Высоковакуумный затвор
Изобретение может быть нсполь- .зовано для герметизации высоковакуумных камер. Цель изобретения - повышение надежности и упрощение конструкции выгоковакуумного затвора. Ведущий элемент зубчатой передачи установлен и корпусе 1, ведомый - на перемещаемой каретке 4 со стопорным устройством , Тарель с резьбовым хвостовиком 7 связана с ведомым элементом, который выполнен г внутренней резьбой , взаимодействующей с хвостовиком 7, Вакуумный ввод выполнен в виде крнвошигы Q, соединенного с шатуном 10 входного вала посредством подшипникового узла. Изоляция выполнена в виде гилыЪоноп 13. 4 ил.
C0IO3 СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (19) (!1) 151)5 F 16 К 51/02
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К ASTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР (21) 4438147/29 (22) ?0.06.88 (46) 15.03.91, Бюл, N - 10 (71) Институт металлургии Уральского научного центра AH СССР (72) З,P.Äeëüìóõàìåòîâ, 10,В.Концевой и Д,В .Пузако (53) 621,646(088,8) (56) Авторское свидетельство СССР
II 553381, кл. F 16 К 3/00, 1977. (54) BhICOKOBAKYYMHfIA 3ATBOP (57) Изобретение может быть исполь,зовано для герметизации высоконакуумных камер. Цель изобретения — поньппеИзобретение о тносится к вакуумной технике, предназначено для герметизации высоковакуумных камер и мотет быть использовано в сверхвысоко.вакуумных установках с малым натеканием при проведении технологических процессов н особо чистой среде.
Цель изобретения - понышение надежности и упрощение конструкции.
На фиг.1 показан высоковакуумный затвор, разрез А-А на фиг,2; на фиг,2 — разрез Б-Б на фиг.l; на фиг.3 — - разрез В-В на фиг.l; на фиг,4 — разрез Г-Г на фиг,2.
Высоковакуумный затвор состоит из корпуса 1 с двумя проходными отверстиями ?. и 3 (фиг.l). В корпусе
I движется каретка 4 с установленным на ней клапанным механизмом, который состоит из зубчатой шестерни, хвостс ника 6, тарелки 7. Каре гние надежности и упрощение конструкции ныгоковакуумного затвора, Ведущий элемент эубчатор передачи установлен н корпусе 1, ведомый — на перемещаеMott каретке 4 со стопорным устройством, тарель с резьбовым хвостоником 7 связана с ведол1им элементом, который выполнен r внутренней реэьtott, взаимодействующей с хвостовиком
7, Вакуумный ввод ньп1олнен в виде кривощииа ), соединенного с шатуном
10 входного вала посредством подшипникового узла, Изоляция выполнена в виде сильфоион 13, 4 ил, I ка 4 с клаианным механизмом приводится в движение с помощью червяка
8, вращение ко гopoM) передается через кривошип 9 щатуном 10 (фиг.2), вакуумная развязка между ними состоит из двух подшипников 11 и 12 и сильфона
l3, На корпусе 1 установлены направляющие 14 и 15 (фиг,3) и опора 16 подшипника (фиг,2). На каретке 4 (фиг,2) имеется устройство для передачи хиостонцку 6 (фиг,4) только поступательного днккения относительно нее, состоящее из кронштейна 17 (фиг,4), закрепленного винтом 18, пальца 19, один конец которого укреплен на хвостонпке 6, а другой находится н пазу кронштейна 17, Подшипники ?0 к каретке 4 прикреплены осями 21 (фцг, ), Червяк 8 установлен одним концом н опоре 16 через ради. ально-уиорнлп) иодшииник 22, другим!
6349)5
А-А ;! рпусе через подшип»ик 23, упор»ый подшипник 24 зафиксирован гайкой ?5 »а шейке червяка 8 (фиг,?). !!а карс гк> имее гся д>иксами ор ?6 и кольцо ?7 (фиг,3), . редохра»яющее от осевого смеще»ил шестере»чатое кольцо 5 относительно каретки 4 (>1>иг, 4), В>лк» овакуумный затвор работает след ющ11м образом, t!t>:> крайнем правом положении Б
»а1:.с ки 4 (фиг.2) зубчатая шестер ы > э.!: òîïîðåíà стопором 26 (фиг ° 3), T .-»1!". ия относительно последней, а t:ðt ход»ыо отверстия 2 и 3 корпуса
1 .»> ».-».ы,,ля проведения техноло.::.";:ких спераций. Враще»ие винта 10 .-p э вакуумную развязку, состоящую э»>од :,!; гков 11 и 12 и изолирую- 2р .:, .го снл ..фона 1 3, передается криво9, саженному »а червяк 8,,,оторый установлен на подшипниках 22 и ?3 на опоре 16 в корпусе 1, а от
:се»ого смещения эафнксирова» отно- 25 с,ел»»о корпуса 1 упор»в.м подшип>t!!> ом 24 .t гайкой 25, Червяк 8, »ахо1»с» з эаце tett»tt с зубчатой шестерней 5, приводит каретку 4 с подшипникамн ?0> закрепленными осями 21, че- 3ц реэ пазы направляющих 14 и 15 (фиг.3) в положение A (фиг,2), в котором
".топо!> 26 перескакивает вправо, в углубпс.»»- направляющей 15> освобождая эу(
»и . для. е» гращатель»ого движения относительно каретки 4,,При вращении зубчатой шестерни 5, закреплен»ой кольцом 27 от осевого смещения относительно каретки 4 хвосто/
Ф вик 6, зафиксированный от вращения пальцем 19 (фиг,<), за счет резьбы и» внутренней поверхности зубчатой шестерни 5 поднимается вместе с тарелью 7, которая, вреsаясь в зубья отверстия 3 корпуса 1, создает надежное вакуумное уплотнение на металле.
Вертикальное движение фиксирующего кольца !9 совместно с хвостовиком 6 осуществляется в »азу кронштейна 17 прикрепленного к каретке 4 винтом 18, При раскрытии отверстия 3 и переводе каретки в положение Р все опе-! рации проходят в обратной последоваTP JIb HOC TH
> ь о р м у л а и з о б р е т е н и я
Высоков акуумный затвор, содержащий корпус, зубчатую передачу, ведущий элемент которой установлен в корпусе, а ведомый- — на перемещаемой каретке со стопорным устройством, тарель с резьбовым хвостовиком, связанную с ведомым элементом, изолированный вакуумный ввод, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью повышения надежности и упрощения конструкции, ведомый элемент выполнен с внутренней резьбой, взаимодействующей с хвостовиком тарели а вакуумный ввод выполнен в виде кривошипа, соединенного с шатуном входного вала посредством подшипникового узла, при этом изоляция выполнена в виде сильфонв.
7 6 7 i 9? S
70 75
1б
2б 1Х
Фу2. Я
7 Я 4
Составитель Т,Иксимкина
Редактор Л.Веселовская Техред Л,Олийнь к Корректор Б,Гирняк
Подписное
Тираж 436
Заказ 744
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открьггиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул. Гагарина, 101
77 д«г 7
I (Ъ
Ю
