Способ получения интерферограммы для контроля плоскостности прозрачных деталей

 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля плоскостности оптических деталей . Целью изобретения является повышение контраста интерференционной картины за счет выделения коррелированных спеклполей от каждой из двух контролируемых поверхностей обьекта. Пучок инвертного излучения пропускают через диффузный рассеиватель и контролируемый объект, одновременно записывают на регистрирующей среде голограмму Фурье и голограмму сфокусированного изображения объекта, смещают объект в плоскости, параллельной контролируемым плокостям, вновь на ту же регистрирующую среду одновременно записывают голограмму Фурье и голограмму сфокусированного изображения объекта, восстанавливают двухэкспозиционную голограмму и путем раздельной пространственной фильтрации в плоскости голограммы и дальней зоне дифракции получают интерферограммы. 1 з.п. ф-лы, 1 ил. сл с

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)э G 01 В 9/021, 11/24

ГОСУДАPCTВЕ ННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

I ф(j; а) в .ЙТВЯ ..

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ о

ЬЗ (Я (21) 4675235/28 (22) 06.04,89 (46) 07.05.91. Бюл. N 17 (71) Сибирский физико-технический институт им. В. Д. Кузнецова при Томском гасударственном университете им. В, В. Куйбышева (72) B. Г. Гусев (53) 531,717.82(088.8) (56) Гусев В. Г. и Горячев П. M. Оптико-механические приборы, 1986, N 11, с. 18 — 20. (54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ИНТЕРФЕРОГРАММЫ ДЛЯ КОНТРОЛЯ ПЛОСКОСТНОСТИ ПРОЗРАЧНЫХ ДЕТАЛЕЙ (57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля плоскостности оптических деталей. Целью изобретения является повышение контраста интерференционной картины

Изобретение относится к измерительной технике, предназначено для контроля плоскостности оптических деталей. и может быть использовано при изготовлении оптических клиньев плоскопараллельных образцов и т.д.

Целью изобретения является повышение контраста интерференционной картины за счет выделения коррелированных спеклполей от каждой из двух контролируемых поверхностей.

На чертеже изображена схема устройства, реализующего предлагаемый способ.

Устройство включает блок 1 формирования опорного пучка излучения и сигнальный канал, включающий блок 2 формирования когерентного диффузно рассеянного излучения, контролируемый объект 3 с механиз„„5U „„1647215 А1 за счет выделения коррелированных спеклполей от каждой из двух контролируемых поверхностей объекта. Пучок инвертного излучения пропускают через диффузный рассеиватель и контролируемый объект, одновременно записывают на регистрирующей среде голограмму Фурье и голограмму сфокусированного изображения обьекта, смещают обьект в плоскости, параллельной контролируемым плокостям, вновь на ту же регистрирующую среду одновременно записывают голограмму Фурье и голограмму сфокусированного изображения объекта, восстанавливают двухэкспозиционную г0лограмму и путем раздельной пространст-! вен нои фильтрации в плоскости голограммы и дальней зоне дифракции получают интерферограммы, 1 э.п. ф-лы, 1 ил. мом 4 сдвига и поворота, объектов 5 и фотопластинку 6.

Схема устройства для записи голограммы яостроена так, что задняя грань контролируемого объекта 3 находится в передней фокальной плоскости обьектива 5, который одновременно строит изображение передней грани контролируемого обьекта 3 в плоскости фотопластинки 6.

Способ осуществляют следующим образом.

В сигнальном канале диффузно рассвянного когерентного излучения из блока 2 пропускают через контронтролируемый обьект 3 и с помощью обьектива 5 на фотопластинке 6 с использованием опорного пучка, поступающего на нее из блока 1, записывают одновременно голограмму сфоку1647215

Составитель В. Бахтин

Редактор М, Стрельникова Техред M.Ìîðãåíòàë Корректор М. Шароши

Заказ 1645 Тираж 396 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-.35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент". г. Ужгород. ул.Гагарина, 101 сированного изображения передней грани контролируемого объекта 3 и голограмму

Фурье его задней грани. Перед записью второй экспозиции с помощью механизма 4 сдвига и поворота осуществляют поворот контролируемого объекта 3 на 180 вокруг его оптической оси либо смещение его в плоскости, параллельной контролируемым поверхностям; на величину а < О/2, где 0— размер обьекта в направлении смещения, При восстановлении голограммы регистрация интерферограммы, характеризующей. качество задней грани контралируемого обьекта 3, проводится в фокальной плоскости линзы, установленной за галограммой, при проведении пространственной фильтрации в плоскости голограммы с помощью, например, непрозрачного экрана с круглым отверстием.

Регистрация интерферограммы, характеризующей качество передней грани контролируемого объекта 3, проводится в плоскости изображения голограммы при проведении пространственной фильтрации в .частотной плоскости.

По сравнению с известным способом предлагаемый способ позволяет повысить контрастность интерферационной картины за счет обеспечения одновременной записи двухэкспозиционной голограммы Фурье и сфокусированного изображения контролируемых поверхностей, что позволяет на стадии восстановления голограммы выделить коррелированные спекл-поля путем проведения пространственной фильтрации, 5 Формула изобретения

1. Способ получения интерферограммы для контроля плоскостности прозрачных деталей, заключающийся в том, что освещают диффузно рассеянным когерентным излуче10 нием контролируемый объект, регистрируют прошедшее через него излучение на регистрирующей среде, изменяют положения объекта, вновь регистрируют прошедшее излучение на той же регистрирующей среде и

15 фиксируют интерферограмму, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью повышения контраста интерферограммы, регистрацию прошедшего излучения осуществляют путем одновременной записи голограммы

20 Фурье и голограммы сфокусированного изображения поверхностей контролируемого объекта, а интерферограмму фиксируют путем раздельной пространственной фильтрации в плоскости голограммы и дальней зоне

25 дифракции.

2, Способ по и. 1, отл ич а ю щи йс я тем, что для изменения положения объекта его смещают в плоскости, параллельной поверхности объекта, на величину а, удовлет30 воряющую соотношению а О/2, где 0— размер обьекта в направлении смещения,