Ротор турбомолекулярного вакуумного насоса

 

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные характеристики и повысить технологичность ротора турбомолекулярного насоса. Ротор содержит роторные диски (Ц) 1. выполненные за одно целое и имеющие лопатки (Л) 2, длина которых уменьшается в направлении откачки. Л 2 образуют межлопаточные каналы (К) 3, расположенные наклонно к торцам D1. D1 выполнены переменной толщины, увеличивающейся в направлении откачки, а К 3 каждого D1 расположены к его радиусу под углом, изменяющимся от диска к диску в направлении откачки. КЗ расположены по общим прямым линиям. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (Я)5 F 04 0 19/04

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Б

8 (21) 4251593/06 (22) 27.05.87 (46) 23.06,91. Бюл. N. 23 (72) Н.М,Новиков, В.И.Вихрев и В.Б.Шолохов (53) 621.527.8 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

Ра 335443, кл. F 04 О 19/04,,1970. (54) РОТОР ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНОГО ВАКУУМНОГО НАСОСА (57) Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные характеристики и повысить технологичность

„„59„„1657757 А1 ротора турбомолекулярного насоса. Ротор содержит роторные диски (Д) 1, выполненные эа одно целое и имеющие лопатки(Л) 2, длина которых уменьшается в направлении откачки. Л 2 образуют межлопаточные каналы (К) 3, расположенные наклонно к торцам

D1. D1 выполнены переменной толщины,. увеличивающейся в направлении откачки, а

К 3 каждого 01 расположены к его радиусу под углом, изменяющимся от диска к диску в направлении откачки. K 3 расположены по общим прямым линиям. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.

1657757

Фиа 2

Составитель В.Кряковкин

Редактор Н.Лазаренко Техред М,Моргентал Корректор Н.Король

Заказ 1700 Тираж 374 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва. Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина, 101

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям рабочих элементов турбомолекулярных вакуумных насосов.

Цель изобретения — улучшение откачных характеристик и повышение технологичности конструкции.

На фиг.1 представлен ротор, общий вид; на фиг.2 — частичные сечения А-А, Б-Б, В-В и Г-Г на фиг.1.

Ротор турбомолекулярного вакуумного насоса содержит роторные диски 1 с лопатками 2, имеющими длину, уменьшающуюся в направлении откачки, и образующими межлопаточные каналы 3, наклонные к торцам дисков 1. Последние выполнены переменной толщины, увеличивающейся в направлении откачки, а межлопаточные каналы 3 каждого диска 1 расположены к его радиусу под углом Р, изменяющимся от диска к диску в направлении откачки. Кроме того, диски 1 выполнены за одно целое, а межлопаточные каналы 3 всех дисков 1 расположены по общим прямым линиям.

Переменный угол Р наклона межлопаточных каналов 3 для соседних дисков 1 обеспечивает в процессе работы ротора в турбомолекуля рном насосе преимущественное отражение соударяющихся с лопатками 2 молекул откачиваемого газа в направлении откачки. При этом на входе ротора каналы могут иметь наклон против вращения ротора, а на выходе — в сторону вращения, причем на промежуточных дисках углы наклона находятся между углами наклона крайних дисков, Выбор того или иного

5 угла наклона на входе ротора осуществляется с учетом числа оборотов ротора, его геометрических размеров и рода откачиваемого газа, Подобное выполнение ротора позволяет увеличить его откачные характе10 ристики и технологичность беэ изменения наклона межлопаточных каналов к торцам дисков.

Формула изобретения

15 1. Ротор турбомолекулярного вакуумного насоса, содержащий роторные диски с лопатками, имеющий длину, уменьшающуюся в направлении откачки, и образующими межлопаточные каналы, наклоненные к тор20 цам дисков, отличающийся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, диски выполнены переменной толщины, увеличивающейся в направлении откачки, а межлопаточные каналы каждого диска рас25 положены к его радиусу под углом, изменяющимся от диска к диску в направлении откачки.

2. Ротор поh.1,î Të ича ющийсятем, что, с целью повышения технологичности, 30 диски выполнены эа одно целое, а межлопаточные каналы всех дисков расположены по общим прямым линиям.