэации положения зонда в пространстве, в нее дополнительно введен второй упругий элемент, образующий трапецию с первым упругим элементом, зондом и }О зондодержателем, спиральный изгиб каждого упругого элемента прикреплен к зонду, а соединение каждого упругого элемента с эондодержателем выполнено в виде консольной балки, Образованной прО

45 резью в эондодержателе, при этом упругий элемент и зондодержатель выполнены из материалов с различными <оэффициентами температурного расширения.

Составитель Н.Шмелев

Техред M.Ìîðãåíòàë

Корректор С. Шевкун

Редактор Н.Лежнина

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина, 101

Заказ 3935 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5