Способ рентгеноспектрального анализа качества абразивов поверхности

 

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к области определения рентгеноспектральным методом абразивных включений на поверхности деталей , Целью изобретения является повышение информативности за счет определения также и размеров абразивных включений. Облучение контролируемой поверхности проводят при перемещении образца или ионизирующего пучка диаметром , соразмерным с диаметром, абразивных частиц, а именно 2 - 5 мкм. Диа метр абразивных зерен определяют по тарировочной кривой по измеренной интенсивности излучения от каждой абразивной частицы.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я>5 G 01 В 15/00

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4625884/28 (22) 26.12.88 (46) 15.09.91. Бюл. М 34 (71) Волжский филиал Всесоюзного научноисследовательского института абразивов и шлифования (72) Я.В.Гришин и И,В.Паули (53) 531.717.11 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

hk 1270561, кл. G 01 В 15/00, 1980. (54) СПОСОБ РЕНТГЕНОСПЕКТРАЛЬНОГО

АНАЛИЗА КАЧЕСТВА АБРАЗИВОВ ПОВ Е РХ НОСТИ (57) Изобретение относится к измерительной технике, в частности к области опредеИзобретение относится к измерительной технике, в частности к области способа определения рентгеноспектральным методом абразивных включений на поверхности деталей, Цель изобретения — повышение информативности эа счет определения также и размеров абразивных включений.

Первичное ионизирующее облучение исследуемой и эталонной поверхностей проводят пучком, диаметр которого соизмерим с размером определяемых частиц. При укаэанном условии становится возможной регистрация интенсивностей линии спектра вторичного рентгеновского излучения непосредственно тех элементов, которые содержатся в абразивных частицах образцов.

В совокупности с тем, что эталонные образцы выбирают с известным содержанием определяющих веществ и известными их

<1 > . Ы,. 1 67751 7 А1 ления рентгеноспектральным методом абразивных включений на поверхности деталей. Целью изобретения является повышение информативности за счет определения также и размеров абразивных включений. Облучение контролируемой поверхности проводят при перемещении образца или ионизирующего пучка диаметром, соразмерным с диаметром, абразивных частиц, а именно 2 — 5 мкм. Диа метр абразивных зерен определяют по тарировочной кривой по измеренной интенсивности излучения от каждой абра.зивной частицы. размерами, обеспечивается возможность количественного определения с высокой точ- ь ностью абразивных частиц, их размеров и О плотности распределения на исследуемой поверхности.

Способ осуществляется следующим obразом. )Ql

Поверхность исследуемого образца облучают пучком первичного ионизирующего излучения, а именно пучком ускоренных электронов, с помощью микроанализатора

MAP-2, предварительно настроенного изве° Ъ стным методом на регистрируемыи элемент, в частности, при контроле образцов с частицами из электрокорунда - на алюминий, из карбида кремния — на кремний, из твердосплавных частиц на основе, например, вольфрама .— на вольфрам. Облучение проводят при перемещении образца или ионизирующего и," ка диаметром, сораз1677517

Составитель В.Парнасов

Редактор Л,Пчолинская Техред М.Моргентал Корректор О.Ципле

Заказ 3106 Тираж 354 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул. Гагарина, 101 мерным с диаметром абразивных частиц, а именно 2 — 5 мкм, при ускоряющем напряжении 25 кВ и токе зонда 0,5 мА. По результатам измерений интенсивностей вторичного рентгеновского характеристического излучения судят о количестве абразивных частиц и их размерах. При этом для определения размера частиц используют тарировочную кривую, полученную предварительно по результатам измерений эталонного образца, в качестве которого берут образец иэ материала, аналогичного обрабатываемому, с внесенными в его поверхность абразивными частицами, химический и грануометрический составы которых находятся в соответствии с материалом абразивного режущего инструмента, используемого в процессе обработки исследуемой поверхности с образца. Облучение эталонного образца проводили на приборе микроанализаторе МАР-2, настроенном на измерение вторичного рентгеновского излучения по линиям алюминия, при ускоряющем напряжении 25 кВ, токе зонда

0,5 мА и диаметре зонда 3 мкм. Диаметр абразивных частиц измеряют с помощью оптического микроскопа микроанализатора. Затем по результатам измерений интенсивностей излучения от абразивных частиц и их диаметров строят тарировочную кривую. Исследуемый образец промывают растворителем, например этиловым спиртом, устанавливают в микрданализатор

МАР-2 с зондом 3 мкм, выбирают участок для исследования, например, размерами

5 0,6х0,6 мм и при перемещении образца в продольном направлении проводят облучение электронным пучком при ускоряющем напряжении 25 кВ и токе зонда 0,5 мА последовательно всего выбранного участка, 10 фиксируя. при этом интенсивности вторичного излучения.

Формула изобретения

Способ рентгеноспектрального анализа качества абразивов поверхно15 сти, заключающийся в том, что выбирают образец с эталонной поверхностью, на эталонную и исследуемую поверхности последовательно направляют пучок первичного ионизирующего излучения, 20 регистрируют спектр интенсивности вторичного характеристического рентгеновского излучения, выделяют характеристические линии спектра исследуемого материала и по ним судят

25 о качестве поверхности, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения информативности за счет определения также и размеров абразивных включений, облучение проводят пучком первичного

30 ионизирующего излучения диаметром

2 — 5 мкм..