Проекционный объектив с увеличением - 1/5 @

 

Изобретение относится к оптическому приборостроению и м.б. использовано в микроэлектронике. Цель изобретения - увеличение числовой апертуры и поля зрения при телецентрическом ходе лучей в пространстве предметов. Объектив содержит положительные мениски 1, 3, 9,10,13, 18, отрицательные мениски 4, 6, 11, 12, двояковыпуклые линзы 2, 7, 8, 14-16. Числовая апертура 0,35; поле зрения 21,2 мм. 2 ил.

COÞ3 СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)ю G 02 В 13/22, 13/24

ГОСУДАРСТВЕ ННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Плослосль

Ю. 7nucrracma/ Р

7 Ю

4 5Б

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4724685/10 (22) 31.07.89 (46) 30.06.91. Бюл. М 24 (71) Конструкторское бюро точного электронного машиностроения (72) И.Ф«Гуревич (53) 535.824.2(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

N 1303972, кл. G 02 В 13/24, 1985. (54) ПРОЕКЦИОННЫЙ ОБЪЕКТИВ С УВЕЛИЧЕНИЕМ вЂ” 1/5"

„„ЯЦ„„1659955 А1 (57) Изобретение относится к оптическому

-приборостроению и м.б. использовано в микроэлектронике. Цель иэобретения— увеличение числовой апертуры и поля зрения при телецентрическом ходе лучей в пространстве предметов. Объектив содержит положительные мениски 1, 3, 9, 10, 13, 18, отрицательные мениски 4, 6, 11, 12, двояковыпуклые линзы 2, 7, 8, 14 — 16. Числовая апертура 0,35; поле зрения 21, 2 мм.

2 ил.

1659955

Изобретение относится к оптическим системам и может найти применение в микроэлектронике в проекционных системах экспонирования для изготовления полупроводниковыхх приборов.

Цель изобретения — увеличение числовой апертуры и поля зрения при телецентрическом ходе лучей в пространстве предметов, На фиг.1 приведена оптическая схема предложенного обьектива; на фиг.2 — ЧКХ объектива.

Объектив состоит из восемнадцати линз, собранных в четырнадцать компонентов, и апертурной диафрагмы.

Первый компонент состоит из положительного мениска 1 и двояковыпуклой линзы 2 и положительного мениска 3.

Положительный мениск 1, обращенный вогнутостью к плоскости предметов, выполнен иэ крона и имеет соотношение радиусов

3,17;1, Двояковыпуклая линза 2 выполнена из крона с соотношением радиусом 1;2,59.

Положительный мениск 3, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, выполнен из крона и имеет соотношение радиусов

1:5,24, Второй компонент — отрицательный мениск 4, обращенный выпуклостью к плоскосТМ предметов, выполнен иэлегкого флинта, с соотношением радиусов 19,36:1.

Третий компонент — двояковогнутая линза 5, выполненная из легкого флинта с соотношением радиусов 1:2,23.

Четвертый компонент — отрицательный мениск 6, обращенный вогнутостью к плоскости предмета, выполнен из крона с соотношением радиусов 1:1,26.

Пятый компонент — двояковыпуклая линза 7, выполненная из особого крона с соотношением радиусов 12,02:1, расположенный за четвертым компонентом на расстоянии от него, равном 0,035 фокусного расстояния обьектива.

Шестой компонент — двояковыпуклая линза 8, выполненная из особого крона с соотношением радиусов 1:1,30, Седьмой компонент — положительный мениск 9, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, выполнен иэ особого крона с соотношением радиусов 1:6,71, Восьмой компонент — положительный мениск 10, обрашенный выпуклостью к плоскости предметов, выполнен из тяжелого крона с соотношением радиусов 1, 1,6.

Девятый компонент — отрицательный мениск 11, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, выполнен из легкого флинта с соотношением радиусов 12,18:1.

Десятый компонент — отрицательный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предметов и склеенный из отрицательного 12 и положительного 13 менисков, выполненных из легкого флинта и крона соответственно, разность показателей преломления линз, входящих в компонент, составляет 0,07. Разность дисперсии 22,65, а соотношение наружных радиусов 1:1,4t.

Одиннадцатый компонент — двояковыпуклая линза 14, выполненная из особого крона с соотношением радиусов 4,72:1.

Двенадцатый компонент — двояковыпуклая линза 15, выполненная из особого крона с соотношением радиусов 1:2,64, Тринадцатый компонент — положительный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, и склеенный из двояковыпуклой 16 и двояковогнутой 17 линз, выполненных из легкого крона и легкого флинта; разность показателей преломления линз составляет 0,12, разность дисперсий

25,5, а соотношение наружных радиусов

1,24;1; расположен за двенадцатым компонентом на расстоянии от него, равном 0,032 фокусного расстояния объектива.

Четырнадцатый компонент — положительный мениск 18, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, выполнен из легкого флинта с соотношением радиусов

1:3,46, Обьектив имеет высокую степень коррекции аберрации для области спектра

365,0+4 мм. Увеличение объектива — 1/5"

Апертура 0,35, поле зрения 21,2 мм.

Продольная сферическая аберрация не более — 0,00727, астигматическая разность не более 0,003 мм, дисперсия не более—

0,0004 „ хроматизм. увеличения не более

0,00037 мм, аберрации широких меридиональных пучков не более 0,00252 мм.

По предложенной принципиальной схеме рассчитан также объектив со спектральным диапазоном работы 404,66 5 мм.

Формула изобретения

Проекционный обьектив с увеличением — 1/5", содержащий одиннадцать компонентов и апертурную диафрагму, причем первый компонент — отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к предмету, второй — отрицательный мениск, третий — двояковыпуклая линза, четвертый положительная линза, пятый — положительный мениск, обращенный выпуклостью к предмету, шестой — мениск, обращенный выпуклостью к предмету, седьмой — отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к предмету, восьмой — отрицательный мениск, обращенный вогнутостью v. предмету, 1659955

2ЮО

5дО 750 ИЮ

4Ы У

Ф лаф ч

Составитель В.Архипов

Техред M.Ìîðãåíòàë Корректор М,Демчик

Редактор M.Êeëåìåø

Заказ 1844 Тираж 332 Подписное

BHMNflN Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 девятый — положительная линза, десятый— двояковыпуклая линза, одиннадцатый — hoложительный мениск, обращенный выпуклостью к предмету и склеенный из положительной и отрицательной линз, о т л и- 5 ч а ю шийся тем, что, с целью увеличения числовой апертуры и поля зрения при телецентрическом ходе лучей в пространстве предметов, перед первым компонентом установлен положительный компонент из 10 двух положительных менисков, обращенных выпуклостью друг к другу, и двояковыпуклой линзы между ними, между первым и вторым компонентами установлена двояковогнутая линза, второй компонент обращен 15 вогнутостью к предмету, четвертый выполнен в виде двояковйпуклой линзы, шестой выполнен положительным, восьмой выполнен склеенным иэ отрицательного и положительного менисков, девятый выполнен в виде двояковыпуклой линзы, за одиннадцатым компонентом установлен положитель ный мениск, обращенный выпуклостью к предмету, при этом апертурная диафрагма размещена эа седьмым компонентом на удалении от него, равном 0,01 фокусного расстояния объектива, расстояние между вторым и третьим компонентами составляет

0,035 фокусного расстояния объектива, а расстояние между десятым и одиннадцатым компонентами составляет 0,032 фокусного расстояния объектива.