Термокамера для испытаний микроэлектронных приборов

 

Изобретение относится к теплотехнике, а именно - к устройствам для испытаний микроэлектронных приборов. Цель изобретения - расширение области применения. Для этого теплоизолированный корпус 1 камеры разделен теплоизолирующей перегородкой 2 на два отсека 3, 4. Плита 9 имеет в пределах обоих отсеков 3. 4 внутреннюю 12 iS герметизированную полость 10 с капиллярно-пористым фитилем 11, частично заполненную теплоносителем. В каждом отсеке 3, 4 имеется нагреватель 5, 6 и термоэлектрический охладитель 7,8. Каждый термоэлектрический охладитель 7, 8 подключен к источнику 24 питания через переключатель 23 полярности и регулятор 21,22 мощности. Каждый нагреватель 5, 6 подключен к источнику питания через переключатель 23 полярности , регулятор 25, 26 мощности и диод 27, 28. Испытываемые приборы 16 устанавливают на платы 17, 18 через крышки 12,13. Для нагрева приборов 16 в отсеке 3 питание подают на нагреватели 5 и на термобатарею в режиме нагрева. Для охлаждения приборов 16 в отсеке 3 термобатарею включают в режим охлаждения. Нагреватель 5 не включается . Когда в отсеке 3 охлаждение, то в отсеке 4 нагрев. 1 з.п.ф-лы, 1 ил. 13 7i6 2 а II 1 188 20 I I I .1 О 2 О О

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)з F 25 В 21/02

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

API4 ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4649611/06 (22) 13.02,89 (46) 15.09,91. Бюл. М 34 (71) Институт технической теплофизики AH

УССР (72) Н.С,Кирпач (53) 621.57 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

1Ф 1374004, кл. F 25 В 21/02, 1986. (54) ТЕРМОКАМЕРА ДЛЯ ИСПЫТАНИЙ

МИКРОЭЛЕКТРОННЫХ ПРИБОРОВ (57) Изобретение относится к теплотехнике, а именно — к устройствам для испытаний микроэлектронных приборов. Цель изобретения — расширение области применения.

Для этого теплоизолированный корпус 1 камеры разделен теплоизолирующей перегородкой 2 на два отсека 3, 4. Плита 9 имеет в пределах обоих отсеков 3, 4 внутреннюю

„„533 „„1677460 А1 герметизированную полость 10 с капиллярно-пористым фитилем 11, частично заполненную теплоносителем. В каждом отсеке 3, 4 имеется нагреватель 5, 6 и термоэлектрический охладитель 7, 8. Каждый термоэлектрический охладитель 7, 8 подключен к источнику 24 питания через переключатель

23 полярности и регулятор 21, 22 мощности, Каждый нагреватель 5, 6 подключен к источнику питания через переключатель 23 полярности, регулятор 25, 26 мощности и диод

27, 28. Испытываемые приборы 16 устанавливают на платы 17, 18 через крышки 12, 13.

Для нагрева приборов 16 в отсеке 3 питание подают на нагреватели 5 и на термобатарею в режиме нагрева. Для охлаждения приборов 16 в отсеке 3 термобатарею включают в режим охлаждения. Нагреватель 5 не включается, Когда в отсеке 3 охлаждение, то в отсеке 4 нагрев. 1 з.п.ф-лы, 1 ил.

1677460 теплоизоляции 20. Охладители 7, 8 через 25 регуляторы 21, 22 мощности и переключатель 23 полярности подключены непосреднапряжения. Нагреватели 5, 6 подключены к источнику 24 через регуляторы 25, 26 мощ- 30

40

Изобретение относится к теплотехнике, а именно к устройствам для испытаниймикроэлектронных приборов.

Цель изобретения — расширение области применения.

На чертеже изображена описываемая термокамера в разрезе.

Термокамера содержит корлус 1, разделенный теплоизолирующей перегородкой 2 на два независимых отсека 3, 4.

В отсеках 3, 4 размещены отдельные нагреватели 5, 6 и термоэлектрические охладители 7, 8, Охладители 7, 8 установлены на общей плите 9, выполненной полой в виде тепловой трубы, Стенки полости 10 покрыты капиллярно-пористым фитилем 11 в пределах обоих отсеков 3 и 4. Отсеки 3 и

4 снабжены отдельными крышками 12, 13.

