Способ испытания диэлектрических пленок
Изобретение относится к измерительной технике, а именно к определению свойств диэлектрических пленок, и является усовершенствованием способа по авт. св. № 1270638. Цель изобретения - повышение точности путем создания под поверхностью индентора однородного напряженного состояния . На поверхность пленки, помещенную на электропроводную подложку, в область контакта с индентором, выполненным с поверхностью, вогнутой и близкой к эквидистантной относительно поверхности пленки, наносят слой жидкости с величиной диэлектрической проницаемости, выбираемой в диапазоне заданной диэлектрической проницаемости пленки Определяют силу вдавливания и по соотношению электрической емкости воздушного зазора и емкости между индентором и подложкой с пленкой - глубину внедрения индентора. С учетом этих величин определяют твердость, диэлектрическую проницаемость и другие свойства пленки СП
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (я)ю G О1 N 3/42
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К ABTOPCKOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Формула изобретения (61) 1270638 (21) 4463113/28 (22) 19.07.88 (46) 15.03.91. Бюл. N 10 (72) В.И.Анисимов и В.В.Колокольчиков (53) 620.178.152 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР
N. 1270638, кл, G 01 N 3/42, 1986, (54) СПОСОБ ИСПЫТАНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК (57) Изобретение относится к измерительной технике, а именно к определению свойств диэлектрических пленок, и является усовершенствованием способа по авт, св.
N. 1270638. Цель изобретения — повышение точности путем создания под поверхностью
Изобретение относится к измерительной технике, а именно к определению свойств диэлектрических пленок, и является усовершенствованием известного способа по основному авт, св, N 1270638.
Цель изобретения — повышение точности путем создания под поверхностью индентора однородного напряженного состояния.
Способ реализуется следующим образом.
Пленку помещают на электропроводную подложку, на ее поверхность в области контакта с индентором наносят слой жидкости с величиной диэлектрической проницаемости, выбираемой в диапазоне заданной диэлектрической проницаемости пленки, нагружают индентор с поверхностью, вогнутой и близкой к эквидистантной относитель„.,5Q ÄÄ 1635064 А2 индентора однородного напряженного состояния. На поверхность пленки, помещенную на электропроводную подложку, в область контакта с индентором, выполненным с поверхностью, вогнутой и близкой к эквидистантной относительно поверхности пленки, наносят слой жидкости с величиной диэлектрической проницаемости, выбираемой в диапазоне заданной диэлектрической проницаемости пленки. Определяют силу вдавливания и по соотношению электрической емкости воздушного зазора и емкости между индентором и подложкой с пленкой— глубину внедрения индентора. С учетом этих величин определяют твердость, диэлектрическую проницаемость и другие свойства пленки. но поверхности пленки. вдавливают его в пленку, определяют силу вдавливания, в процессе которого измеряют электрические емкости между индентором и подложкой с пленкой и воздушного зазора, зависящего от перемещения индентора, производят сравнения их, определяют глубину внедрения индентора и с ее учетом определяют твердость, диэлектрическую проницаемость, пористость, пластические, прочностные и вязкоупругие свойства пленки.
Способ испытания диэлектрических пленок по авт. св. ¹ 1270638, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью повышения точности, на поверхность пленки в область контакта с индентором наносят слой жидкости с величиной диэлектрической проница1635064
Составитель И.Ходатаева
Редактор М.Петрова Гехред М.Моргентал Корректор С.Шекмар
Заказ 751 Тираж 391 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035. Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5
Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 емости, выбираемой в диапазоне заданной диэлектрической проницаемости пленки, и внедряют индентор, имеющий поверхность, эквидистантную поверхности пленки.
