Аморфный сплав для тонкопленочных резисторов и способ его получения

 

Изобретение относится к металлчргии а именно к разработке прецизионных сплавов со специальными электрофизическими свойствами, используемых для производства тонкопленочных резисторов. Цель - улучшение электрофизических характеристик за счет приблиления к нулю температурного коэффициента сопротивления. Аморфный сплав на основе ниобия дополнительно содержит свинец при следующем соотнопении компонентов, ат.%: свинец 7-18; ниобий остальное. Способ получения спллра включает ионно-плазмекное распыление миюенеп, состояния из статистически равномерно размеценшк квадратов ниобия и свинца, и термообработку при 6831.0 К в течение 30±5 мин. Изобретение позволяет понизить температурный коэффициент сопротивления в 45-85 раз до (7-91-10 . 2 с.п. ф-лы, 1 табл. (Ј

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 47 10250/02 (22) 26.06.89 (46) 07.06.91. Бюл. Р 21 (71) Днепропетровский государственный университет ии. 300-летия воссоединепия Украины с Россией (72) If.<.Бапев, ф.б.Доценко, В.И.Лозяной, И.С.Иирошниченко, В.П.Прудкий и С.И.Гябцев (53) 669.788.5:621.316.89(088.8) (56) Заявка Японии t." 5441700, кл. С 22 С 19/00, 1983.

Thin Sol id I ilris, 1976, ." 1, 38, р. 21-35. (54) А!10Р Н1-Й CIIJ1AR gJLH ТОНКОП.ТБНОНIII;K РЕВИС"ОРОВ И СПОСОБ ЕГО ПОЛУЧЕ:—

НИЯ (57) Изобретение относится к металл ргии, а и11енно к разработке прецизионных сплавов со специальными

Изобретение относится к разработке сплавов с прецизионной величиной

ТКС, используемых в микроэлектронике для получения тонкопленочных резисторов (ТПР) с поверхностным сопГотивлением от десятков до сотен

Ом/квадрат, Пель изобретения — улучшение электрофизических характеристик ТПР путем приближения к нулю температурного коэффициента сопротивления.

Напыпенный аморфный сплав содержит ниобий и свинец в следующем соотношении, ат...:

Свинец 7,0-18,0

Ниобий Ос т аль н ое

„„SU„„1654361 A 1 (gI) g С 22 С 27/02, Н 01 С 7/06 электрофизическими свойствами, используемых для производства тонкопленочных резисторов. Цель — улучшение электрофизическт:х характеристик за счет приближения к нулю темперлтурного коэффициента сопротивления.

Аморфный сплав па основе ниобия дополнительно содержит свинец при следующем соотнопении компонентов, ат.Е: свинец 7-18; ниобий остальное.

С-1особ получения спллвл включает ионво-плазменное распыление мишеней, состоящих из статистически равномерно раз11еценньг: квлдрлтав ниобия и св 1пца, и термообработку пр1:

6831.20 К в течение 30 .5 мин. Изобретение позволяет понизить темперлтурный коэффициент сопротивле в

45-85 рлз до (7-9 1.10 l; . 2 с.п. ф-лы, 1 табл.

Фвв

Способ его получения включает ионно-плазменное распыление наборных мишеней, состояцих из отдельных статистических равномерно размещенных по поверхности распыления квадратов

С5 ни обил и свинца и термообрабаткУ полученных пленок рри температуре 673+

+20К в течение 30+5 мин.

Ионно-плазменное напыненис осуществляют на установке УРН 3.279.014 при следующих режимах напьления: напряжение на мишени 2 кВ, л11одный ток

1 А, ток разряда 20 мА, время нап1ления 360 с. Контроль за степенью устойчивости аморфной фазь1 и состлвом пленки осуществляют соответственно

1654361 на дифрактометре ДРЬН-2,0 и с помощью 4-эондового метода измерений поверхностного сопротивления в процессе непрерывного нагрева в вакууме (10 Па). В таблице приведены составы сплавов, режимы их термообработки и свойства.

По сравнению с известными предлагаемый сплав для ТПР и способ его получения позволяют понизить значения ТКС в 45-85 раэ, что способствует увеличению точности работы изделий и уменьшению габаритных размеров пассивных элементов микросхем. 15 отличающийся тем, что, с целью улучшения электрофизических характеристик эа счет приближения к

Ф нулю температурного коэффициента сопротивления, он дополнительно содержит свинец при следующем соотношении компонентов, ат.Ж:

Свинец 7,0-18,0

Ниобий Остальное

2. Способ получения аморфного сплава для тонкопленочных резисторов, включающий конно-плазменное распыление мишеней, состоящих иэ статистически равномерно размещенных квадратов ниобия и свинца, о т л и ч а ю— шийся тем, что дополнительно проводят термообработку в вакууме при температуре 673+20 К в течение

30+5 мин.

Формула изобретения

1. Аморфный сплав для тонкопленочных резисторов, содержащий ниобий, 20

Время термообработки, мин

Темпе Виси

Ом/кв.

Ткс нею, 10 "град

R noc5 ле термообработки, Ом/кв.

ТКС после термообработки, 10 град

Состав пленки, ат.X ратура термообработкн, К

673

673

673

673

673

673

673

673

673

I 645

700

Составитель Ф.Стеценко

Редактор Н.Яцола Техред М.Дидык Корректор А.Обручар

Заказ 1932 Тираж 390 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r.ужгород, ул. Гагарина,101

Nb + 6,8 Pb

Nb+ 70 Pb

Nb + 10)0 Pb

Nb + 18,0 Pb

Nb + 18,2 Pb

Nb + !0,0 Pb

Nb + 10,0 Pb

Nb + 10,0 Pb

Nb + 10,0 Pb

Nb + 10 О Pb

Nb + 10,0 Pb

Nb + 10,0 Pb

Nb + 10 О РЪ

29

31

32

26

32

32

32

32

32

32

32

18

6

19

6

6

6

ЗО

24

36

37

38

36

31

38

38

38

38

38

-22

-7

-7

-8

-15

-7

-7

-11

-7

-9

-8

-13

-17