Нагреватели 5 и 6 установлены на теплопроводах 14, 15, соприкасающихся с рабочими спаями охладителей 7, 8, Испытываемые приборы 16 установлены на испытательных платах 17, 18 и приводятся в тепловой контакт с помощью пружин i9, Корпус термокамеры изолирован с помощью ственно к источнику 24 постоянного ности и переключатель 23 полярности, а также через диоды 27, 28. Схема соединений охладителей 7, 8, нагревателей 5, 6 и переключателя 23 с источником 24 выполнена с обеспечением возможности подачи питания на охладители 7, 8 и нагреватели 5, 6 в отсеках 3, 4 камеры в противофазе.

Термокамера работает следующим образом.

Открывают крышки 12, 13 отсеков 3, 4 корпуса 1 термокамеры и устанавливают на испытательные платы 17, 18 испытываемые приборы 16. Крышки 12, t3 закрывают, при этом испытательные платы 17, 18 пружинами 19 прижимают приборы 16 к теплопроводам 14, 15 через нагреватели 5 и 6, обеспечивая их тепловой контакт. От источ. ника 24 подают напряжение через переключатель 23 полярности и регулятор 21 мощности непосредственно на термоэлектрический охладитель 7 и через регулятор 25 мощности и диод 27 — на нагреватель 5. При этом полярность включения диода 27 и термоэлектрического охладителя 7 согласуют с полярностью 24 с помощью переключателя

23 таким образом, что охладитель 7 работает в режиме нагрева теплопровода 14 и охлаждения участка плиты 9, соприкасающегося с его холодными спая5

20 ми, а нагреватель 5, питаемый электроэнергией через диод 27, дополнительно нагревает теплопровод 14, доводя его температуру до заданного условиями испытаний уровня, Благодаря тепловому контакту испытываемых приборов 16 с теплопроводом 14 их температура повышается до заданного уровня и поддерживается на нем требуемый графиком испытаний промежуток времени.

Одновременно от источника 24 через переключатель 23 подается напряжение обратной полярности через регулятор 22 непосредственно на охладитель 8 и через регулятор 26 и диод 28 — на нагреватель 6.

При этом охладитель 8 работает в режиме охлаждения теплопровода 15 и нагрева участка плиты 9, кочтактирующего с его горячими спаями, Поскольку на диод 28 подано напряжение обратной полярности, то ток через нагреватель 6 не идет, что создает условия для интенсивного охлаждения теплопровода 15 и находящихся в контакте с ним испытываемых приборов 16. Теплота, поступающая в плиту 9 от горячих спаев охладителя 8, вызывает испарение на нагреваемом участке плиты 9 теплоносителя в полости 10 из капиллярно-пористого фитиля

11. Пар перетекает по полости 10 от нагреваемого участка плиты 9 к охлаждаемому, где конденсируется, а конденсат движется по капиллярно-пористому фитилю в обратном направлении. После завершения испытаний в указанном температурном режиме производят смену полярности напряжения, подаваемого на охладители 7, 8 и нагреватели 5, с помощью переключателя 23 и производят испытание приборов 16 в отсеке 3 в режиме охлаждения, а в отсеке 4 — в режиме нагрева. При этом процессы в устройствах для обеспечения температурных режимов в отсеках 3 и 4 поменяются на противоположные, Смену циклов испытаний осуществляют с помощью переключателя 23 вручную или автоматически. При циклических испытаниях охладители 7, 8 работают в противофазе, т.е. если охладитель

7 работает в режиме нагрева теплопровода

14, то охладитель 8 — в режиме охлаждения теплопровода 15 и наоборот.

С помощью крышек 12, 13 можно дополнительно регулировать тепловые режимы испытаний, отводя в окружающую среду часть теплоты из отсеков путем их частичного открывания.

Формула изобретения

1. Термокамера для испытаний микроэлектронных приборов, содержащая теплоизолированный корпус с теплопроводной плитой, отличающаяся тем, что, с

1677460

Составитель Е.Виноградов

Редактор В.Трубченко Техред М.Моргентал Корректор Т.Палий

Заказ 3103 Тираж 310 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 101 целью расширения области применения, корпус разделен теплоизолирующей перегородкой на два отсека, плита имеет в пределах обоих отсеков внутреннюю герметиэированную полость с капиллярнопористым фитилем, частично заполненную теплоносителем; а в каждом отсеке дополнительно установлены нагреватель и термоэлектрический охладитель, каждый термоэлектрический охладитель подключен к источнику питания через переключатель полярности и регулятор мощности, а каждый нагреватель подключен к источнику питания через переключатель полярности, 5 регулятор мощности и диод.

2. Термокамера по и. 1, о т л и ч а ю щ ая с я тем, что отсеки снабжены отдельными крышками